SiC-warmtewisselaars voor superieur thermisch beheer
Inleiding: Een revolutie in thermisch beheer met SiC-warmtewisselaars
In het veeleisende industriële landschap van vandaag is efficiënt thermisch beheer niet slechts een voorkeur, maar een cruciale noodzaak. Voor industrieën variërend van
Siliciumcarbide, een geavanceerde technische keramiek, bezit een buitengewone combinatie van eigenschappen: uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, uitstekende sterkte bij hoge temperaturen, superieure chemische inertheid en opmerkelijke slijt- en corrosiebestendigheid. Deze eigenschappen maken
Deze blogpost gaat dieper in op de wereld van
Efficiëntie ontsluiten: Belangrijkste industriële toepassingen van SiC-warmtewisselaars
De uitzonderlijke eigenschappen van
- Productie van halfgeleiders: In processen zoals waferfabricage en chemische dampafzetting (CVD) zijn nauwkeurige temperatuurregeling en ultrahoge zuiverheid essentieel.
SiC-warmtewisselaars worden gebruikt voor het koelen van verwerkingskamers en gasstromen, waardoor minimale verontreiniging en optimale thermische uniformiteit worden gewaarborgd. Hun weerstand tegen corrosieve gassen die worden gebruikt bij etsen en reinigen is een aanzienlijk voordeel. - Chemische verwerking: De chemische industrie heeft vaak te maken met zeer corrosieve zuren, basen en oplosmiddelen, vaak bij verhoogde temperaturen.
SiC-buiswarmtewisselaars enSiC-platenwarmtewisselaars bieden ongeëvenaarde corrosiebestendigheid, waardoor ze perfect zijn voor het verwarmen, koelen, condenseren en verdampen van agressieve media. Dit leidt tot een langere levensduur van de apparatuur en minder onderhoud in vergelijking met exotische metaallegeringen. - Elektronica en energieopslag: Een hoge vermogensdichtheid in converters, omvormers en batterijsystemen genereert aanzienlijke warmte.
SiC-warmtewisselaars bieden efficiënte koeloplossingen, waardoor de betrouwbaarheid en levensduur van deze kritieke componenten worden gewaarborgd, met name insystemen voor hernieuwbare energie (zon, wind) en elektrische voertuigen. - Metallurgie en hogetemperatuurovens: In metallurgische bewerkingen, waaronder warmtebehandeling, sinteren en smelten,
SiC-warmtewisselaars kan afvalwarmte terugwinnen uit rookgassen bij zeer hoge temperaturen (vaak meer dan 1000°C). Dit verbetert de energie-efficiëntie aanzienlijk. Hun weerstand tegen thermische schokken is cruciaal in deze cyclische omgevingen met hoge temperaturen. - Ruimtevaart en defensie: Lichtgewicht, zeer sterke en bestand tegen hoge temperaturen materialen zijn van vitaal belang.
Op maat gemaakte SiC-warmtewisselaars vinden toepassingen in thermische beheersystemen voor avionica, motoronderdelen en systemen met gerichte energie waar prestaties en betrouwbaarheid onder extreme omstandigheden niet ter discussie staan. - Farmaceutische producten en fijne chemicaliën: Het handhaven van de zuiverheid van het product is van het grootste belang. De inertheid van SiC voorkomt het uitlogen van verontreinigingen in gevoelige chemische of farmaceutische producten, waardoor
SiC-warmtewisselaars een voorkeurskeuze is voor processen die strenge zuiverheidscontroles vereisen. - Olie en Gas: Downstream-verwerking in raffinaderijen en petrochemische fabrieken omvat vaak corrosieve stoffen en hoge temperaturen.
SiC-warmtewisselaars kan zure gassen, zure ruwe oliën en andere agressieve media aan, en biedt een robuust alternatief voor gespecialiseerde legeringen die mogelijk langere levertijden of hogere kosten hebben. - LED-productie: Net als bij de fabricage van halfgeleiders omvat de productie van LED's processen die profiteren van de thermische eigenschappen en chemische bestendigheid van SiC, waardoor een consistente kwaliteit en opbrengst worden gewaarborgd.
- Industriële machines: Voor gespecialiseerde industriële apparatuur die snelle verwarmings- of koelcycli met agressieve media vereist,
op maat gemaakte SiC-warmtewisselaars een compacte en duurzame oplossing bieden.
De veelzijdigheid van
Het voordeel van maatwerk: Waarom kiezen voor op maat gemaakte siliciumcarbide-warmtewisselaars?
Hoewel standaard warmtewisselaarontwerpen veel doelen dienen, vereist een groeiend aantal geavanceerde industriële processen thermische oplossingen die zijn afgestemd op specifieke, vaak extreme, operationele parameters. Kiezen voor
- Geoptimaliseerde thermische prestaties: Op maat gemaakte ontwerpen stellen ingenieurs in staat om de capaciteit en geometrie van de warmtewisselaar nauwkeurig af te stemmen op de specifieke warmtebelasting, debieten en temperatuurverschillen van de toepassing. Dit zorgt voor maximale thermische efficiëntie en energiebesparing. Factoren zoals buisdiameter, lengte, spoed en algehele configuratie kunnen worden verfijnd.
- Perfecte pasvorm en integratie:
Aangepaste SiC-componenten , inclusief warmtewisselaars, kunnen worden ontworpen om in bestaande ruimte-enveloppen te passen of naadloos te worden geïntegreerd in nieuwe apparatuurontwerpen. Dit is met name cruciaal in complexe machines of retrofittingprojecten waar ruimte schaars is. - Verbeterde materiaalselectie: Hoewel SiC het basismateriaal is, kan maatwerk het selecteren van specifieke kwaliteiten van SiC (bijv. reactiegebonden SiC, gesinterd SiC) omvatten die het meest geschikt zijn voor de thermische, mechanische en chemische belastingen van de toepassing. Oppervlakteafwerkingen en gespecialiseerde coatings kunnen ook worden opgenomen voor verbeterde prestaties in unieke omgevingen.
- Superieure duurzaamheid onder extreme omstandigheden:
- Weerstand tegen extreme temperaturen: SiC behoudt zijn mechanische sterkte en thermische eigenschappen bij temperaturen van meer dan 1400°C, ver boven de mogelijkheden van de meeste metalen. Op maat gemaakte ontwerpen kunnen rekening houden met thermische uitzetting en spanningsverdeling die specifiek zijn voor de bedrijfscyclus.
- Ongeëvenaarde chemische inertheid: Op maat gemaakte SiC-warmtewisselaars kunnen worden ontworpen om zeer corrosieve vloeistoffen aan te kunnen, zoals sterke zuren (zwavelzuur, salpeterzuur, fluorwaterstofzuur), basen en organische oplosmiddelen, zonder degradatie. Dit is van vitaal belang in de chemische, petrochemische en farmaceutische industrie.
- Uitzonderlijke weerstand tegen slijtage en schuren: In toepassingen met slurry's of vloeistoffen met deeltjes minimaliseert de hardheid van SiC erosie, waardoor de levensduur van de warmtewisselaar wordt verlengd.
- Toepassingsspecifieke geometrieën: Maatwerk maakt unieke warmtewisselaarconfiguraties mogelijk die verder gaan dan standaard shell-and-tube- of plaatontwerpen. Dit kan microkanaalontwerpen omvatten voor compacte toepassingen, complexe manifolding voor specifieke stroomverdeling of geïntegreerde sensorspoorten.
- Verminderde systeemcomplexiteit: Een op maat ontworpen warmtewisselaar kan soms de functies van meerdere componenten consolideren, waardoor het algehele systeem wordt vereenvoudigd, potentiële lekpunten worden verminderd en de onderhoudsvereisten worden verlaagd.
- Ondersteuning voor innovatieve processen: Veel geavanceerde industriële processen, met name in
halfgeleiders ,ruimtevaart enhernieuwbare energie , hebben unieke thermische uitdagingen.Op maat gemaakte SiC-warmtewisselaars stellen ingenieurs in staat om deze nieuwe processen te ontwikkelen en te implementeren door op maat gemaakte thermische beheeroplossingen te bieden.
Investeren in
Materiaalfocus: De juiste SiC-kwaliteit selecteren voor uw warmtewisselaar
Siliciumcarbide (SiC) is geen monolithisch materiaal; verschillende productieprocessen resulteren in verschillende kwaliteiten van SiC, elk met een unieke set eigenschappen. Het selecteren van de juiste SiC-kwaliteit is cruciaal voor het waarborgen van de optimale prestaties, levensduur en kosteneffectiviteit van uw
Reactiegebonden siliciumcarbide (RBSiC / SiSiC)
RBSiC, ook bekend als gesiliconiseerd siliciumcarbide (SiSiC), wordt geproduceerd door een poreuze SiC- en koolstofpreform te infiltreren met gesmolten silicium. Het silicium reageert met de koolstof en vormt extra SiC, dat de originele SiC-korrels bindt. Het resulterende materiaal bevat doorgaans 8-15% vrij silicium.
- Voordelen:
- Relatief lagere productiekosten in vergelijking met SSiC.
- Goede thermische geleidbaarheid.
- Uitstekende weerstand tegen slijtage en schuren.
- Hoge sterkte en stijfheid.
- Mogelijkheid om grote en complexe vormen te produceren met nauwe toleranties.
- Goede weerstand tegen thermische schokken.
- Beperkingen:
- De aanwezigheid van vrij silicium beperkt het gebruik ervan in extreem corrosieve omgevingen, met name met sterke alkaliën of fluorwaterstofzuur bij hoge temperaturen, omdat silicium minder bestand is dan puur SiC.
- De maximale bedrijfstemperatuur ligt doorgaans rond de 1350-1380°C, beperkt door het smeltpunt van silicium (1414°C).
- Veelvoorkomende toepassingen: Veel gebruikt voor warmtewisselaarsbuizen, platen en andere componenten in toepassingen zoals industriële warmteterugwinning, stralingsbuizen, ovenmeubilair en componenten voor het hanteren van schurende slurries.
Gesinterd siliciumcarbide (SSiC)
SSiC wordt geproduceerd door fijn SiC-poeder te sinteren bij zeer hoge temperaturen (doorgaans >2000°C) met niet-oxide sinterhulpmiddelen (zoals boor en koolstof). Dit proces resulteert in een dicht, eenfasig SiC-materiaal met minimaal of geen vrij silicium.
- Voordelen:
- Superieure chemische bestendigheid over een breed pH-bereik, inclusief sterke zuren en alkaliën, zelfs bij hoge temperaturen. Dit maakt het de voorkeurskeuze voor de meest agressieve chemische omgevingen.
- Hogere maximale bedrijfstemperatuur (tot 1600°C of hoger in gecontroleerde atmosferen).
- Uitstekende thermische schokbestendigheid.
- Zeer hoge hardheid en goede slijtvastheid.
- Hoge thermische geleidbaarheid (hoewel soms iets lager dan de beste RBSiC-kwaliteiten).
- Beperkingen:
- Over het algemeen duurder om te produceren dan RBSiC.
- Het produceren van zeer grote of zeer complexe vormen kan uitdagender en kostbaarder zijn.
- Veelvoorkomende toepassingen: Ideaal voor veeleisende warmtewisselaartoepassingen in de fijnchemische, farmaceutische en petrochemische industrie, waar extreme corrosiebestendigheid van het grootste belang is. Ook gebruikt in apparatuur voor halfgeleiderverwerking en energiesystemen bij hoge temperaturen.
Andere SiC-varianten (minder gebruikelijk voor bulkwarmtewisselaars)
- Nitride-gebonden siliciumcarbide (NBSiC): Biedt een goede thermische schokbestendigheid en sterkte, vaak gebruikt in vuurvaste toepassingen. Minder gebruikelijk voor primaire warmtewisselingsoppervlakken vanwege doorgaans lagere thermische geleidbaarheid in vergelijking met RBSiC of SSiC.
- Chemisch afgezette SiC (CVD-SiC): Produceert SiC met een ultra-hoge zuiverheid, vaak als coatings. Hoewel uitzonderlijk, is het doorgaans te duur voor volledige warmtewisselaarstructuren, maar kan wel worden gebruikt voor kritieke oppervlakken.
Vergelijkingstabel: RBSiC vs. SSiC voor warmtewisselaars
| Eigendom | Reactiegebonden SiC (RBSiC) | Gesinterd SiC (SSiC) |
|---|---|---|
| Samenstelling | SiC met 8-15% vrij silicium | Voornamelijk zuiver SiC (>98%) |
| Max. bedrijfstemperatuur | ~1350-1380°C | ~1600°C (of hoger) |
| Thermische geleidbaarheid (W/mK bij RT) | 100 – 150 | 80 – 120 (kan variëren) |
| Corrosiebestendigheid (zuren) | Goed tot uitstekend (HF kan een probleem zijn) | Uitstekend (inclusief HF) |
| Corrosiebestendigheid (alkaliën) | Matig tot goed | Uitstekend |
| Buigsterkte (MPa bij RT) | 250 – 550 | 400 – 600 |
| Hardheid (Knoop) | ~2500 | ~2800 |
| Vervaardigbaarheid van complexe vormen | Goed, kosteneffectiever voor grote onderdelen | Uitdagender en kostbaarder voor zeer grote/complexe onderdelen |
| Relatieve kosten | Lager | Hoger |
Kiezen tussen
Uitstekende techniek: Kritische ontwerpoverwegingen voor SiC-warmtewisselaars
Ontwerpen
1. Beheersen van brosheid en mechanische spanning:
- Stressconcentraties: Vermijd scherpe interne hoeken, plotselinge veranderingen in de dwarsdoorsnede en kleine radii, die als spanningsconcentratoren kunnen fungeren. Ruime afrondingen en afgeronde randen zijn cruciaal.
- Mechanische belastingen: Ontwerp om trek- en buigspanningen te minimaliseren. SiC is veel sterker in compressie. Denk na over hoe externe belastingen (leidingen, trillingen, montage) worden ondersteund.
- Slagvastheid: Hoewel hard, kan SiC gevoelig zijn voor impactschade. Ontwerpen moeten beschermende maatregelen bevatten als impacten mogelijk zijn tijdens installatie, gebruik of onderhoud.
2. Beheer van thermische spanning:
- Thermische uitzettingsverschillen: SiC heeft een relatief lage thermische uitzettingscoëfficiënt (CTE). Bij de interface met metalen componenten (bijv. behuizingen, flenzen) moet differentiële uitzetting worden geaccommodeerd door middel van flexibele verbindingen, balgen of gespecialiseerde afdichtingssystemen.
- Thermische gradiënten en schok: Hoewel SiC over het algemeen een goede thermische schokbestendigheid heeft (vooral SSiC), kunnen extreme en snelle temperatuurveranderingen spanning veroorzaken. Ontwerpen moeten streven naar uniforme verwarming/koeling waar mogelijk. Voor toepassingen met ernstige thermische cycli wordt eindige-elementenanalyse (FEA) aanbevolen om spanningsverdelingen te voorspellen.
- Steady-state versus transiënte operaties: Analyseer thermische spanningen tijdens zowel steady-state operatie als transiënte fasen (opstarten, afsluiten, procesverstoringen).
3. Vloeistofdynamica en ontwerp van het stromingspad:
- Stroomverdeling: Zorg voor een gelijkmatige stroomverdeling over alle buizen of kanalen om de efficiëntie van de warmteoverdracht te maximaliseren en hotspots of lokale corrosie/erosie te voorkomen. Het ontwerp van de manifolds en headers is cruciaal.
- Drukval: Optimaliseer de buis-/kanaaldiameter, -lengte en -hoeveelheid om de gewenste warmteoverdracht te bereiken met een acceptabele drukval voor de procesvloeistoffen.
- Snelheidslimieten: Hoewel SiC erosiebestendig is, kunnen extreem hoge vloeistofsnelheden, vooral met schurende deeltjes, na verloop van tijd nog steeds slijtage veroorzaken. Overweeg snelheidslimieten in het ontwerp.
- Fouling voorkomen: Ontwerp voor eenvoudige reiniging als procesvloeistoffen gevoelig zijn voor fouling. Gladde oppervlakken en geschikte vloeistofsnelheden kunnen de opbouw van afzettingen minimaliseren.
4. Afdichting en verbinding:
- Afdichting bij hoge temperaturen: Het bereiken van betrouwbare, lekvrije afdichtingen tussen SiC-componenten (bijv. buis-naar-buisplaatverbindingen) en tussen SiC en metalen onderdelen is een grote ontwerptest, vooral bij hoge temperaturen.
- Veelvoorkomende afdichtingsmethoden:
- Mechanische compressieafdichtingen met grafiet, keramische vezels of gespecialiseerde elastomeren (voor lagere temperaturen).
- O-ringafdichtingen (vaak met perfluoro-elastomeren voor chemische bestendigheid).
- Solderen of glas-keramische afdichting voor permanente verbindingen met hoge integriteit (complexer en toepassingsspecifiek).
- Perspassing of krimpfitting voor bepaalde ontwerpen.
- Voegontwerp: Het ontwerp van de verbinding moet rekening houden met verschillen in thermische uitzetting en de afdichtingsintegriteit behouden onder alle bedrijfsomstandigheden.
5. Vervaardigbaarheid en kosten:
- Geometrische complexiteit: Hoewel SiC in complexe vormen kan worden gevormd, kunnen overdreven ingewikkelde ontwerpen de productiekosten aanzienlijk verhogen en tot langere doorlooptijden leiden. Vereenvoudig de geometrie waar mogelijk zonder de prestaties in gevaar te brengen.
- Toleranties: Specificeer alleen de noodzakelijke toleranties. Overdreven krappe toleranties verhogen de kosten. Begrijp de productiemogelijkheden voor de gekozen SiC-kwaliteit.
- Wanddikte: Breng de behoefte aan mechanische sterkte in evenwicht met thermische prestaties. Dikkere wanden verhogen de sterkte, maar ook de thermische weerstand. Minimale praktische wanddiktes zijn afhankelijk van het productieproces en de SiC-kwaliteit.
6. Materiaalkeuze:
Zoals eerder besproken, is het kiezen tussen
7. Integratie met het totale systeem:
- Montage en ondersteuning: Zorg voor adequate ondersteuningsconstructies om het gewicht van de warmtewisselaar en eventuele aangesloten leidingen te dragen, zonder onnodige spanning op de SiC-componenten uit te oefenen.
- Instrumentatie: Integreer poorten voor temperatuur- en druksensoren indien nodig voor procesbesturing en -bewaking.
- Onderhoudstoegang: Overweeg de toegankelijkheid voor inspectie, reiniging of mogelijke reparaties, indien van toepassing.
Succesvol
Precisie is belangrijk: Toleranties, oppervlakteafwerking en dimensionale controle bij de productie van SiC-warmtewisselaars
De prestaties en betrouwbaarheid van
Dimensionale nauwkeurigheid en toleranties:
Het bereiken van een strakke dimensionale controle met harde, brosse keramiek zoals SiC is uitdagender dan met metalen. Het productieproces (bijv. slip casting, extrusie, persen voor RBSiC; matrijsverdichting, isostatisch persen voor SSiC) gevolgd door sinteren of reactie-bonding, en mogelijk diamantslijpen, beïnvloeden allemaal de uiteindelijke afmetingen en haalbare toleranties.
- Als-gevuurde toleranties: Componenten die zonder nabewerking na het sinteren worden geproduceerd, hebben doorgaans bredere toleranties. Voor RBSiC kan dit in de orde van ±0,5% tot ±1,5% van de afmeting zijn. SSiC-krimp tijdens het sinteren is hoger en kan minder voorspelbaar zijn, waardoor soms slijpen nodig is voor een strakkere controle.
- Bewerkte toleranties: Voor kritische afmetingen, zoals afdichtingsoppervlakken, buisdiameters of buis-naar-buisplaatpassing, is diamantslijpen na het sinteren vaak noodzakelijk. Dit maakt veel strakkere toleranties mogelijk, vaak in de orde van ±0,01 mm tot ±0,1 mm, afhankelijk van de grootte en complexiteit van het kenmerk. Uitgebreid slijpen verhoogt echter de kosten aanzienlijk.
- Impact van toleranties:
- Afdichting: Strakke toleranties op afdichtingsoppervlakken zijn cruciaal voor het bereiken van lekvrije verbindingen, vooral in hogedruk- of vacuümtoepassingen.
- Montage: Precieze afmetingen zorgen voor een goede passing van componenten, zoals buizen in buisplaten, waardoor de montagespanningen worden verminderd en de ontwerpintegriteit wordt gewaarborgd.
- Stroomkarakteristieken: Consistente buisdiameters en kanaalafmetingen zorgen voor voorspelbare vloeistofstroom en warmteoverdrachtprestaties.
- Geometrische dimensionering en tolerantie (GD&T): Voor complexe onderdelen helpt het toepassen van GD&T-principes om functionele vereisten voor vlakheid, parallelheid, concentriciteit, enz. duidelijk te definiëren, waardoor wordt gewaarborgd dat componenten hun beoogde doel bereiken.
Afwerking oppervlak:
De oppervlakteafwerking (ruwheid) van SiC-componenten kan van invloed zijn op verschillende prestatieaspecten:
- Vloeistofstroom en fouling: Gladdere oppervlakken leiden over het algemeen tot een lagere wrijvingsdrukval en kunnen de neiging tot fouling of afzetting in bepaalde toepassingen verminderen. Typische as-fired oppervlakken kunnen een ruwheid (Ra) hebben van 1-5 µm.
- Afdichting: Gladdere, vlakkere oppervlakken zijn essentieel voor effectieve pakkingafdichting. Lappen of polijsten kan oppervlakteafwerkingen tot Ra bereiken < 0,1 µm op kritische afdichtingsvlakken.
- Sterkte: Oppervlaktefouten kunnen fungeren als startpunten voor breuken in keramiek. Een fijnere oppervlakteafwerking, bereikt door slijpen of polijsten, kan soms de effectieve sterkte van een component verbeteren door microscopische scheuren of defecten te verwijderen.
- Schoonmaken: Gladdere oppervlakken zijn over het algemeen gemakkelijker schoon te maken, wat een belangrijke overweging is in farmaceutische, voedsel- of halfgeleidertoepassingen.
Fabrikanten bieden doorgaans verschillende niveaus van oppervlakteafwerking:
- As-fired/As-gesinterd: Het natuurlijke oppervlak na het primaire vorm- en bakproces. Meest economisch.
- Geslepen: Bereikt met behulp van diamantslijpschijven. Biedt betere dimensionale controle en een gladdere afwerking dan as-fired.
- Gelepped/Gepolijst: Maakt gebruik van fijne schurende slurries om zeer gladde, vlakke en vaak reflecterende oppervlakken te produceren. Gereserveerd voor kritieke gebieden vanwege de kosten.
Strategieën voor dimensionale controle:
Gerenommeerde
- Procesbeheersing: Strikte controle over de kwaliteit van de grondstoffen, vormprocessen, sinter-/reactieparameters en bewerkingsomstandigheden.
- Vorm-/gereedschapsontwerp: Nauwkeurig vormontwerp dat rekening houdt met materiaalkrimp tijdens het bakken is cruciaal.
- Geavanceerde bewerking: Gebruik van precisie-diamantslijpmachines, CNC-bewerkingscentra aangepast voor keramiek en technieken zoals elektrische ontladingsbewerking (EDM) voor bepaalde SiC-kwaliteiten of -kenmerken.
- Metrologie: Gebruik van geavanceerde meetapparatuur, waaronder coördinatenmeetmachines (CMM's), optische profilometers en laserscanners, om afmetingen en oppervlakte-eigenschappen te verifiëren.
Bij het specificeren van
Na de fabricage: Nabehandeling voor verbeterde prestaties van SiC-warmtewisselaars
Hoewel de primaire fabricage van
1. Precisieslijpen en lappen:
Zoals eerder vermeld, is diamantslijpen vaak essentieel voor het bereiken van nauwe dimensionale toleranties en specifieke oppervlakteafwerkingen. Lappen gaat een stap verder:
- Slijpen: Wordt gebruikt om componenten te vormen, precieze diameters voor buizen te bereiken, vlakheid voor platen of buisplaten en oppervlakken voor te bereiden op afdichting. Het verwijdert grotere hoeveelheden materiaal in vergelijking met lappen.
- Lappen: Een schurend bewerkingsproces dat een losse schurende slurry gebruikt tussen het werkstuk en een lapplaat. Het produceert extreem vlakke, gladde oppervlakken met zeer fijne afwerkingen (Ra vaak < 0,2 µm). Dit is cruciaal voor:
- Hoogwaardige afdichtingsoppervlakken waar de conformiteit van de pakking van het grootste belang is.
- Toepass
2. Polijsten:
Polijsten is een nog fijnere afwerkingsmethode dan lappen, waarbij vaak diamantpasta's of -suspensies met steeds kleinere deeltjes worden gebruikt. Het kan spiegelachtige afwerkingen bereiken (Ra < 0,05 µm). Voor
- Ultra-hoogzuivere toepassingen waarbij het minimaliseren van het oppervlak en potentiële insluitingsplaatsen voor verontreinigingen

