{"id":2530,"date":"2025-09-03T09:10:55","date_gmt":"2025-09-03T09:10:55","guid":{"rendered":"https:\/\/casnewmaterials.com\/?p=2530"},"modified":"2025-08-13T01:01:50","modified_gmt":"2025-08-13T01:01:50","slug":"sic-substrates-the-foundation-for-advanced-tech","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/sic-substrates-the-foundation-for-advanced-tech\/","title":{"rendered":"\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC: \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439"},"content":{"rendered":"<h1>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC: \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439<\/h1>\n<p>\u0412 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u0438\u043d\u0434\u0443\u0441\u0442\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u0445, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438. \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) \u0441\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439. \u041e\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0434\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 - SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u0443\u044e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0443, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0443\u044e \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0412 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u0431\u043b\u043e\u0433\u0430 \u043c\u044b \u043f\u043e\u0433\u0440\u0443\u0437\u0438\u043c\u0441\u044f \u0432 \u043c\u0438\u0440 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a, \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0438\u043c \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0432\u0430\u0448\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0443\u0436\u0434.<\/p>\n<h2>1. \u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435: \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC - \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n<p>\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) - \u044d\u0442\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c\u0438 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438. \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 SiC - \u044d\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0438\u0441\u043a \u0438\u0437 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e SiC, \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 (\u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438) \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u043e\u043f\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u042d\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 - \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438; \u0438\u0445 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430. \u0423\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u044b \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b. \u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u043a\u0430\u043a 5G, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0438 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043d\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u043e\u044f\u0442\u0441\u044f \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438. \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a SiC \u043f\u043e \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0443 \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0445 \u0446\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n<h2>2. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC<\/h2>\n<p>\u0418\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043a \u0438\u0445 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445. \u041a\u0430\u0436\u0434\u0430\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 SiC \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0443 \u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430:<\/strong> \u042d\u0442\u043e \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a SiC. \u041e\u043d\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u043a\u0430\u043a \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0434\u0438\u043e\u0434\u044b \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e-\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445. \u0423\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435, \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong> \u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0439 (EV), \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043d\u0430 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438. \u0421\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 SiC \u0432 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445, \u0431\u043e\u0440\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u0438 DC-DC-\u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u0445 EV \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0435\u0437\u0434\u043a\u0438, \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0437\u0430\u0440\u044f\u0434\u043a\u0438 \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u0432\u0435\u0441 \u0438 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044f. \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u043c \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<li><strong>\u0410\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0435\u0433\u043a\u0438\u0435, \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0430\u0434\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445, \u0441\u043f\u0443\u0442\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0430\u0432\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<li><strong>21870: \u0412\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f:<\/strong> \u0421\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0432\u0435\u0442\u0440\u044f\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0443\u0440\u0431\u0438\u043d \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043e\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 SiC. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0431\u043e\u0440\u0430 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b. \u0418\u0445 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0432 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438.<\/li>\n<li><strong>22379: \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432:<\/strong> \u0425\u043e\u0442\u044f \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0433\u0430\u043b\u043b\u0438\u044f (GaN) \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0441\u0430\u043f\u0444\u0438\u0440\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438, SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 GaN. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044f\u0440\u043a\u0438\u0435, \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0432\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0430\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 &#038; \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e:<\/strong> \u0412 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445, \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u043e\u0442\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0432\u0430\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 SiC, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c. \u041f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiC \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445.<\/li>\n<li><strong>\u0422\u0435\u043b\u0435\u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438:<\/strong> \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u0445 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0439 5G \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043b\u0435\u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b. \u0418\u0445 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430\u0445 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u041d\u0435\u0444\u0442\u044c \u0438 \u0433\u0430\u0437:<\/strong> \u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0431\u0443\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043a\u0432\u0430\u0436\u0438\u043d \u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u043d\u0435\u0444\u0442\u0435\u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445. \u0414\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445.<\/li>\n<li><strong>\u0416\u0435\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442:<\/strong> \u0412 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0435\u0437\u0434\u0430\u0445 \u0438 \u0442\u0440\u0430\u043c\u0432\u0430\u044f\u0445 \u0432\u0441\u0435 \u0447\u0430\u0449\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438 \u0442\u044f\u0433\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0432\u0435\u0441 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u044b.<\/li>\n<li><strong>\u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u0430\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f:<\/strong> \u0420\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiC \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0432\u043e\u0441\u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0439, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435.<\/li>\n<\/ul>\n<h2>3. \u041d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0439\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a SiC<\/h2>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041a\u0430\u0441\u0442\u043e\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u0438 \u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u0430\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0432 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u0441 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439.<\/p>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a SiC, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0443, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong> \u0422\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiC \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 \u0442\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0430 \u0432\u044b\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u0418\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c, \u0437\u0430\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u044b \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0433\u0440\u043e\u043c\u043e\u0437\u0434\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<li><strong>\u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong>\n<ul>\n<li><strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f:<\/strong> \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0443 SiC \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0441 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f\u043c\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, N-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435) \u0438 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e, \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0447\u0435\u043c\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0435\u0437 \u0441\u0431\u043e\u0435\u0432.<\/li>\n<li><strong>\u041d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0438 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u0430\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b:<\/strong> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0441\u044b\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u0432 SiC&#8217; \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong> SiC - \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0439 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b. \u0418\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b, \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u043e\u043c\u043e\u043a \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044e \u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432) \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445.<\/li>\n<li><strong>\u0418\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430:<\/strong> SiC \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432 \u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044e, \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445. \u0418\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0438 \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445.<\/li>\n<li><strong>\u0413\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong>\n<ul>\n<li><strong>\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430:<\/strong> \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, 100 \u043c\u043c, 150 \u043c\u043c, 200 \u043c\u043c) \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0432 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u0441 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043a \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c.<\/li>\n<li><strong>\u041e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 (\u0432\u043d\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u043a\u0438):<\/strong> \u0423\u0433\u043e\u043b \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u0435\u0437\u0430 \u043e\u0442 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, 4\u00b0 \u043e\u0442 \u043e\u0441\u0438 \u043e\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (0001) \u0434\u043b\u044f 4H-SiC) \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430. \u0418\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0440\u0435\u0437\u044b:<\/strong> \u0412 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u0441\u043e \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0447\u0438\u043a\u0430 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u044b \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0435\u043c\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432:<\/strong> \u041d\u0430\u0447\u0430\u0432 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u043c\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e, \u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432. \u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a, \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0431\u0430\u0437\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438).<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u043e\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u043c, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e, <a href=\"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/customizing-support\/\">: \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/a> \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u043c \u043a\u0440\u0430\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u044d\u0442\u043e \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e.<\/p>\n<h2>4. \u041d\u0430\u0432\u0438\u0433\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u0430\u043c \u0438 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c SiC \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445<\/h2>\n<p>\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u0435\u043d \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440, \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u044b. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0431\u044b\u043b\u043e \u0432\u044b\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 250 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 SiC, \u043b\u0438\u0448\u044c \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0438 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c. \u041f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0440\u043e\u043a \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<p>\u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438 SiC, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a, \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>4H-SiC (\u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 SiC):<\/strong> \u0412 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u044d\u0442\u043e \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.\n<ul>\n<li><strong>\u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430:<\/strong> \u041e\u043d \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f (~3,26 \u044d\u0412), \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 (\u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0434\u043e\u043b\u044c \u043e\u0441\u0438 c) \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 6H-SiC. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> \u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>6H-SiC (\u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 SiC):<\/strong> \u0418\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 6H-SiC \u0431\u044b\u043b \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u043d\u043e 4H-SiC \u0432 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0432\u044b\u0442\u0435\u0441\u043d\u0438\u043b \u0435\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.\n<ul>\n<li><strong>\u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430:<\/strong> \u041e\u043d \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0443\u044e \u0437\u043e\u043d\u0443 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f (~3,03 \u044d\u0412) \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 4H-SiC. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043e\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> \u041f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445, \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0442\u0438\u043f\u0430\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 GaN \u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0435\u0433\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0441 GaN. \u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u0445.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>3C-SiC (\u043a\u0443\u0431\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 SiC):<\/strong> \u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0430\u043a \u03b2-SiC, \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0442\u0438\u043f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0443\u044e \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0443 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u044b \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f (~2,36 \u044d\u0412), \u043d\u043e \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0447\u0435\u043c 4H \u0438\u043b\u0438 6H.\n<ul>\n<li><strong>\u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430:<\/strong> \u0418\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u043e\u0439 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 3C-SiC \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e. \u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0445 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> \u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043a\u0430\u043a \u041c\u042d\u041c\u0421, \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0438, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0443\u0434\u0430\u0441\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0441 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432. \u041d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043e\u0432, SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430\u0445, \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430:<\/p>\n<p><strong>\u0422\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0430 1: \u0420\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a SiC \u0438 \u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/strong><\/p>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041a\u043b\u0430\u0441\u0441<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442<\/th>\n<th>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u03a9-\u0441\u043c)<\/th>\n<th>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/th>\n<th>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td><strong>N-\u0442\u0438\u043f (\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0439)<\/strong><\/td>\n<td>\u0410\u0437\u043e\u0442 (N)<\/td>\n<td>0.015 &#8211; 0,028 (\u0434\u043b\u044f 4H-SiC)<\/td>\n<td>\u041d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u043c \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445. \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/td>\n<td>\u0421\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 MOSFET, \u0434\u0438\u043e\u0434\u044b \u0441 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043e\u043c \u0428\u043e\u0442\u0442\u043a\u0438 (SBD), IGBT (\u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u044b \u0432 SiC), \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u044b.<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>\u041f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 (SI)<\/strong><\/td>\n<td>\u041b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0430\u043d\u0430\u0434\u0438\u0435\u043c (V) \u0438\u043b\u0438 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 (High Purity Semi-Insulating &#8211; HPSI)<\/td>\n<td>&gt; 10<sup>5<\/sup> (\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e &gt; 10<sup>9<\/sup> \u0434\u043b\u044f HPSI)<\/td>\n<td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u043d\u0443\u044e \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438. \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044e.<\/td>\n<td>\u0412\u0427-\u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0434\u043b\u044f \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0439 5G), MESFET, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041c\u0430\u0440\u043a\u0438 HPSI \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u0432\u0430\u043d\u0430\u0434\u0438\u0435\u043c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0437\u0430\u0445\u0432\u0430\u0442\u0430.<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>P-\u0442\u0438\u043f (\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0439)<\/strong><\/td>\n<td>\u0410\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439 (Al) \u0438\u043b\u0438 \u0431\u043e\u0440 (B)<\/td>\n<td>\u0412\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f, \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0432\u044b\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 N-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f\u0445 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u044b\u0440\u043e\u043a.<\/td>\n<td>\u041c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u043d\u043e \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432.<\/td>\n<td>\u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0431\u0438\u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b (BJT), \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0446\u0435\u043b\u0438.<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0432 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 N-\u0442\u0438\u043f\u0430 4H-SiC, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0412\u0427-\u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u043c (\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e HPSI 4H-SiC \u0438\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c 6H-SiC). \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u0447\u043a\u0438, \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438) - \u0435\u0449\u0435 \u043e\u0434\u0438\u043d \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0432\u044b\u0441\u0448\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<h2>5. \u0412\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC<\/h2>\n<p>\u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430. \u042d\u0442\u0438 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0437\u0430 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438, \u0443\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u044f\u044f\u0441\u044c \u0432 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u041e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0438 \u0443\u0433\u043e\u043b \u0441\u043a\u043e\u0441\u0430:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e \u0441\u0440\u0435\u0437\u043e\u043c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432 \u043e\u0442 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0431\u0430\u0437\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (0001)). \u0414\u043b\u044f 4H-SiC \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0433\u043b\u044b \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 4\u00b0 \u0438\u043b\u0438 8\u00b0 \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 &lt;11-20&gt;.<\/li>\n<li><strong>\u0412\u0430\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong> \u042d\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 step-flow, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432_ \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 3C) \u0432 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0443\u0433\u043b\u0430 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u0435\u0437\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u043b\u0438\u044f\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0432\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430:<\/strong>\n<ul>\n<li><strong>\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440:<\/strong> \u0420\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b: 100 \u043c\u043c (4 \u0434\u044e\u0439\u043c\u0430), 150 \u043c\u043c (6 \u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432), \u0441 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c \u043a 200 \u043c\u043c (8 \u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432) \u0434\u043b\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0448\u0442\u0430\u043c\u043f\u0430. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043b\u0438\u0442\u0435\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430:<\/strong> \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438, \u043d\u043e \u043d\u0435 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043d\u0435\u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438\u043b\u0438, \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a, \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438. \u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0442 350 \u043c\u043a\u043c \u0434\u043e 500 \u043c\u043a\u043c \u0434\u043b\u044f 100- \u0438 150-\u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a. \u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438:<\/strong>\n<ul>\n<li><strong>\u042d\u043f\u0438\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (\u0425\u041c\u041f). \u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c &#8220;\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438&#8221; \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439.<\/li>\n<li><strong>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (Ra):<\/strong> \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0430\u043d\u0433\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, Ra &lt; 0,5 \u043d\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 &lt; 0,2 \u043d\u043c).<\/li>\n<li><strong>\u0426\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d\u044b, \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b:<\/strong> \u0421\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043b\u044e\u0431\u044b\u0445 \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432:<\/strong> \u042d\u0442\u043e \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432.\n<ul>\n<li><strong>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a (MPD):<\/strong> \u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 - \u044d\u0442\u043e \u0432\u0438\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u044b\u043c \u0441\u0435\u0440\u0434\u0435\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0432 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439, \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0444\u0430\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e MPD \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a &lt; 1 \u0441\u043c<sup>-2<\/sup> \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0440\u0442\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u043d\u0443\u043b\u0435\u0432\u044b\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u0431\u0430\u0437\u0438\u0441\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (BPD):<\/strong> \u041f\u041f\u0414 \u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u0432 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0431\u0438\u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0438 \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 V<sub>f<\/sub> \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444 \u0432 \u0434\u0438\u043e\u0434\u0430\u0445 PiN.<\/li>\n<li><strong>\u0414\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u0438\u043d\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 (TSD) \u0438 \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 (TED):<\/strong> \u041e\u043d\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/li>\n<li>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c\u044e.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430. \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u043e\u0433\u0438\u0431 \u0438 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong> \u042d\u0442\u0438 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043e\u043f\u0438\u0441\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043e\u0442 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0427\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437\u0433\u0438\u0431 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043a\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0438 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438. \u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0438\u0431 \u0434\u043e &lt; 30-50 \u043c\u043a\u043c \u0438 \u0438\u0441\u043a\u0440\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e &lt; 50-70 \u043c\u043a\u043c, \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u041e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b (TTV):<\/strong> \u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u0421\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c TTV \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u0418\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432:<\/strong> \u041e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, 3-5 \u043c\u043c), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435\u043c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430. \u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435.<\/li>\n<li><strong>\u0418\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u043a\u0438:<\/strong> \u0418\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043a\u0438, \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u043c (\u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442 SEMI), \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0442\u0441\u043b\u0435\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a. \u041a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u043a \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b.<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0422\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u043e \u0437\u043d\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u043c SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u043c \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u043a \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<h2>6. \u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438, \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 &#038; \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0432 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445<\/h2>\n<p>\u041f\u0443\u0442\u044c \u043e\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e SiC-\u0431\u0443\u043b\u044f \u0434\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0440\u044f\u0434 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u043a\u0438, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u0444\u0438\u043d\u0438\u0448\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438. \u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043e\u0432, \u0431\u0435\u0437\u0443\u043f\u0440\u0435\u0447\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432. \u042d\u0442\u0438 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u0449\u0438\u0439 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<p><strong>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438:<\/strong><\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u043d\u0430 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435.<\/li>\n<li>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a: \u043e\u0442 \u00b10,1 \u043c\u043c \u0434\u043e \u00b10,2 \u043c\u043c \u043e\u0442 \u043d\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, 100 \u043c\u043c, 150 \u043c\u043c).<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u043f\u043e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u0420\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/li>\n<li>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a: \u043e\u0442 \u00b110 \u043c\u043a\u043c \u0434\u043e \u00b125 \u043c\u043a\u043c \u043e\u0442 \u043d\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, 350 \u043c\u043a\u043c, 500 \u043c\u043a\u043c).<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b (TTV):<\/strong>\n<ul>\n<li>\u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u041a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/li>\n<li>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f: &lt; 10 \u043c\u043a\u043c, \u0430 \u043f\u0440\u0435\u043c\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u044f\u0442\u0441\u044f \u043a &lt; 5 \u043c\u043a\u043c.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Bow:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u0412\u043e\u0433\u043d\u0443\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043b\u0438 \u0432\u044b\u043f\u0443\u043a\u043b\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439, \u043d\u0435 \u0437\u0430\u0436\u0430\u0442\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0412\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.<\/li>\n<li>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f: \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e &lt; 30 \u043c\u043a\u043c, \u0441 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>Warp:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0423\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u0412\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0436\u0438\u043c \u043f\u0430\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430 \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443.<\/li>\n<li>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f: \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e &lt; 40 \u043c\u043a\u043c.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, Ra, Rms, Rq):<\/strong>\n<ul>\n<li><strong>\u0421\u0438-\u0444\u0430\u0441 (\u043f\u043e\u043b\u044c\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0430):<\/strong> \u042d\u0442\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430. \u041e\u043d\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0440\u043d\u043e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439.\n<ul>\n<li>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0439 Ra: &lt; 0,5 \u043d\u043c, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e &lt; 0,2 \u043d\u043c \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (CMP). \u0412 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 &lt; 0,1 \u043d\u043c.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041b\u0438\u0446\u043e C (\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0430):<\/strong> \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0448\u043b\u0438\u0444\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f, \u043d\u043e \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0434\u0432\u0443\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0443). \u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0432\u044b\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 Si-.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u043a\u0440\u043e\u043c\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u043a\u043e\u043b\u044b:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u041f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0437\u0430\u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043a\u043e\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0430\u0439, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0441\u043a\u043e\u043b\u044b \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c.<\/li>\n<li>\u0421\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0438 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0444\u0438\u0448\u0435\u043a.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0441 \u043d\u0430\u0441\u0435\u0447\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432) \u0438\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0435\u043c\u043a\u0438 (\u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043f\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0443 SEMI) \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044e.<\/li>\n<li>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u0438 \u0443\u0433\u043e\u043b \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u0430 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u00b11 \u043c\u043c, \u0430 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u043d\u0430 \u0443\u0433\u043b\u043e\u0432\u0443\u044e \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044e - \u00b10,5\u00b0.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043a\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, STIR &#8211; Site Total Indicated Reading):<\/strong>\n<ul>\n<li>\u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0430\u0445 (\u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043a\u0430\u0445), \u0433\u0434\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0442\u0430\u043c\u043f\u044b. \u0427\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438.<\/li>\n<li>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0442 \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0430, \u043d\u043e \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u0414\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d, \u044f\u043c, \u043f\u044f\u0442\u0435\u043d, \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0414\u043b\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f.<\/li>\n<li>\u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u044b \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 CMP.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p><strong>\u0422\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0430 2: \u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a Prime SiC<\/strong><\/p>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f (\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440 150 \u043c\u043c N-\u0442\u0438\u043f\u0430 4H-SiC)<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/td>\n<td>150 \u043c\u043c \u00b1 0,2 \u043c\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430<\/td>\n<td>350 \u043c\u043a\u043c \u00b1 15 \u043c\u043a\u043c \u0438\u043b\u0438 500 \u043c\u043a\u043c \u00b1 20 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0430\u044f\/\u0442\u043e\u0447\u0435\u0447\u043d\u0430\u044f<\/td>\n<td>\u041f\u0435\u0440\u043f\u0435\u043d\u0434\u0438\u043a\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e &lt;11-20&gt; \u00b1 0,5\u00b0 (\u0438\u043b\u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435)<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0423\u0433\u043e\u043b \u043e\u0442\u0440\u0435\u0437\u0430\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<td>4.0\u00b0 \u00b1 0,25\u00b0 (\u0432 \u0443\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438)<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>TTV<\/td>\n<td>&lt; 10\u00b5m (\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e &lt; 5\u00b5m \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043c\u0438\u0443\u043c-\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430)<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u0440\u043e\u0433\u0438\u0431<\/td>\n<td>&lt; 30\u00b5m<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041a\u043e\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<td>&lt; 40\u00b5m<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 Si-\u0444\u0430\u0441\u043a\u0438 (Ra)<\/td>\n<td>&lt; 0,2 \u043d\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a (MPD)<\/td>\n<td>&lt; 0,5 \u0441\u043c<sup>-2<\/sup> (\u0438\u043b\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u043e\u043c)<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0418\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432<\/td>\n<td>3 \u043c\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a. \u0414\u043b\u044f \u043c\u0435\u043d\u0435\u0434\u0436\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0447\u0435\u0442\u043a\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0433\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<h2>7. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a<\/h2>\n<p>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 SiC-\u0431\u0443\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 (\u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u043a\u0438) \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0438\u0445 \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 &amp;#8220-\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435&amp;#8221- \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438. \u042d\u0442\u0438 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0438 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u0425\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 (CMP):<\/strong>\n<ul>\n<li>\u042d\u0442\u043e, \u043f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439, \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0440\u043d\u043e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 Si-\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 (\u0430 \u0438\u043d\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0438 \u043d\u0430 C-\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435) \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC.<\/li>\n<li>CMP \u043f\u043e\u0434\u0440\u0430\u0437\u0443\u043c\u0435\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 (\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0435\u0439 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430) \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0441\u043a\u0430. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u0426\u0435\u043b\u044c:<\/strong> \u0423\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u043a\u043e\u0439, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043e \u0430\u043d\u0433\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, Ra &lt; 0,2 \u043d\u043c) \u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<li>\u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0436\u0435\u043b\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 CMP \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430\u043c\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u0423\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 CMP \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0439\u0442\u0438 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0443, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0443\u0434\u0430\u043b\u0438\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0435\u0441\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<li>\u041f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435:\n<ul>\n<li>\u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0430\u0446\u0435\u0442\u043e\u043d\u043e\u043c, IPA).<\/li>\n<li>\u041a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, Piranha etch (H<sub>2<\/sub>SO<sub>4<\/sub> + H<sub>2<\/sub>O<sub>2<\/sub>), \u0421\u041a-2 (HCl + H<sub>2<\/sub>O<sub>2<\/sub> + H<sub>2<\/sub>O)) \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/li>\n<li>\u0429\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, SC-1 (NH<sub>4<\/sub>OH + H<sub>2<\/sub>O<sub>2<\/sub> + H<sub>2<\/sub>O)) \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446.<\/li>\n<li>\u041f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0432\u043a\u0430 \u0432 DI \u0432\u043e\u0434\u0435 \u0438 \u0441\u0443\u0448\u043a\u0430 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0441\u0443\u0448\u043a\u0430 \u0441 \u043e\u0442\u0436\u0438\u043c\u043e\u043c, \u0441\u0443\u0448\u043a\u0430 \u041c\u0430\u0440\u0430\u043d\u0433\u043e\u043d\u0438).<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li>\u0426\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0440\u043d\u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u0443\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0431\u0435\u0437 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u0447\u0442\u043e \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u041d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f.<\/li>\n<li><strong>\u0410\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u044b \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438:<\/strong> \u0422\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043a\u0430\u043a KLA-Tencor Candela \u0438\u043b\u0438 Surfscan, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u0430\u0440\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d, \u044f\u043c \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.<\/li>\n<li><strong>\u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u044f (\u0410\u0421\u041c):<\/strong> \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<li><strong>\u0414\u0438\u0444\u0440\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0443\u0447\u0435\u0439 (XRD) \/ \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0442\u043e\u043f\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f (XRT):<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438 \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0443\u0433\u043b\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0437\u0430 \u0438 \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438).<\/li>\n<li><strong>\u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u044f:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0440\u043e\u043c\u043e\u043a \u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u043a.<\/li>\n<li><strong>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b, TTV, \u0431\u0430\u043d\u0442\u0430, \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438:<\/strong> \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b (\u043d\u0435\u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043d\u043e \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432\u0441\u0442\u0440\u0435\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f):<\/strong>\n<ul>\n<li>\u0425\u043e\u0442\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0435 \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 (Si-\u0444\u0430\u0441\u0430\u0434), \u0442\u044b\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0430 (C-\u0444\u0430\u0441\u0430\u0434) \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435.<\/li>\n<li><strong>\u0428\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0430\/\u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u043a\u0430 \u0437\u0430\u0434\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0434\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b.<\/li>\n<li><strong>\u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0437\u0430\u0434\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0434\u0432\u0443\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 (DSP) \u0438\u043b\u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430.<\/li>\n<li><strong>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0437\u0430\u0434\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b:<\/strong> \u0412 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, Ti\/Ni\/Ag) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d \u043d\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u043b\u0435\u0433\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430. \u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043d\u043e \u0438\u043d\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043e \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0443\u0441\u043b\u0443\u0433\u0438 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043a\u0438 SEMI \u043d\u0430\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0434\u043d\u044e\u044e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u044e\u044e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u0437\u043e\u043d\u0443) \u0434\u043b\u044f \u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u0441\u043b\u0435\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0431\u044b\u0442\u044c \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u043c \u0438 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u043e\u043c\u043e\u043a\/\u0441\u043d\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0444\u0430\u0441\u043e\u043a:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438\u0435, \u0437\u0430\u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u043a\u043e\u043b\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<li><strong>\u041e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0430:<\/strong>\n<ul>\n<li>\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0432 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442 \u0441 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0439 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438<br \/>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC: \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0412 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u043c\u0441\u044f \u043b\u0430\u043d\u0434\u0448\u0430\u0444\u0442\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u0445, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438. \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) \u0441\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u044b \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439. \u041e\u0442 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0434\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439&#8230;<\/p>","protected":false},"author":3,"featured_media":2345,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"_gspb_post_css":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"class_list":["post-2530","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-uncategorized"],"acf":{"en_gb-title":"","en_gb-meta":"","ja-title":"","ja-meta":"","ja-content":"","ko-title":"","ko-meta":"","ko-content":"","nl-title":"","nl-meta":"","nl-content":"","es-title":"","es-meta":"","es-content":"","ru-title":"","ru-meta":"","ru-content":"","tr-title":"","tr-meta":"","tr-content":"","pl-title":"","pl-meta":"","pl-content":"","pt-title":"","pt-meta":"","pt-content":"","de-title":"","de-meta":"","de-content":"","fr-title":"","fr-meta":"","fr-content":""},"taxonomy_info":{"category":[{"value":1,"label":"Uncategorized"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/sicarbtech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/05\/Custom-Silicon-Carbide-Products-7_1-1.jpg",1024,1024,false],"author_info":{"display_name":"yiyunyinglucky","author_link":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/author\/yiyunyinglucky\/"},"comment_info":14,"category_info":[{"term_id":1,"name":"Uncategorized","slug":"uncategorized","term_group":0,"term_taxonomy_id":1,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":794,"filter":"raw","cat_ID":1,"category_count":794,"category_description":"","cat_name":"Uncategorized","category_nicename":"uncategorized","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2530","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2530"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2530\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4945,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2530\/revisions\/4945"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2345"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2530"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2530"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/sicarbtech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2530"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}