Urządzenia do implantacji jonów na poziomie wafla i szybkiego wyżarzania termicznego dla krzemowo-węglikowych matryc o niskiej wadliwości
Pewnego gorącego popołudnia w strefie przemysłowej Lahaur, inwerter sznurkowy o mocy 150 kW pracuje cicho, podczas gdy sieć migocze, a powietrze wlotowe oscyluje w pobliżu 50°C. Powód, dla którego działa jak w zegarku, leży daleko w górę rzeki — w linii materiałów, gdzie narodziły się jego urządzenia. Urządzenia do implantacji jonów na poziomie wafla i szybkiego wyżarzania termicznego dla krzemowo-węglikowych…

