{"id":2538,"date":"2025-08-26T09:11:34","date_gmt":"2025-08-26T09:11:34","guid":{"rendered":"https:\/\/casnewmaterials.com\/?p=2538"},"modified":"2025-08-13T00:59:27","modified_gmt":"2025-08-13T00:59:27","slug":"sic-powering-electronics-industry-innovations","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/sic-powering-electronics-industry-innovations\/","title":{"rendered":"SiC: \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438"},"content":{"rendered":"<h1>SiC: \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h1>\n<h2>\u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435: \u0412\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0430\u044f \u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435<\/h2>\n<p>\u0412 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC), \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u0439 \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (Si) \u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430 (C), \u0441\u0442\u0430\u043b \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445. \u0415\u0433\u043e \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0443\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u0442\u0435\u043b\u0435\u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438. \u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b SiC \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0438\u0448\u0435\u0432\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c, \u0430 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0431\u043b\u043e\u043a\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0412 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043c\u044b \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0438\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u043c \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC, \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u044b \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a\u0430 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. \u041f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 <strong>\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/strong> \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043c\u0435\u043d\u0435\u0434\u0436\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u044f\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u043c \u043a\u0440\u0430\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/p>\n<p>\u0417\u043d\u0430\u0447\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c SiC \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0441\u044b\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432. \u042d\u0442\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0430\u043c\u0438. \u042d\u0442\u043e \u0434\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0449\u0443\u0442\u0438\u043c\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u0430\u043a \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 <strong>\u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 SiC-\u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432<\/strong> \u0438 <strong>\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 SiC \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0430\u0445<\/strong> \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c.<\/p>\n<h2>\u0420\u0430\u0437\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f SiC \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n<p>\u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u043b\u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u044d\u0448\u0435\u043b\u043e\u043d \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439. \u0415\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 \u043e\u0441\u043e\u0437\u043d\u0430\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u043d \u0434\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 <strong>\u043c\u043e\u0449\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 SiC<\/strong> \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u0421\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430:<\/strong> \u042d\u0442\u043e, \u043f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439, \u0441\u0430\u043c\u0430\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f SiC. \u0421\u0444\u0435\u0440\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044b, \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0440\u0435\u0431\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0418\u0411\u041f) \u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043a\u043e\u0440\u0440\u0435\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u041a\u041a\u041c). SiC MOSFETs \u0438 SiC Schottky diodes \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 (\u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432), \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u043c\u0438\u043d\u0438\u0430\u0442\u044e\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/li>\n<li><strong>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0438 (EV):<\/strong> \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f SiC \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u044e \u0432 \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0439. \u041e\u043d\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u044f\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445, \u0431\u043e\u0440\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 (\u0411\u0417\u0423) \u0438 DC-DC-\u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u0445. \u0412 \u0442\u044f\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 SiC \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u043a \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0445\u043e\u0434\u0430 \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0430\u043a\u043a\u0443\u043c\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0431\u043b\u043e\u043a\u043e\u0432. \u0412 \u0431\u043e\u0440\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u0438 DC-DC-\u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u0445 SiC \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043a\u0438 \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0432\u0435\u0441\u0430 \u0438 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0430. \u0421\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 <strong>\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c SiC<\/strong> \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0434\u0440\u0430\u0439\u0432\u0435\u0440\u043e\u043c \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 SiC.<\/li>\n<li><strong>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438:<\/strong> \u0421\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 (PV) \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u0435\u0442\u0440\u044f\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0443\u0440\u0431\u0438\u043d \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443 \u043e\u0442 SiC. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0441 \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0432\u0435\u0442\u0440\u044f\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0443\u0440\u0431\u0438\u043d \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438. \u0418\u0445 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438. <strong>SiC-\u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438<\/strong> \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/li>\n<li><strong>\u0420\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 (RF) \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> SiC, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC, \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (HEMT) \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0433\u0430\u043b\u043b\u0438\u044f (GaN)-on-SiC. \u041e\u043d\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u044f\u0445 5G, \u0440\u0430\u0434\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445, \u0441\u043f\u0443\u0442\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0431\u043e\u0440\u044c\u0431\u044b, \u0433\u0434\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/li>\n<li><strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430:<\/strong> \u0421\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiC \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0441\u0432\u044b\u0448\u0435 300\u00b0C (\u0430 \u0438\u043d\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0438 \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u0432\u044b\u0448\u0435) \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0432 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0431\u0443\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043a\u0432\u0430\u0436\u0438\u043d \u0432 \u043d\u0435\u0444\u0442\u0435\u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0432 \u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 \u0438 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 SiC \u043d\u0430\u0433\u043b\u044f\u0434\u043d\u043e \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445:<\/p>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/th>\n<th>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e SiC<\/th>\n<th>\u041a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\/\u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u041f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 &#038; \u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<td>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b\/\u0432\u0435\u0441, \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438<\/td>\n<td>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e\u043c (SMPS), \u0432\u044b\u043f\u0440\u044f\u043c\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 AC-DC, \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b DC-AC, \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044b<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0438 &#038; \u0422\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442<\/td>\n<td>\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441 \u0445\u043e\u0434\u0430, \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0430\u0433\u0440\u0435\u0433\u0430\u0442\u0430<\/td>\n<td>\u0422\u044f\u0433\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0431\u043e\u0440\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 (\u0411\u0417\u0423), DC-DC \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438, \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0442\u044f\u0433\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0412\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 &#038; \u0418\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441\u0435\u0442\u0435\u0439<\/td>\n<td>\u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0431\u043e\u0440 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0435\u0442\u0438<\/td>\n<td>\u0418\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0431\u0430\u0442\u0430\u0440\u0435\u0439 (PV), \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u0435\u0442\u0440\u044f\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0443\u0440\u0431\u0438\u043d, \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0442\u043e\u0440\u044b, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043a\u0430 HVDC<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0420\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f &#038; \u0422\u0435\u043b\u0435\u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438<\/td>\n<td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<td>\u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0439 5G\/6G, \u0440\u0430\u0434\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u0440\u0435\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u044b \u0441\u043f\u0443\u0442\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0410\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0430\u0432\u0438\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0440\u0430\u0434\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 &#038; \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430<\/td>\n<td>\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432<\/td>\n<td>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c <strong>\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e SiC \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432<\/strong> \u0432 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u0441 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f SiC \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0443\u043a\u0440\u0435\u043f\u0438\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e.<\/p>\n<h2>\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430: \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439<\/h2>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435, \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b SiC \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438, \u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435. <strong>\u041d\u0435\u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b SiC<\/strong> \u0438 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c, \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430. \u0414\u043b\u044f \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0434\u043e\u0439\u0442\u0438 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0435\u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u043c.<\/p>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong> \u0418\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0438\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b, \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f, \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 ($R_{DS(on)}$), \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0443 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 SiC-\u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e, \u0442\u043e\u043a\u0443 \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435, \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044f \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d SiC MOSFET \u0441 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0435\u043c \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e\u043c:<\/strong> \u0425\u043e\u0442\u044f SiC \u043f\u043e \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0443\u0442\u0438 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430. \u0414\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438\u043b\u0438 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b. \u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e\u043c \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/li>\n<li><strong>\u0424\u043e\u0440\u043c-\u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439:<\/strong> \u041d\u0435\u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 SiC-\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435. \u0421\u044e\u0434\u0430 \u0432\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043d\u0435\u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438, \u043e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e SiC-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u0431\u043b\u0435\u0433\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043d\u0443\u044e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0438 \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438:<\/strong> \u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445, \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c \u0441 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430\u043c\u0438, \u043a\u0430\u043a \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438. \u0418\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u044d\u0442\u0438\u043c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0443 \u0442\u0430\u043c, \u0433\u0434\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u044b\u0439\u0442\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0440\u043e\u044f.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b:<\/strong> \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 SiC-\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043a \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u0437\u0430\u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0435\u0438\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b, \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044e \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u043e\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u043c, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c\u0441\u044f \u043d\u0430 <strong>\u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC<\/strong> \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u043a \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u043d\u044b\u043c \u0437\u043d\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432. \u0422\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u0433\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b SiC \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438, \u043d\u043e \u0438 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0446\u0435\u043b\u044f\u043c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438, \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u044f\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044f\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0430\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 SiC \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u044f\u0432\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e.<\/p>\n<h2>\u041d\u0430\u0432\u0438\u0433\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e \u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c SiC: \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432<\/h2>\n<p>\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u043b\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c; \u043e\u043d \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0445, \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438, \u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0434\u043e\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430, \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f SiC \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0439 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 <strong>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438<\/strong> \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0438\u0441\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b.<\/p>\n<p>\u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f 4H-SiC \u0438 6H-SiC, \u043f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c 4H-SiC \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u044b\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c. \u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432, \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b SiC \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u043c\u0438 (\u0441 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c N-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438\u043b\u0438 P-\u0442\u0438\u043f\u0430) \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438.<\/p>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\/\u043c\u0430\u0440\u043a\u0430 SiC<\/th>\n<th>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<th>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/th>\n<th>\u0420\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td><strong>4H-SiC<\/strong><\/td>\n<td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e \u043e\u0441\u0438 c), \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435, \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f (~3,26 \u044d\u0412).<\/td>\n<td>\u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 (MOSFETs, Schottky Barrier Diodes &#8211; SBDs, IGBTs), \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/td>\n<td>\u0421\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438. \u041a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e (\u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u0445) \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0412\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0445 N-\u0442\u0438\u043f\u0430, P-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438.<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>6H-SiC<\/strong><\/td>\n<td>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0437\u0440\u0435\u043b\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f (~3,03 \u044d\u0412). \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u044b\u0439, \u0447\u0435\u043c 4H-SiC.<\/td>\n<td>\u0420\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043d\u0438\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432, \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0412 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0432\u044b\u0442\u0435\u0441\u043d\u0435\u043d 4H-SiC \u0432 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f\u0445 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0438\u0448\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445.<\/td>\n<td>\u041c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043d \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 4H-SiC \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u0438\u0438.<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f (HPSI) SiC<\/strong><\/td>\n<td>\u041e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 ($&gt; 10^9 \u041e\u043c\u0435\u0433\u0430 \u043a\u0434\u043e\u0442 \u0441\u043c$), \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 \u0412\u0427-\u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438, \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u041a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u044d\u0442\u043e 4H-SiC \u0438\u043b\u0438 6H-SiC.<\/td>\n<td>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (HEMT) \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0433\u0430\u043b\u043b\u0438\u044f (GaN), \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u0445 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0432 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u044f\u0445 5G, \u0440\u0430\u0434\u0430\u0440\u0430\u0445), \u0421\u0412\u0427-\u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445.<\/td>\n<td>\u0427\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 (\u0432\u0430\u043d\u0430\u0434\u0438\u0435\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f) \u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 GaN \u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043e\u043d\u043e\u0440\u043e\u0432\/\u0430\u043a\u0446\u0435\u043f\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432.<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>N-\u0442\u0438\u043f \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e SiC<\/strong><\/td>\n<td>\u041f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0438\u0437\u0431\u044b\u0442\u043a\u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0430\u0437\u043e\u0442\u043e\u043c (N). \u0423\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c.<\/td>\n<td>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0432 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445, \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0432 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445, \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438, \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a SiC \u0434\u043b\u044f \u0433\u043e\u043c\u043e\u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438.<\/td>\n<td>\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0438 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>SiC \u0441 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c P-\u0442\u0438\u043f\u0430<\/strong><\/td>\n<td>\u041f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0438\u0437\u0431\u044b\u0442\u043a\u0443 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u043c (Al) \u0438\u043b\u0438 \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c (B). \u042d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 N-\u0442\u0438\u043f\u0430.<\/td>\n<td>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0432 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445, \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0432 JFET, \u0430\u043d\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0432 \u0434\u0438\u043e\u0434\u0430\u0445 PiN \u0438 SBD, \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432.<\/td>\n<td>\u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 SiC \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c P-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439. \u0414\u043b\u044f \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438 SiC \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438. \u0414\u043b\u044f \u043c\u0435\u043d\u0435\u0434\u0436\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0443\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e &#8220;\u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f&#8221;, \u0430 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f, \u0442\u0438\u043f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 (N-\u0442\u0438\u043f, P-\u0442\u0438\u043f \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439), \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0438\u043b\u0438 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f), \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a, \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438, \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438). \u0420\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u0441\u043e \u0437\u043d\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043b\u044e\u0434\u044c\u043c\u0438 <strong>\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/strong> \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0440\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0443 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438\u043b\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 <strong>\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b SiC<\/strong> \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043a \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b.<\/p>\n<h2>\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435: \u041a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC<\/h2>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b. \u0425\u043e\u0442\u044f SiC \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u0438 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435, \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b - \u0432\u0441\u0435 \u043e\u043d\u0438 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 <strong>SiC-\u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439<\/strong> \u0438 \u0434\u0438\u0441\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b.<\/p>\n<h3>\u0410\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f:<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>\u041d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f ($V_{BR}$):<\/strong> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435 SiC&#8217; \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u044f\u043c\u0438, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0430\u044f\u0445 \u0437\u0430\u0434\u0435\u043b\u043a\u0438, \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f. \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0437\u0430\u0434\u0435\u043b\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a JTE (Junction Termination Extension) \u0438\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b.<\/li>\n<li><strong>\u0421\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f ($R_{DS(on)}$ \u0434\u043b\u044f \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, $V_F$ \u0434\u043b\u044f \u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432):<\/strong> \u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043a\u043e\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0414\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430 (\u0434\u043b\u044f \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432), \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430 SiC MOSFET \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u043b\u0438\u044f\u0442\u044c \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u043d\u044b\u0435 \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435 SiO2\/SiC, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> \u0423\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 SiC \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 Si, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 dV\/dt \u0438 dI\/dt \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0445\u0438 (EMI) \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0441\u043a\u0430\u043a\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\/\u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0438 \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0432 \u0446\u0435\u043f\u0438. \u041a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u0434\u0440\u0430\u0439\u0432\u0435\u0440\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043a\u043e\u043c \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430. \u0414\u043b\u044f \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0434\u0440\u0430\u0439\u0432\u0435\u0440 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u0430\u0445 SiC-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u0435\u043b\u044c\u0432\u0438\u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u0422\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0443 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 (\u0434\u043b\u044f \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432):<\/strong> \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b SiC \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, $V_{GS(th)}$, \u0440\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 $V_{GS(on)}$, $V_{GS(off)}$) \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 Si. \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e; \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u043d \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u043b\u0441\u044f \u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430\u043c \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u0432\u044b\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0440\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 dV\/dt.<\/li>\n<li><strong>\u0412\u0440\u0435\u043c\u044f \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u043c\u044b\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f (SCWT):<\/strong> \u0418\u0437-\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 SCWT SiC MOSFETs \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043a\u043e\u0440\u043e\u0447\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 Si IGBTs. \u042d\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0447\u0435\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b.<\/li>\n<li><strong>\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u043e\u0434\u0430 (\u0434\u043b\u044f \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432):<\/strong> \u0412\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0439 \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0438\u043e\u0434 SiC MOSFETs \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0435 \u043f\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u0430\u0434\u0430\u0442\u044c \u043e\u0442 \u0431\u0438\u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438. \u041d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0435\u0433\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a, \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0435 SiC SBD \u0438\u043d\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441\u043e \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u0445\u043e\u0434\u043e\u043c.<\/li>\n<\/ul>\n<h3>\u0421\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e\u043c:<\/h3>\n<p>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiC \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0443 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430, \u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u0430\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430. \u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 SiC-\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b \u0434\u043e \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430. \u042d\u0442\u043e \u043a\u0430\u0441\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b, \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, AlN, Si3N4 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a DBC) \u0438 \u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d\u0430 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438.<\/li>\n<li>\u0423\u0447\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (CTE) \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 SiC \u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043b\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<li>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0434\u0432\u0443\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f) \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<h3>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f:<\/h3>\n<p>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 SiC (\u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0435 \u0438 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0435), \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438.<\/p>\n<ul>\n<li>\u0423\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f SiC-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/li>\n<li>\u0423\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<li>\u0414\u043b\u044f SiC \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446.<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043e\u043d\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0435, \u0438 \u043c\u0435\u0441\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e. \u0422\u0435\u0441\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 <strong>\u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0435 \u0438\u0437 SiC<\/strong> \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 - \u043a\u043b\u044e\u0447 \u043a \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u043e\u0432.<\/p>\n<h2>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430: \u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438, \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0444\u0438\u043d\u0438\u0448\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC<\/h2>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432, \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u044b. \u0414\u043b\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c \u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 <strong>SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a<\/strong> \u0438 \u044d\u043f\u0438\u0432\u0430\u0444\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0438\u0445 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c. \u0421\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 - \u043e\u0442 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0434\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u044b, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043e\u043c, \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b (TTV):<\/strong> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b SiC \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0442\u044c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0442\u044c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043e\u0441\u043e\u0432, \u0438\u0441\u043a\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0441\u043e\u0440\u0438) \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b (TTV) \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u042d\u0442\u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430\u043c \u0441 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u043a \u043d\u0435\u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438. \u041f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0438 <strong>\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 SiC<\/strong> \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043a \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (Ra, Rq, Rms):<\/strong> \u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d SiC, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (CMP), \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439, \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 (Ra &lt; 0,5 \u043d\u043c, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e &lt; 0,2 \u043d\u043c). \u0413\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430\u044f, \u0431\u0435\u0437\u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432. \u041b\u044e\u0431\u044b\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u044d\u043f\u0438\u0441\u043b\u043e\u0435, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u0433\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430, \u0442\u043e\u043a\u0430\u0445 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438).<\/li>\n<li><strong>\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f:<\/strong> \u0412 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 SiC. \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0438 \u043e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043a \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u041e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043d\u0435\u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0438 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043b\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, CVD) \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u0447\u043a\u0438, \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438, \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438):<\/strong> \u0420\u043e\u0441\u0442 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 SiC \u0441\u043e\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d \u0441 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432. \u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u0447\u043a\u0438 (\u0432\u0438\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u043e\u043c \u0441\u0442\u0435\u0440\u0436\u043d\u0435), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0440\u043e\u044f. \u0414\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0431\u0430\u0437\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (BPD) \u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u0432 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u044f\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044f \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0431\u0438\u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/li>\n<li><strong>\u0418\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u043e\u043c\u043a\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0441\u0442\u0440\u0443\u0436\u043a\u0438:<\/strong> \u041f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u043e\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0447\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043d\u0438\u0436\u0435 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438. \u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0437\u043e\u043d\u044b \u043e\u0442\u0447\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u0445 \u0448\u0442\u0430\u043c\u043f\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/li>\n<li><strong>\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 SiC \u043d\u0435\u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043b\u044f \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 (\u0434\u043b\u0438\u043d\u0430, \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0430, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430, \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c) \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a.<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d SiC \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430, \u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 TTV \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445. \u0412\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 CMP \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0437\u0435\u0440\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439. \u041f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0430 <strong>\u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b SiC<\/strong> \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0447\u0435\u0442\u043a\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0443\u0431\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<h2>\u0417\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f: \u041d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438\u0437 SiC<\/h2>\n<p>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u044c \u0440\u044f\u0434 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435, \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b. \u042d\u0442\u0438 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b \u0442\u0430\u043a \u0436\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b, \u043a\u0430\u043a \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044f, \u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0438 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0414\u043b\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u043d\u0430 <strong>\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e SiC \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432<\/strong>\u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0432 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<p>\u041e\u0431\u0449\u0438\u0435 \u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 SiC \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li><strong>\u041e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0430\u044f \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0438 \u0443\u0442\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d:<\/strong> \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b SiC \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u043d\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b, \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u044f \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0418\u0437-\u0437\u0430 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 SiC \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0430 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0441\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a CMP \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0443\u0445\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430, \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439.<\/li>\n<li><strong>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0437\u0430\u0434\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0441\u0442\u043e\u043a\u0430 (\u0434\u043b\u044f \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432) \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0430\u0442\u043e\u0434\u0430 (\u0434\u043b\u044f \u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432). \u042d\u0442\u043e\u0442 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0438\u0437 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, Ti\/Ni\/Ag \u0438\u043b\u0438 Ti\/Ni\/Au) \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0435\u0433\u043e \u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430, \u043f\u0430\u044f\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0438\u0441\u043f\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435) \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0435\u0437\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d (\u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435):<\/strong> \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0437\u0430\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0438\u043f\u044b (\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b). \u0418\u0437-\u0437\u0430 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 SiC \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0430 \u043a\u0443\u0431\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0438\u0441\u043a\u0430\u043c\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u043a\u043e\u043b\u044b, \u0442\u0440\u0435\u0449\u0438\u043d\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0438\u043b\u0430, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b \u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c \u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0412\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u043f\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u041a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430:<\/strong> \u0417\u0430\u0442\u0435\u043c \u0441\u0438\u043d\u0433\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b SiC \u043a\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a \u0432\u044b\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0435, \u043c\u0435\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u0441 \u043f\u0440\u044f\u043c\u044b\u043c \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (DBC) \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u0430. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043f\u0440\u0438\u043f\u043e\u0439, \u043f\u0430\u0441\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043f\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u0430, \u044d\u043f\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u0441\u043c\u043e\u043b\u0430) \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0443\u044e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e- \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b. \u0421\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u044f\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 SiC-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0435\u0433\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<li><strong>Wire Bonding \/ \u041c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043e\u043a \u043d\u0430 SiC-\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0435 \u043a \u0432\u044b\u0432\u043e\u0434\u0430\u043c \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 (Al) \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0435 (Cu) \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u043b\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0414\u043b\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043b\u0435\u043d\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u0439 \u0442\u043e\u043a\u043e\u043e\u0442\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0438\u043f\u0430 \"\u0444\u043b\u0438\u043f-\u0447\u0438\u043f\" \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043b\u0431\u0438\u043a\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0438\u043d\u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f:<\/strong> \u0414\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b \u0438 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u044b\u043a\u043e\u0432 \u043e\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043e\u043a, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432. \u0417\u0430\u0442\u0435\u043c \u0432\u0441\u044f \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0430 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u0443\u043d\u0434 (\u0434\u043b\u044f \u0434\u0438\u0441\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u043e\u0432) \u0438\u043b\u0438 \u0432 \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f, \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u043e\u043d\u043e\u0432\u044b\u043c \u0433\u0435\u043b\u0435\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u043c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u0422\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432:<\/strong> \u041a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0435 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0438\/\u0438\u043b\u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0442\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0443\u0431\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043e\u043d\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c \u043f\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c, \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f, \u0442\u043e\u043a \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438, \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0423\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f (\u0440\u0430\u0437\u0431\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b) \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a. \u0414\u043b\u044f \u0432\u044b\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u043e\u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (HTRB) \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0435\u0441\u0441-\u0442\u0435\u0441\u0442\u044b.<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u043f\u044b\u0442\u0430. \u0414\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439, \u0436\u0435\u043b\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 <strong>\u043a\u0443\u043f\u0438\u0442\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/strong> \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435, \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a, \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0421\u043e\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0443 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<h2>\u041f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439: \u0420\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC<\/h2>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0435\u0433\u043e \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0435 \u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c. \u0423\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 SiC, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0420\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u043e\u043c \u043a \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044e \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u0430 <strong>\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b SiC<\/strong> \u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u0438\u0445 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u043c\u0438.<\/p>\n<p>\u041e\u0431\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u044b \u0438\u0445 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432:<\/strong> \u0412\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 SiC (\u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 &#8211; PVT) - \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441. \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b, \u043a\u0430\u043a \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u0447\u043a\u0438 (\u041c\u041f), \u0432\u0438\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0431\u0430\u0437\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0414\u0411\u041f) \u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0441\u0443\u043c\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u041a\u0421). \u042d\u0442\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0435\u0433\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0442\u043e\u043a \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438, \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c) \u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0443 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0440\u043e\u044f.<br \/>\n        <em>\u0421\u043c\u044f\u0433\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439:<\/em> \u0417\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u041d\u0418\u041e\u041a\u0420 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043a \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0437\u0430\u0441\u0435\u0432\u0430, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0441 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 LPE, \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 BPD \u0432 TED). \u0421\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u0432\u0430\u0436\u0435\u043d.<\/li>\n<li><strong>\u041d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0432 SiC-\u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445:<\/strong> \u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 SiC \u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e SiO2) \u0432 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c\u044e. \u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 SiO2\/SiC, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u0435\u043a ($D_{it}$) \u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u0435\u043a \u0432\u0431\u043b\u0438\u0437\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u0430 (NIOTs) \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u043e\u043c Si\/SiO2. \u042d\u0442\u0438 \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u043b\u0438\u044f\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440.<br \/>\n        <em>\u0421\u043c\u044f\u0433\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439:<\/em> \u041e\u0442\u0436\u0438\u0433 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0435 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 (NO) \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0441\u044f \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u0435\u043a \u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430. \u0412 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0437\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u043e\u0432.<\/li>\n<li><strong>\u042d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044f \u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435:<\/strong> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044f\u043c\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f SiC-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043b\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439. \u041b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 P-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0432 SiC (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u043c) \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0430\u043a\u0446\u0435\u043f\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c.<br \/>\n        <em>\u0421\u043c\u044f\u0433\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439:<\/em> \u0421\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD), \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432-\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u044d\u043f\u0438\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u044b. \u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/li>\n<li><strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u044b:<\/strong> \u041c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f SiC, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044e, \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433 \u0434\u043b\u044f \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 (\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e &gt;1500\u00b0C). \u042d\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. \u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f SiC \u043a\u0430\u043a N-\u0442\u0438\u043f\u0430, \u0442\u0430\u043a \u0438 P-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e, \u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e.<br \/>\n        <em>\u0421\u043c\u044f\u0433\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439:<\/em> \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, Ti\/Al \u0434\u043b\u044f P-\u0442\u0438\u043f\u0430, Ni - \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0434\u044b \u0434\u043b\u044f N-\u0442\u0438\u043f\u0430) \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u043c \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u043e\u043c (RTA) \u0440\u0435\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b.<\/li>\n<li><strong>\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u0434\u043e\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong> \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, $V_{th}$, $R_{DS(on)}$) \u043d\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0438 \u043e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043a \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430. \u041a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430<br \/>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>SiC: \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435: \u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0412 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) - \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u0439 \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (Si)&#8230;<\/p>","protected":false},"author":3,"featured_media":2333,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"_gspb_post_css":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"class_list":["post-2538","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-uncategorized"],"acf":{"en_gb-title":"","en_gb-meta":"","ja-title":"","ja-meta":"","ja-content":"","ko-title":"","ko-meta":"","ko-content":"","nl-title":"","nl-meta":"","nl-content":"","es-title":"","es-meta":"","es-content":"","ru-title":"","ru-meta":"","ru-content":"","tr-title":"","tr-meta":"","tr-content":"","pl-title":"","pl-meta":"","pl-content":"","pt-title":"","pt-meta":"","pt-content":"","de-title":"","de-meta":"","de-content":"","fr-title":"","fr-meta":"","fr-content":""},"taxonomy_info":{"category":[{"value":1,"label":"Uncategorized"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/sicarbtech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/05\/Custom-Silicon-Carbide-Products-22_1-1.jpg",1024,1024,false],"author_info":{"display_name":"yiyunyinglucky","author_link":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/author\/yiyunyinglucky\/"},"comment_info":16,"category_info":[{"term_id":1,"name":"Uncategorized","slug":"uncategorized","term_group":0,"term_taxonomy_id":1,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":793,"filter":"raw","cat_ID":1,"category_count":793,"category_description":"","cat_name":"Uncategorized","category_nicename":"uncategorized","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2538","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2538"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2538\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4937,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2538\/revisions\/4937"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2333"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2538"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2538"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2538"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}