Литье под давлением SiC для производства сложных деталей
Введение: Литье SiC под давлением для изготовления сложных деталей
В сфере современных материалов карбид кремния (SiC) выделяется своими исключительными свойствами, включая высокую твердость, отличную теплопроводность, превосходную износостойкость и химическую инертность. Эти характеристики делают его незаменимым для высокопроизводительных промышленных применений. Однако изготовление сложных деталей из SiC, имеющих форму сетки, традиционно сопряжено со значительными трудностями и затратами из-за присущей этому материалу твердости и хрупкости. На сайте Литье под давлением карбида кремния (SiC IM)это революционный производственный процесс, позволяющий изготавливать сложные, крупносерийные SiC-компоненты с удивительной точностью и рентабельностью. Эта технология революционизирует подход к проектированию и изготовлению деталей, подвергающихся экстремальным условиям, открывая двери для инноваций в самых разных отраслях - от производства полупроводников до аэрокосмической промышленности.
Литье SiC под давлением сочетает в себе материальные преимущества карбида кремния и гибкость дизайна литья пластмасс под давлением. Процесс включает в себя смешивание мелкодисперсного порошка SiC со связующей системой для создания исходного материала, который затем нагревается и впрыскивается в прецизионную пресс-форму. После формовки деталь “зеленого” цвета подвергается удалению связующего (дебридинг) и спеканию при высоких температурах для достижения конечной плотности и свойств. Этот метод позволяет создавать сложные геометрические формы, тонкие стенки, внутренние полости и другие особенности, которые трудно или невозможно получить с помощью обычных методов формования керамики, таких как прессование и механическая обработка. Для инженеров и менеджеров по закупкам понимание нюансов литья SiC под давлением имеет решающее значение для использования всего его потенциала при разработке продуктов нового поколения, требующих превосходных характеристик материала и сложных конструкций. В этой статье блога мы погрузимся в тонкости SiC IM, изучим его применение, преимущества, конструктивные особенности и то, как выбрать правильного партнера-производителя для ваших потребностей в компонентах SiC.
Преимущество литья под давлением для сложных деталей из карбида кремния
Основное преимущество литья под давлением карбида кремния заключается в его непревзойденной способности производить детали с очень сложной геометрией. Традиционные методы производства SiC, такие как одноосное или изостатическое прессование с последующей обширной зеленой или алмазной обработкой, часто ограничивают сложность формы, могут быть трудоемкими и приводить к значительным отходам материала, особенно в случае сложных конструкций. Это делает изготовление таких элементов, как подрезы, внутренняя резьба, криволинейные каналы и стенки различной толщины, исключительно сложным и дорогостоящим.
SiC IM преодолевает эти ограничения благодаря использованию процесса, схожего с литьем пластмассы под давлением, известного своей способностью создавать детали сетчатой или близкой к ней формы с высокой точностью. Ключевые преимущества включают:
- Свобода дизайна: Инженеры могут разрабатывать компоненты с уровнем сложности, ранее недостижимым для SiC. Это включает в себя интегрированные функциональные возможности, миниатюризацию и оптимизированные формы для гидродинамики или теплопередачи.
- Уменьшенная обработка: Благодаря получению деталей, близких по форме к сетке, необходимость в алмазной шлифовке после спекания значительно снижается. Это не только сокращает время и стоимость производства, но и минимизирует риск появления дефектов поверхности или концентрации напряжений, которые могут нарушить целостность детали’.
- Эффективность материала: Литье под давлением - высокоэффективный процесс с минимальными отходами материала по сравнению с субтрактивными технологиями производства. Бегунки и литники из исходного сырья часто могут быть переработаны, что еще больше повышает экономическую эффективность.
- Масштабируемость для крупносерийного производства: После разработки оснастки SiC IM позволяет воспроизводить и экономически эффективно производить от тысяч до миллионов деталей, что делает его идеальным для приложений с высокими требованиями к объемам производства.
- Постоянное качество деталей: Автоматизированный характер процесса литья под давлением обеспечивает высокую повторяемость и согласованность от детали к детали, что очень важно для приложений, требующих жестких допусков и однородных свойств материала.
Для отраслей промышленности, где требуются компоненты, которые должны выдерживать жесткие условия эксплуатации и иметь сложную конструкцию - например, микрореакторы для химической обработки, сложные сопла для аэрокосмической промышленности или сложные компоненты для обработки полупроводниковых пластин, - литье SiC под давлением предлагает привлекательное производственное решение. Оно позволяет преодолеть разрыв между исключительными свойствами материала карбида кремния и производственными требованиями к сложным, надежным и экономически эффективным деталям.
Ключевые промышленные области, в которых требуются сложные SiC-компоненты
Уникальное сочетание свойств материала и возможности создания сложной геометрии, предлагаемое литьем под давлением карбида кремния, делает его востребованным решением в различных отраслях промышленности. Менеджеры по закупкам и технические покупатели в этих секторах все чаще выбирают SiC, изготовленный методом литья под давлением, для критически важных компонентов, где производительность и надежность имеют первостепенное значение.
| Отрасль | Конкретные области применения деталей из SiC, изготовленных методом литья под давлением | Использование ключевых свойств SiC |
|---|---|---|
| Производство полупроводников | Патроны для подложек, концевые эффекторы, душевые головки, стопорные кольца CMP, фокусировочные кольца, трубки инжектора, компоненты плазменного травления. | Высокая чистота, устойчивость к тепловым ударам, жесткость, устойчивость к плазменной эрозии, химическая инертность. |
| Автомобильная промышленность | Уплотнительные кольца для водяных насосов, подшипники, компоненты турбокомпрессоров, компоненты силовой электроники электромобилей (например, теплоотводы, подложки). | Износостойкость, высокотемпературная прочность, теплопроводность, коррозионная стойкость. |
| Аэрокосмическая и оборонная промышленность | Сопла ракет, компоненты движителей, компоненты турбинных двигателей (обтекатели, лопатки), легкая броня, подложки для зеркал, корпуса датчиков. | Высокотемпературная стабильность, устойчивость к тепловым ударам, низкая плотность, высокая жесткость, износостойкость. |
| Силовая электроника | Теплоотводы, подложки для силовых модулей, изоляционные компоненты, корпуса для высоковольтных устройств. | Высокая теплопроводность, электроизоляция, термостойкость. |
| Возобновляемая энергия | Компоненты для систем концентрированной солнечной энергии (CSP), подшипники и уплотнения в ветровых турбинах, детали для топливных элементов. | Высокотемпературная способность, износостойкость, коррозионная стойкость. |
| Металлургия и высокотемпературная обработка | Керамические тигли, компоненты печей (балки, ролики, защитные трубки термопар), мебель для печей, сопла горелок. | Стойкость к экстремальным температурам, устойчивость к тепловым ударам, химическая инертность, износостойкость. |
| Химическая обработка | Механические уплотнения, компоненты насосов (крыльчатки, валы, подшипники), компоненты клапанов, микрореакторы, трубки теплообменников, сопла. | Исключительная коррозионная стойкость, износостойкость, термостойкость. |
| Производство светодиодов | Суспензоры для реакторов MOCVD, инструментов для обработки, компонентов, требующих высокой термической стабильности и чистоты. | Высокая теплопроводность, чистота, стабильность размеров при высоких температурах. |
| Промышленное оборудование | Прецизионные сопла, износостойкие футеровки, подшипники, уплотнения, компоненты режущего инструмента. | Чрезвычайная твердость, износостойкость, стабильность размеров. |
| Нефтегазовая промышленность | Компоненты скважинного инструмента, седла клапанов, дроссельные фасоли, быстроизнашивающиеся детали для насосов и бурового оборудования. | Стойкость к истиранию, коррозии, устойчивость к высокому давлению. |
Возможность формовать SiC в сложные формы означает, что компоненты, которые раньше изготавливались путем сборки нескольких более простых деталей, теперь могут быть изготовлены как единый, интегрированный блок. Это снижает затраты на сборку, уменьшает потенциальные точки отказа и зачастую повышает общую производительность. Поскольку промышленность продолжает расширять границы температур, давления и химического воздействия, спрос на сложные компоненты из SiC, изготовленные методом литья под давлением, будет значительно расти.
Разблокировка производительности: Преимущества литья SiC под давлением на заказ
Нестандартные компоненты из карбида кремния, изготовленные методом литья под давлением, обеспечивают значительное повышение производительности по сравнению с деталями, изготовленными из обычных материалов или менее сложными методами формования керамики. Свойства, присущие SiC, в сочетании с точностью процесса литья под давлением обеспечивают ощутимые преимущества для сложных приложений. Эти преимущества особенно важны для оптовых покупателей, OEM-производителей и специалистов по техническим закупкам, которые ищут надежные и долговечные решения.
К основным преимуществам производительности относятся:
-
Исключительное управление температурным режимом:
- Высокая теплопроводность (часто >150 Вт/мК, в зависимости от марки) обеспечивает эффективный отвод тепла, что очень важно для силовой электроники, теплообменников и компонентов печей.
- Превосходная стойкость к термоударам предотвращает растрескивание или разрушение при резких перепадах температуры, что очень важно для таких применений, как сопла ракет или оборудование для обработки полупроводников.
- Низкое тепловое расширение обеспечивает стабильность размеров в широком диапазоне температур, сохраняя точность критически важных узлов.
-
Превосходная износостойкость и устойчивость к истиранию:
- Обладая твердостью по шкале Мооса, уступающей только алмазу, компоненты из SiC демонстрируют исключительную стойкость к износу при скольжении, абразивному износу от твердых частиц и эрозии. Это приводит к увеличению срока службы таких деталей, как механические уплотнения, форсунки и компоненты насосов.
- Мелкозернистая микроструктура, достигаемая при литье под давлением, может дополнительно улучшить характеристики износа.
-
Выдающаяся химическая инертность и коррозионная стойкость:
- SiC обладает высокой устойчивостью к широкому спектру кислот, щелочей и расплавленных солей даже при повышенных температурах. Это делает его идеальным для оборудования химической обработки, мокрого травления полупроводников и применений, связанных с агрессивными средами.
- Он не выщелачивает загрязняющие вещества, обеспечивая высокую чистоту в таких чувствительных средах, как светодиодное и фармацевтическое производство.
-
Высокая прочность и жесткость даже при повышенных температурах:
- SiC сохраняет свою механическую прочность при температурах свыше 1400°C, превосходя большинство металлов и других керамик.
- Высокий модуль Юнга обеспечивает превосходную жесткость и устойчивость к деформации под нагрузкой, что очень важно для прецизионных конструктивных элементов.
-
Потенциал облегчения веса:
- Благодаря плотности (около 3,1-3,2 г/см³), более низкой, чем у большинства высокопрочных сталей и сверхпрочных сплавов, компоненты из SiC могут способствовать снижению веса в аэрокосмической, автомобильной и робототехнической промышленности без ущерба для эксплуатационных характеристик.
-
Электрические свойства:
- Хотя в целом SiC является электроизолятором, его электропроводность может быть изменена путем легирования или выбора определенных политипов, что позволяет применять его в самых разных областях - от полупроводниковых приборов до нагревательных элементов. Литье под давлением позволяет использовать эти специализированные марки SiC.
Выбирая литье SiC под давлением, компании могут добиться повышения эффективности работы, сокращения времени простоя, увеличения срока службы компонентов и возможности работы в более экстремальных условиях. Это означает снижение совокупной стоимости владения и значительное конкурентное преимущество. Возможность производства сложных, индивидуальных конструкций означает, что инженеры больше не ограничены производственными ограничениями, что позволяет добиться действительно оптимизированных характеристик компонентов, отвечающих конкретным потребностям приложений. Получение этих преимуществ упрощается при работе с экспертами поставщики решений на основе SiC на заказ которые разбираются в тонкостях как материала, так и процесса литья под давлением.
Градусы карбида кремния, оптимизированные для процессов литья под давлением
Карбид кремния не является монолитным материалом; существуют различные марки, каждая из которых имеет свои свойства, предназначенные для конкретных применений. Когда речь идет о литье SiC под давлением, выбор соответствующей марки имеет решающее значение для достижения желаемых эксплуатационных характеристик конечного компонента. Порошок SiC, используемый в качестве исходного сырья, а также процесс спекания определяют конечную микроструктуру и свойства. Специалисты по закупкам и инженеры должны знать о распространенных марках SiC, пригодных для литья под давлением:
-
Спеченный карбид кремния (SSiC):
- Описание: Производится путем спекания мелкозернистого порошка альфа-SiC высокой чистоты, часто с добавлением неоксидных агентов спекания (например, бора и углерода). Детали из SSiC обычно спекаются при температуре выше 2000°C в инертной атмосфере.
- Ключевые свойства: Чрезвычайно высокая твердость, отличная износостойкость, хорошая прочность при высоких температурах (до 1600°C), превосходная коррозионная стойкость, высокая теплопроводность. Может достигать очень мелкого размера зерна, что приводит к превосходной отделке поверхности.
- Общие области применения: Механические уплотнения, подшипники, сопла, компоненты клапанов, оборудование для обработки полупроводников, быстроизнашивающиеся детали. Хорошо подходит для литья под давлением сложных форм, требующих максимальных характеристик материала.
-
Реакционно-связанный карбид кремния (RBSiC), также известный как силицированный карбид кремния (SiSiC):
- Описание: Изготавливается путем инфильтрации пористого компакта из частиц SiC и углерода расплавленным кремнием. Кремний вступает в реакцию с углеродом, образуя дополнительный SiC, который скрепляет исходные частицы SiC. Конечный материал обычно содержит некоторое количество остаточного свободного кремния (обычно 8-15%).
- Ключевые свойства: Очень хорошая износостойкость и устойчивость к тепловым ударам, высокая теплопроводность, хорошая механическая прочность. Наличие свободного кремния может ограничить его применение в некоторых высококоррозионных средах или при очень высоких температурах (выше 1350°C, где кремний может расплавиться). Обычно проще и дешевле в производстве, чем SSiC.
- Общие области применения: Мебель для печей, теплообменники, сопла горелок, износостойкие вкладыши, компоненты насосов. Его способность формировать большие и сложные формы делает его хорошим кандидатом для литья под давлением, где стоимость является основным фактором, а экстремальная химическая чистота не является главной задачей.
-
Карбид кремния на нитридной связке (NBSiC):
- Описание: Зерна SiC соединены фазой нитрида кремния (Si₃N₄). Этот материал обладает хорошим балансом свойств.
- Ключевые свойства: Хорошая стойкость к тепловым ударам, хорошая механическая прочность и стойкость к расплавленным цветным металлам. Не так высок, как SSiC, в плане износостойкости и высокотемпературной прочности.
- Общие области применения: Компоненты для контактов с цветными металлами, защитные трубки термопар, некоторые виды печной мебели. Реже используется в литье под давлением по сравнению с SSiC или RBSiC для изготовления очень сложных деталей, но вполне возможно.
-
Специализированные/допированные гранулы SiC:
- Описание: К ним относятся марки SiC, легированные для изменения электропроводности (например, для нагревательных элементов или полупроводниковых приложений), или марки с улучшенными специфическими свойствами за счет добавок.
- Ключевые свойства: Повышенное удельное электрическое сопротивление, улучшенная теплопроводность или повышенная вязкость разрушения.
- Общие области применения: Нестандартные применения, требующие особых электрических или тепловых характеристик в сложных формах.
Выбор марки SiC для проекта литья под давлением зависит от тщательного анализа условий эксплуатации, включая температуру, химическую среду, механические нагрузки и требуемый срок службы. Сырье для литья SiC под давлением тщательно разрабатывается с использованием специальных порошков SiC (альфа- или бета-политипов с различным размером частиц) и запатентованных связующих систем, которые совместимы с выбранной маркой и обеспечивают успешное формование, дебридинг и спекание. Сотрудничество с опытным поставщиком SiC для литья под давлением имеет решающее значение для выбора оптимальной марки и параметров процесса, отвечающих строгим требованиям ваших сложных компонентов.
Конструкторские соображения для изготовления сложных деталей из SiC методом литья под давлением
Литье под давлением карбида кремния предоставляет значительную свободу проектирования, однако для успешного изготовления сложных деталей из SiC требуется тщательное соблюдение нескольких принципов проектирования, характерных для данного процесса и материала. Соблюдение этих принципов помогает обеспечить технологичность, оптимальные характеристики деталей и экономическую эффективность. Инженеры и конструкторы должны тесно сотрудничать со своим поставщиком SiC IM на начальном этапе проектирования.
Ключевые аспекты дизайна включают:
-
Толщина стенок:
- Однородность: Стремитесь к равномерной толщине стенок по всей детали. Значительные отклонения могут привести к дифференциальной усадке во время спекания, что вызовет коробление, трещины или внутренние напряжения. Обычно минимальная толщина стенок составляет от 0,5 мм до 2 мм, в зависимости от размера и сложности детали.
- Переходы: Если перепады толщины неизбежны, используйте плавные переходы или радиусы, а не резкие изменения.
-
Усадка:
- Детали из SiC подвергаются значительной линейной усадке во время обдирки и спекания, обычно от 15 до 25 %. Эта усадка должна быть точно учтена при проектировании пресс-формы. Точная величина усадки зависит от марки SiC, характеристик порошка, системы связующего и параметров обработки.
- Поставщики будут использовать исторические данные и инструменты моделирования для прогнозирования и компенсации усадки.
-
Углы наклона:
- Обеспечьте небольшой угол осадки (обычно от 0,5 до 2 градусов) на поверхностях, параллельных направлению открытия пресс-формы, чтобы облегчить извлечение зеленой детали из полости пресс-формы. Это минимизирует нагрузку на хрупкую зеленую деталь и уменьшает износ пресс-формы.
-
Радиусы и галтели:
- Избегайте острых внутренних углов, которые могут служить концентраторами напряжений и точками зарождения трещин, особенно в хрупких материалах, таких как SiC. Вместо этого используйте большие радиусы и галтели. Это также улучшает подачу сырья при формовке.
- Внешние острые углы могут привести к сколам. Рассмотрите варианты небольшого радиуса или фаски.
-
Отверстия и стержни:
- Сквозные отверстия обычно легче формовать, чем глухие. Глубина глухих отверстий обычно ограничена диаметром стержня.
- Длинные, тонкие стержни могут прогибаться под давлением формовки или ломаться. Учитывайте соотношение сторон отверстий.
- Обеспечьте достаточную поддержку стержневых штифтов в конструкции пресс-формы.
-
Поднутрения и резьба:
- Внешние подрезы и резьбы часто можно формовать с использованием компонентов скользящей формы (кулачков или подъемников), хотя это усложняет оснастку и увеличивает ее стоимость.
- Внутренние подрезы и резьбы более сложны и могут потребовать разборных стержней или обработки после формования. Простая внутренняя резьба иногда возможна с помощью механизмов отвинчивания в пресс-форме.
-
Прощальные строки:
- Линия раздела (место соединения половинок пресс-формы) будет видна на конечной детали. Ее расположение должно быть тщательно продумано, чтобы минимизировать эстетическое воздействие и избежать вмешательства в функциональные поверхности. По возможности размещайте ее на некритичных кромках.
-
Гейтинг и выброс:
- Расположение и тип затвора (место входа сырья в полость) влияют на поток материала, упаковку деталей и конечные свойства. Поставщик обычно определяет оптимальное расположение затвора на основе моделирования и опыта.
- На детали будут присутствовать следы от выталкивающих штифтов. Они должны располагаться на некритичных поверхностях.
-
Текстура поверхности и надписи:
- В полость пресс-формы могут быть встроены текстуры поверхности, логотипы или номера деталей. Приподнятые элементы на детали обычно легче поддаются формовке, чем углубленные.
-
Допуски:
- Понимание достижимых допусков при использовании SiC IM (обсуждается в следующем разделе). Проектируйте критические элементы с минимально допустимыми допусками, чтобы снизить производственные затраты. Более жесткие допуски могут потребовать шлифовки после спекания.
Заблаговременное сотрудничество с компетентным партнером по литью SiC под давлением, например, со специалистом по пользовательские изделия из карбида кремнияи неоценимы. Они могут обеспечить обратную связь по вопросам проектирования для обеспечения технологичности производства (DFM), чтобы оптимизировать конструкцию детали для процесса SiC IM, потенциально снижая затраты, улучшая качество и сокращая сроки изготовления сложных SiC-компонентов.
Достижимые допуски и чистота поверхности при литье SiC под давлением
Для инженеров и менеджеров по закупкам, разрабатывающих сложные компоненты из карбида кремния, понимание достижимой точности размеров и качества поверхности при литье под давлением имеет решающее значение для обеспечения соответствия деталей функциональным требованиям. Литье SiC под давлением позволяет получать детали с впечатляющей точностью, особенно учитывая твердость материала и значительную усадку, которая происходит в процессе.
Допуски на размеры:
Достижимые допуски для деталей из SiC, изготовленных методом литья под давлением, зависят от нескольких факторов, включая размер детали, сложность, марку SiC, качество инструмента и контроль процесса. Общие рекомендации заключаются в следующем:
- Допуски после спекания: Для большинства размеров допуски при спекании обычно находятся в диапазоне от ±0,5% до ±1,0% от номинального размера. Для небольших деталей или очень хорошо контролируемых процессов могут быть достигнуты допуски до ±0,3%.
- Критические размеры: Для особо ответственных размеров иногда можно обеспечить более жесткие допуски за счет тщательной оптимизации процесса и проектирования пресс-формы, которые могут достигать от ±0,1 мм до ±0,2 мм для небольших деталей. Однако это часто требует дополнительных усилий при разработке.
- Влияние размера детали: Более крупные детали обычно имеют большие абсолютные значения допусков (например, ±1% от 100 мм - это ±1 мм, а ±1% от 10 мм - это ±0,1 мм).
- Геометрические допуски: Также важны допуски на плоскостность, параллельность, перпендикулярность и круглость. Их обычно сложнее контролировать, чем допуски на линейные размеры, и они в значительной степени зависят от геометрии детали и поведения при спекании. Значения часто составляют от 0,05 мм до 0,2 мм на 25 мм, но могут значительно варьироваться.
- Шлифование после спекания: Если требуются более жесткие допуски, чем достижимые при использовании спеченного SiC IM, можно применить прецизионное алмазное шлифование. При этом можно достичь допусков до нескольких микрон (µm), но это значительно увеличивает стоимость и время выполнения заказа. Обычно его применяют для критических сопрягаемых поверхностей или деталей, требующих сверхвысокой точности.
Отделка поверхности:
На качество поверхности деталей из SiC, изготовленных методом литья под давлением, влияют поверхность формы, размер частиц SiC-порошка и процесс спекания.
- Шероховатость поверхности после спекания: Типичная шероховатость поверхности (Ra) при спекании для компонентов SiC, изготовленных методом литья под давлением, варьируется в пределах 0.от 4 µм до 1,6 µм (от 16 до 63 µдюймов). Более тонкие порошки SiC и высокополированные формы могут обеспечить более гладкую поверхность в этом диапазоне.
- Влияние отделки пресс-формы: Качество поверхности полости пресс-формы напрямую отражается на зеленой детали и, в значительной степени, на спеченной детали. Высокополированные поверхности пресс-формы приводят к получению более гладких SiC-компонентов.
- Постобработка для улучшения качества отделки:
- Шлифовка: Можно достичь шероховатости поверхности до Ra 0,1 µm – 0,4 µm.
- Притирка и полировка: В областях применения, требующих исключительно гладких, зеркальных поверхностей (например, механические уплотнения, оптические компоненты, патроны для полупроводниковых пластин), притирка и полировка позволяют достичь чистоты поверхности Ra <0.025 µm (<1 µin). These are specialized and costly operations.
Очень важно указывать только необходимые допуски и качество обработки поверхности, требуемые для работы детали. Завышение этих параметров может привести к неоправданно высоким затратам на производство и увеличению сроков изготовления. Обсуждение этих требований с поставщиком SiC IM на ранней стадии проектирования обеспечит реалистичность ожиданий и выбор наиболее экономически эффективного производственного маршрута. Поставщики с надежными системами контроля качества и метрологическими возможностями необходимы для проверки соответствия сложных деталей из SiC заданным требованиям к размерам и качеству обработки поверхности.
Необходимая постобработка для компонентов из SiC, изготовленных методом литья под давлением
Хотя литье под давлением карбида кремния направлено на получение деталей практически чистой формы, часто требуется определенный уровень постобработки для соответствия конечным спецификациям, повышения производительности или подготовки компонентов к сборке. Степень и тип постобработки зависят от конкретных требований к применению, сложности детали и допусков, достигнутых в спеченном состоянии.
Обычные этапы последующей обработки компонентов SiC, изготовленных методом литья под давлением, включают:
-
Спекание (если не считается частью первичного процесса):
Хотя спекание является неотъемлемой частью формирования детали из SiC, оно представляет собой критически важный высокотемпературный этап после дебридинга, в ходе которого происходит уплотнение детали и формирование ее конечных механических и физических свойств. Точный контроль над атмосферой, температурным профилем и продолжительностью спекания имеет жизненно важное значение.
-
Прецизионное шлифование:
- Цель: Для достижения очень жестких допусков на размеры, улучшения качества поверхности, обеспечения плоскостности или параллельности критических поверхностей или устранения незначительных искажений при спекании.
- Метод: Используются алмазные шлифовальные круги благодаря исключительной твердости SiC’. Могут применяться различные техники шлифования (поверхностное, круглое, бесцентровое).
- Соображения: Увеличивает стоимость и время изготовления. Конструкция должна по возможности минимизировать необходимость шлифовки.
-
Притирка и полировка:
- Цель: Для достижения сверхгладких, зеркальных поверхностей (низкие значения Ra) и исключительной плоскостности. Необходима для таких областей применения, как торцы механических уплотнений, подшипники, оптические компоненты и детали для обработки полупроводниковых пластин.
- Метод: Предполагает абразивную обработку поверхности SiC все более мелкими алмазными суспензиями на притирочной пластине.
- Соображения: Специализированный, трудоемкий и дорогостоящий процесс.
-
Уборка:
- Цель: Для удаления любых остатков загрязнений, жидкостей для обработки или остатков обработки перед
- Цель: Для удаления любых остатков загрязнений, жидкостей для обработки или остатков обработки перед

