{"id":2538,"date":"2025-08-26T09:11:34","date_gmt":"2025-08-26T09:11:34","guid":{"rendered":"https:\/\/casnewmaterials.com\/?p=2538"},"modified":"2025-08-13T00:59:27","modified_gmt":"2025-08-13T00:59:27","slug":"sic-powering-electronics-industry-innovations","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/sicarbtech.com\/ja\/sic-powering-electronics-industry-innovations\/","title":{"rendered":"SiC\uff1a\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u7523\u696d\u306e\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u63a8\u9032"},"content":{"rendered":"<h1>SiC\uff1a\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u7523\u696d\u306e\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u63a8\u9032<\/h1>\n<h2>\u306f\u3058\u3081\u306b\uff1a\u73fe\u4ee3\u306e\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u91cd\u8981\u306a\u5f79\u5272<\/h2>\n<p>\u6025\u901f\u306b\u9032\u5316\u3059\u308b\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u696d\u754c\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u3088\u308a\u9ad8\u3044\u96fb\u529b\u5bc6\u5ea6\u3001\u3088\u308a\u9ad8\u3044\u52b9\u7387\u3001\u304a\u3088\u3073\u6975\u7aef\u306a\u6761\u4ef6\u4e0b\u3067\u306e\u512a\u308c\u305f\u6027\u80fd\u3092\u5b9f\u73fe\u3067\u304d\u308b\u6750\u6599\u306e\u63a2\u6c42\u306f\u7d76\u3048\u9593\u306a\u304f\u7d9a\u3044\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\uff08SiC\uff09\u306f\u3001\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\uff08Si\uff09\u3068\u70ad\u7d20\uff08C\uff09\u3067\u69cb\u6210\u3055\u308c\u308b\u5316\u5408\u7269\u534a\u5c0e\u4f53\u6750\u6599\u3067\u3042\u308a\u3001\u7279\u306b\u30d1\u30ef\u30fc\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3068\u9ad8\u5468\u6ce2\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u5909\u9769\u7684\u306a\u6280\u8853\u3068\u3057\u3066\u767b\u5834\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002\u305d\u306e\u512a\u308c\u305f\u7269\u7406\u7684\u304a\u3088\u3073\u96fb\u5b50\u7684\u7279\u6027\u306f\u3001\u5f93\u6765\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u3092\u306f\u308b\u304b\u306b\u4e0a\u56de\u308a\u3001\u81ea\u52d5\u8eca\u3001\u518d\u751f\u53ef\u80fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3001\u7523\u696d\u88fd\u9020\u3001\u96fb\u6c17\u901a\u4fe1\u306a\u3069\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u5206\u91ce\u3067\u753b\u671f\u7684\u306a\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3078\u306e\u9053\u3092\u958b\u3044\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3088\u308a\u30b3\u30f3\u30d1\u30af\u30c8\u3067\u3001\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u52b9\u7387\u304c\u9ad8\u304f\u3001\u5805\u7262\u306a\u96fb\u5b50\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u9700\u8981\u304c\u9ad8\u307e\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001SiC\u306f\u3082\u306f\u3084\u30cb\u30c3\u30c1\u306a\u6750\u6599\u3067\u306f\u306a\u304f\u3001\u6b21\u4e16\u4ee3\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306e\u57fa\u76e4\u3068\u306a\u308b\u69cb\u6210\u8981\u7d20\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u8a18\u4e8b\u3067\u306f\u3001\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u696d\u754c\u306b\u304a\u3051\u308b\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u591a\u9762\u7684\u306a\u5f79\u5272\u306b\u3064\u3044\u3066\u6398\u308a\u4e0b\u3052\u3001\u305d\u306e\u7528\u9014\u3001\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0SiC\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u5229\u70b9\u3001\u91cd\u8981\u306a\u8a2d\u8a08\u304a\u3088\u3073\u88fd\u9020\u4e0a\u306e\u8003\u616e\u4e8b\u9805\u3001\u304a\u3088\u3073\u3053\u308c\u3089\u306e\u9ad8\u5ea6\u306a\u6750\u6599\u3092\u6226\u7565\u7684\u306b\u8abf\u9054\u3059\u308b\u65b9\u6cd5\u3092\u63a2\u308a\u307e\u3059\u3002 <strong>\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u88fd\u54c1<\/strong> \u306e\u80fd\u529b\u3092\u7406\u89e3\u3059\u308b\u3053\u3068\u306f\u3001\u6280\u8853\u7684\u9032\u6b69\u306e\u6700\u524d\u7dda\u306b\u7acb\u3061\u305f\u3044\u3068\u8003\u3048\u3066\u3044\u308b\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u3001\u8abf\u9054\u30de\u30cd\u30fc\u30b8\u30e3\u30fc\u3001\u304a\u3088\u3073\u6280\u8853\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc\u306b\u3068\u3063\u3066\u307e\u3059\u307e\u3059\u91cd\u8981\u306b\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>SiC\u306e\u91cd\u8981\u6027\u306f\u3001\u305d\u306e\u5e83\u3044\u30d0\u30f3\u30c9\u30ae\u30e3\u30c3\u30d7\u3001\u9ad8\u3044\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3001\u9ad8\u3044\u7d76\u7e01\u7834\u58ca\u96fb\u754c\u5f37\u5ea6\u3001\u304a\u3088\u3073\u9ad8\u3044\u96fb\u5b50\u98fd\u548c\u901f\u5ea6\u306b\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u7279\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001SiC\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306f\u3001\u5f93\u6765\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u3001\u8457\u3057\u304f\u9ad8\u3044\u96fb\u5727\u3001\u6e29\u5ea6\u3001\u304a\u3088\u3073\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u5468\u6ce2\u6570\u3067\u52d5\u4f5c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u640d\u5931\u306e\u524a\u6e1b\u3001\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u30b5\u30a4\u30ba\u306e\u5c0f\u578b\u5316\u3001\u51b7\u5374\u8981\u4ef6\u306e\u524a\u6e1b\u3001\u304a\u3088\u3073\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u4fe1\u983c\u6027\u306e\u5411\u4e0a\u3068\u3044\u3063\u305f\u5177\u4f53\u7684\u306a\u30e1\u30ea\u30c3\u30c8\u306b\u3064\u306a\u304c\u308a\u3001 <strong>SiC\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9<\/strong> \u305d\u3057\u3066 <strong>SiC\u534a\u5c0e\u4f53\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3<\/strong> \u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u30a4\u30cd\u30fc\u30d6\u30e9\u30fc\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<h2>\u52b9\u7387\u306e\u89e3\u660e\uff1a\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u696d\u754c\u306b\u304a\u3051\u308bSiC\u306e\u4e3b\u306a\u7528\u9014<\/h2>\n<p>\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u512a\u308c\u305f\u7279\u6027\u306f\u3001\u5e45\u5e83\u3044\u96fb\u5b50\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u65b0\u305f\u306a\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u6027\u80fd\u3068\u52b9\u7387\u3092\u5b9f\u73fe\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002\u696d\u754c\u304c\u305d\u308c\u304c\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u5927\u304d\u306a\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u30e1\u30ea\u30c3\u30c8\u3092\u8a8d\u8b58\u3059\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u305d\u306e\u63a1\u7528\u306f\u6025\u901f\u306b\u52a0\u901f\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002 <strong>\u9ad8\u51fa\u529b\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668 SiC<\/strong> \u3092\u542b\u3080\uff1a<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u30d1\u30ef\u30fc\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9<\/strong> \u3053\u308c\u306f\u3001SiC\u306b\u3068\u3063\u3066\u6700\u3082\u91cd\u8981\u306a\u5206\u91ce\u3068\u8a00\u3048\u308b\u3067\u3057\u3087\u3046\u3002\u7528\u9014\u3068\u3057\u3066\u306f\u3001\u7523\u696d\u7528\u30e2\u30fc\u30bf\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6\u3001\u7121\u505c\u96fb\u96fb\u6e90\u88c5\u7f6e\uff08UPS\uff09\u3001\u529b\u7387\u6539\u5584\uff08PFC\uff09\u56de\u8def\u306a\u3069\u304c\u6319\u3052\u3089\u308c\u307e\u3059\u3002SiC MOSFET\u3068SiC\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8\u30ad\u30fc\u30c0\u30a4\u30aa\u30fc\u30c9\u306f\u3001\u683c\u6bb5\u306b\u9ad8\u3044\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u5468\u6ce2\u6570\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u3001\u53d7\u52d5\u90e8\u54c1\uff08\u30a4\u30f3\u30c0\u30af\u30bf\u3068\u30b3\u30f3\u30c7\u30f3\u30b5\uff09\u306e\u5c0f\u578b\u5316\u3001\u96fb\u529b\u640d\u5931\u306e\u524a\u6e1b\u3001\u305d\u3057\u3066\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u5168\u4f53\u306e\u5c0f\u578b\u5316\u306b\u3064\u306a\u304c\u308a\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u96fb\u6c17\u81ea\u52d5\u8eca\uff08EV\uff09\uff1a<\/strong> SiC\u6280\u8853\u306f\u3001EV\u696d\u754c\u306b\u9769\u547d\u3092\u3082\u305f\u3089\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30c8\u30e9\u30af\u30b7\u30e7\u30f3\u30a4\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3001\u8eca\u8f09\u5145\u96fb\u5668\uff08OBC\uff09\u3001DC-DC\u30b3\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30c8\u30e9\u30af\u30b7\u30e7\u30f3\u30a4\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3067\u306f\u3001SiC\u306b\u3088\u308a\u9ad8\u52b9\u7387\u5316\u304c\u5b9f\u73fe\u3057\u3001\u8eca\u4e21\u306e\u822a\u7d9a\u8ddd\u96e2\u306e\u5ef6\u9577\u3084\u30d0\u30c3\u30c6\u30ea\u30fc\u30d1\u30c3\u30af\u306e\u5c0f\u578b\u5316\u306b\u3064\u306a\u304c\u308a\u307e\u3059\u3002OBC\u3068DC-DC\u30b3\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3067\u306f\u3001SiC\u306b\u3088\u308a\u5145\u96fb\u6642\u9593\u306e\u77ed\u7e2e\u3001\u91cd\u91cf\u3068\u4f53\u7a4d\u306e\u524a\u6e1b\u304c\u5b9f\u73fe\u3057\u307e\u3059\u3002 <strong>\u96fb\u6c17\u81ea\u52d5\u8eca\u7528SiC<\/strong> \u90e8\u54c1\u306e\u9700\u8981\u306f\u3001SiC\u5e02\u5834\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u539f\u52d5\u529b\u3068\u306a\u3063\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u518d\u751f\u53ef\u80fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\uff1a<\/strong> \u592a\u967d\u5149\u767a\u96fb\uff08PV\uff09\u30a4\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3068\u98a8\u529b\u30bf\u30fc\u30d3\u30f3\u30b3\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u306f\u3001SiC\u304b\u3089\u5927\u304d\u306a\u6069\u6075\u3092\u53d7\u3051\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002SiC\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u30a4\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u306e\u9ad8\u52b9\u7387\u5316\u306f\u3001\u592a\u967d\u5149\u30d1\u30cd\u30eb\u3084\u98a8\u529b\u30bf\u30fc\u30d3\u30f3\u304b\u3089\u3088\u308a\u591a\u304f\u306e\u96fb\u529b\u3092\u56de\u53ce\u3067\u304d\u308b\u3053\u3068\u3092\u610f\u5473\u3057\u307e\u3059\u3002\u307e\u305f\u3001\u3088\u308a\u9ad8\u3044\u96fb\u5727\u3067\u52d5\u4f5c\u3067\u304d\u308b\u305f\u3081\u3001\u5927\u898f\u6a21\u306a\u518d\u751f\u53ef\u80fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u30d7\u30e9\u30f3\u30c8\u306e\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u3082\u7c21\u7d20\u5316\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 <strong>\u518d\u751f\u53ef\u80fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u7528SiC\u30a4\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf<\/strong> \u306f\u3001\u30b0\u30ea\u30c3\u30c9\u306e\u5b89\u5b9a\u6027\u3068\u52b9\u7387\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u7121\u7dda\u5468\u6ce2\u6570\uff08RF\uff09\u7528\u9014\uff1a<\/strong> SiC\u3001\u7279\u306b\u534a\u7d76\u7e01\u6027SiC\u57fa\u677f\u306f\u3001GaN\uff08\u7a92\u5316\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\uff09-on-SiC\u9ad8\u96fb\u5b50\u79fb\u52d5\u5ea6\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\uff08HEMT\uff09\u306a\u3069\u306e\u9ad8\u51fa\u529b\u3001\u9ad8\u5468\u6ce2RF\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u3068\u3063\u3066\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306f\u3001\u9ad8\u96fb\u529b\u5bc6\u5ea6\u3068\u71b1\u5b89\u5b9a\u6027\u304c\u6700\u91cd\u8981\u3068\u306a\u308b5G\u57fa\u5730\u5c40\u3001\u30ec\u30fc\u30c0\u30fc\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3001\u885b\u661f\u901a\u4fe1\u3001\u96fb\u5b50\u6226\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u9ad8\u6e29\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\uff1a<\/strong> SiC\u306f\u3001300\u2103\u3092\u8d85\u3048\u308b\uff08\u5834\u5408\u306b\u3088\u3063\u3066\u306f\u305d\u308c\u3088\u308a\u306f\u308b\u304b\u306b\u9ad8\u3044\uff09\u6e29\u5ea6\u3067\u78ba\u5b9f\u306b\u6a5f\u80fd\u3059\u308b\u80fd\u529b\u304c\u3042\u308b\u305f\u3081\u3001\u77f3\u6cb9\u30fb\u30ac\u30b9\u7523\u696d\u306e\u5751\u4e95\u5185\u6398\u524a\u3001\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30a8\u30f3\u30b8\u30f3\u306e\u5236\u5fa1\u3001\u7523\u696d\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u76e3\u8996\u306a\u3069\u3001\u904e\u9177\u306a\u74b0\u5883\u306b\u914d\u5099\u3055\u308c\u308b\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306b\u6700\u9069\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<\/ul>\n<p>SiC\u306e\u5f71\u97ff\u306f\u3001\u4ee5\u4e0b\u306e\u7528\u9014\u3067\u660e\u78ba\u306b\u793a\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u5206\u91ce<\/th>\n<th>SiC\u306e\u4e3b\u306a\u5229\u70b9<\/th>\n<th>\u7279\u5b9a\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\/\u4f7f\u7528\u4e8b\u4f8b<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u96fb\u529b\u5909\u63db\u3068\u7ba1\u7406<\/td>\n<td>\u9ad8\u52b9\u7387\u5316\u3001\u5c0f\u578b\u5316\/\u8efd\u91cf\u5316\u3001\u51b7\u5374\u30cb\u30fc\u30ba\u306e\u524a\u6e1b<\/td>\n<td>\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u30e2\u30fc\u30c9\u96fb\u6e90\uff08SMPS\uff09\u3001AC-DC\u6574\u6d41\u5668\u3001DC-AC\u30a4\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3001\u7523\u696d\u7528\u30e2\u30fc\u30bf\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u96fb\u6c17\u81ea\u52d5\u8eca\u3068\u8f38\u9001<\/td>\n<td>\u822a\u7d9a\u8ddd\u96e2\u306e\u5ef6\u9577\u3001\u5145\u96fb\u6642\u9593\u306e\u77ed\u7e2e\u3001\u30d1\u30ef\u30fc\u30c8\u30ec\u30a4\u30f3\u306e\u5c0f\u578b\u5316<\/td>\n<td>\u30c8\u30e9\u30af\u30b7\u30e7\u30f3\u30a4\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3001\u8eca\u8f09\u5145\u96fb\u5668\uff08OBC\uff09\u3001DC-DC\u30b3\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3001\u9244\u9053\u727d\u5f15\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u518d\u751f\u53ef\u80fd\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u3068\u30b0\u30ea\u30c3\u30c9\u30a4\u30f3\u30d5\u30e9<\/td>\n<td>\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u30cf\u30fc\u30d9\u30b9\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u306e\u6539\u5584\u3001\u9ad8\u96fb\u529b\u5bc6\u5ea6\u3001\u30b0\u30ea\u30c3\u30c9\u306e\u5b89\u5b9a\u6027<\/td>\n<td>\u592a\u967d\u5149\uff08PV\uff09\u30a4\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3001\u98a8\u529b\u30bf\u30fc\u30d3\u30f3\u30b3\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3001\u56fa\u4f53\u5909\u5727\u5668\u3001HVDC\u9001\u96fb<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>RF\u96fb\u529b\u3068\u96fb\u6c17\u901a\u4fe1<\/td>\n<td>\u9ad8\u5468\u6ce2\u52d5\u4f5c\u3001\u9ad8\u51fa\u529b\u3001\u512a\u308c\u305f\u653e\u71b1\u6027<\/td>\n<td>5G\/6G\u57fa\u5730\u5c40\u30d1\u30ef\u30fc\u30a2\u30f3\u30d7\u3001\u30ec\u30fc\u30c0\u30fc\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3001\u885b\u661f\u901a\u4fe1\u30c8\u30e9\u30f3\u30b9\u30dd\u30f3\u30c0<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u822a\u7a7a\u5b87\u5b99\u30fb\u9632\u885b<\/td>\n<td>\u9ad8\u6e29\u52d5\u4f5c\u3001\u8010\u653e\u5c04\u7dda\u6027\u3001\u4fe1\u983c\u6027<\/td>\n<td>\u30a2\u30af\u30c1\u30e5\u30a8\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3001\u914d\u96fb\u30e6\u30cb\u30c3\u30c8\u3001\u30a2\u30d3\u30aa\u30cb\u30af\u30b9\u3001\u30ec\u30fc\u30c0\u30fc\u304a\u3088\u3073\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u7523\u696d\u7528\u52a0\u71b1\u3068\u51e6\u7406<\/td>\n<td>\u9ad8\u6e29\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3078\u306e\u52b9\u7387\u7684\u306a\u96fb\u529b\u4f9b\u7d66<\/td>\n<td>\u8a98\u5c0e\u52a0\u71b1\u96fb\u6e90\u3001\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u751f\u6210\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>\u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u304c\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3092\u6d17\u7df4\u3057\u7d9a\u3051\u3001\u30b3\u30b9\u30c8\u304c\u4f4e\u4e0b\u3059\u308b\u306b\u3064\u308c\u3066\u3001\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u306b\u304a\u3051\u308bSiC\u306e\u7528\u9014\u7bc4\u56f2\u306f\u3055\u3089\u306b\u62e1\u5927\u3057\u3001\u3088\u308a\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u52b9\u7387\u306e\u9ad8\u3044\u672a\u6765\u306b\u3068\u3063\u3066\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u6750\u6599\u3068\u3057\u3066\u306e\u5730\u4f4d\u3092\u78ba\u56fa\u305f\u308b\u3082\u306e\u306b\u3059\u308b\u3068\u4e88\u60f3\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002 <strong>SiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u88fd\u9020<\/strong> \u6a19\u6e96\u7684\u306a\u65e2\u88fdSiC\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f\u5927\u304d\u306a\u30e1\u30ea\u30c3\u30c8\u3092\u3082\u305f\u3089\u3057\u307e\u3059\u304c\u3001\u8981\u6c42\u306e\u53b3\u3057\u3044\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u7528\u9014\u306b\u304a\u3051\u308b\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e\u6f5c\u5728\u80fd\u529b\u3092\u6700\u5927\u9650\u306b\u5f15\u304d\u51fa\u3059\u306b\u306f\u3001\u591a\u304f\u306e\u5834\u5408\u3001\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<h2>\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u306e\u5229\u70b9\uff1a\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u3055\u308c\u305fSiC\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u304c\u96fb\u5b50\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u7406\u7531<\/h2>\n<p>\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u3055\u308c\u305f\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u3088\u308a\u3001\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u306f\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3068\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u6027\u80fd\u3092\u6700\u9069\u5316\u3057\u3001\u7279\u5b9a\u306e\u52d5\u4f5c\u8981\u4ef6\u3092\u6e80\u305f\u3057\u3001\u7af6\u4e89\u512a\u4f4d\u6027\u3092\u78ba\u7acb\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u4e00\u90e8\u306e\u7528\u9014\u3067\u306f\u6c4e\u7528\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3067\u5341\u5206\u304b\u3082\u3057\u308c\u307e\u305b\u3093\u304c\u3001\u6700\u5148\u7aef\u306e\u30a4\u30ce\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3084\u3001\u72ec\u81ea\u306e\u5236\u7d04\u4e0b\u3067\u52d5\u4f5c\u3059\u308b\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306b\u306f\u3001\u30aa\u30fc\u30c0\u30fc\u30e1\u30a4\u30c9\u306e\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002 <strong>\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0SiC\u90e8\u54c1<\/strong> \u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u696d\u754c\u3067\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3092\u9078\u629e\u3059\u308b\u4e3b\u306a\u5229\u70b9\u306b\u306f\u3001\u4ee5\u4e0b\u304c\u542b\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u306b\u3088\u308a\u3001\u8010\u5727\u3001\u30aa\u30f3\u62b5\u6297\uff08$R_{DS(on)}$\uff09\u3001\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u7279\u6027\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u99c6\u52d5\u8981\u4ef6\u306a\u3069\u306e\u96fb\u6c17\u7684\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u3092\u5fae\u8abf\u6574\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001SiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u304c\u7528\u9014\u306e\u7279\u5b9a\u306e\u96fb\u5727\u3001\u96fb\u6d41\u3001\u5468\u6ce2\u6570\u8981\u6c42\u306b\u5b8c\u5168\u306b\u9069\u5408\u3057\u3001\u52b9\u7387\u3092\u6700\u5927\u5316\u3057\u3001\u640d\u5931\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u305f\u3068\u3048\u3070\u3001\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0SiC MOSFET\u306f\u3001\u7279\u5b9a\u306e\u96fb\u529b\u30b3\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u30c8\u30dd\u30ed\u30b8\u306b\u6700\u9069\u306a\u30bb\u30eb\u69cb\u9020\u3068\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30d5\u30a1\u30a4\u30eb\u3067\u8a2d\u8a08\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u96fb\u6c17\u7684\u6027\u80fd\u306e\u5411\u4e0a\uff1a<\/strong> SiC\u306f\u672c\u8cea\u7684\u306b\u512a\u308c\u305f\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3092\u5099\u3048\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u8a2d\u8a08\u306b\u3088\u308a\u3001\u653e\u71b1\u7d4c\u8def\u3092\u3055\u3089\u306b\u6700\u9069\u5316\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u306f\u3001\u7279\u5b9a\u306e\u30c0\u30a4\u5f62\u72b6\u3001\u7279\u6b8a\u306a\u57fa\u677f\u6750\u6599\u3001\u307e\u305f\u306f\u30a8\u30f3\u30c9\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u71b1\u74b0\u5883\u306b\u5408\u308f\u305b\u3066\u8abf\u6574\u3055\u308c\u305f\u72ec\u81ea\u306e\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u304c\u542b\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002\u52b9\u679c\u7684\u306a\u71b1\u7ba1\u7406\u306f\u3001\u9ad8\u51fa\u529b\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u4fe1\u983c\u6027\u3092\u5411\u4e0a\u3055\u305b\u3001\u5bff\u547d\u3092\u5ef6\u3070\u3059\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u512a\u308c\u305f\u71b1\u7ba1\u7406\uff1a<\/strong> \u7528\u9014\u56fa\u6709\u306e\u30d5\u30a9\u30fc\u30e0\u30d5\u30a1\u30af\u30bf\u3068\u7d71\u5408\uff1a<\/li>\n<li><strong>\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0SiC\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306f\u3001\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u5185\u306e\u6b63\u78ba\u306a\u6a5f\u68b0\u7684\u304a\u3088\u3073\u7a7a\u9593\u7684\u5236\u7d04\u306b\u9069\u5408\u3059\u308b\u3088\u3046\u306b\u8a2d\u8a08\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u306f\u3001\u975e\u6a19\u6e96\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30b5\u30a4\u30ba\u3001\u72ec\u81ea\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\u30ec\u30a4\u30a2\u30a6\u30c8\u3001\u307e\u305f\u306f\u8907\u6570\u306eSiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3092\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u305f\u7d71\u5408\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u304c\u542b\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u30ab\u30b9\u30bf\u30de\u30a4\u30ba\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u7d71\u5408\u304c\u5bb9\u6613\u306b\u306a\u308a\u3001\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u5168\u4f53\u306e\u30d5\u30c3\u30c8\u30d7\u30ea\u30f3\u30c8\u304c\u524a\u6e1b\u3055\u308c\u3001\u7d44\u307f\u7acb\u3066\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u304c\u7c21\u7d20\u5316\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002<\/strong> \u7279\u5b9a\u306e\u52d5\u4f5c\u6761\u4ef6\u306b\u6700\u9069\u5316\uff1a<\/li>\n<li><strong>\u4e00\u90e8\u306e\u96fb\u5b50\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306f\u3001\u975e\u5e38\u306b\u9ad8\u6e29\u3001\u9ad8\u653e\u5c04\u7dda\u30ec\u30d9\u30eb\u3001\u307e\u305f\u306f\u7279\u5b9a\u306e\u6a5f\u68b0\u7684\u30b9\u30c8\u30ec\u30b9\u306a\u3069\u306e\u8ab2\u984c\u306b\u76f4\u9762\u3059\u308b\u6975\u7aef\u306a\u74b0\u5883\u3067\u52d5\u4f5c\u3057\u307e\u3059\u3002\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0SiC\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306f\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u7279\u5b9a\u306e\u6761\u4ef6\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u8010\u6027\u3092\u9ad8\u3081\u308b\u6750\u6599\u3068\u8a2d\u8a08\u3067\u8a2d\u8a08\u3067\u304d\u308b\u305f\u3081\u3001\u6a19\u6e96\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u304c\u6545\u969c\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u306e\u3042\u308b\u5834\u6240\u3067\u3082\u78ba\u5b9f\u306b\u52d5\u4f5c\u3057\u307e\u3059\u3002<\/strong> \u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306e\u4fe1\u983c\u6027\u3068\u5bff\u547d\u306e\u5411\u4e0a\uff1a<\/li>\n<li><strong>SiC\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3092\u7528\u9014\u306e\u6b63\u78ba\u306a\u30cb\u30fc\u30ba\u306b\u5408\u308f\u305b\u3066\u8abf\u6574\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3078\u306e\u30b9\u30c8\u30ec\u30b9\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u3001\u8a2d\u8a08\u6bb5\u968e\u3067\u6f5c\u5728\u7684\u306a\u6545\u969c\u30e2\u30fc\u30c9\u306b\u7a4d\u6975\u7684\u306b\u5bfe\u51e6\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u5168\u4f53\u306e\u4fe1\u983c\u6027\u304c\u5411\u4e0a\u3057\u3001\u52d5\u4f5c\u5bff\u547d\u304c\u9577\u304f\u306a\u308a\u3001\u30e1\u30f3\u30c6\u30ca\u30f3\u30b9\u30b3\u30b9\u30c8\u3068\u30c0\u30a6\u30f3\u30bf\u30a4\u30e0\u304c\u524a\u6e1b\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002<\/strong> \u5c02\u9580\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u3068\u306e\u9023\u643a\u306b\u3088\u308a\u3001<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u7279\u6b8a\u306a\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u3068\u306e\u63d0\u643a <strong>\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0SiC\u30bd\u30ea\u30e5\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3<\/strong> \u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306f\u30e2\u30ce\u30ea\u30b7\u30c3\u30af\u6750\u6599\u3067\u306f\u306a\u304f\u3001\u30dd\u30ea\u30bf\u30a4\u30d7\u3068\u547c\u3070\u308c\u308b\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u7d50\u6676\u69cb\u9020\u3067\u5b58\u5728\u3057\u3001\u7570\u306a\u308b\u96fb\u6c17\u7684\u7279\u6027\u3092\u5b9f\u73fe\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u9069\u5207\u306aSiC\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u3001\u30dd\u30ea\u30bf\u30a4\u30d7\u3001\u304a\u3088\u3073\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u9078\u629e\u306f\u3001\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6027\u80fd\u306b\u3068\u3063\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u533a\u5225\u3092\u7406\u89e3\u3059\u308b\u3053\u3068\u306f\u3001<\/p>\n<h2>SiC\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u30ca\u30d3\u30b2\u30fc\u30c8\uff1a\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u306b\u9069\u3057\u305f\u6750\u6599\u306e\u9078\u629e<\/h2>\n<p>\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u7528\u306eSiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf <strong>\u307e\u305f\u306f\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30ea\u30fc\u30c8\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u3092\u8a2d\u8a08\u304a\u3088\u3073\u6307\u5b9a\u3059\u308b\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u306b\u3068\u3063\u3066\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/strong> \u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u6700\u3082\u4e00\u822c\u7684\u306a\u30dd\u30ea\u30bf\u30a4\u30d7\u306f4H-SiC\u30686H-SiC\u3067\u30014H-SiC\u306f\u3001\u3088\u308a\u9ad8\u3044\u96fb\u5b50\u79fb\u52d5\u5ea6\u3068\u3088\u308a\u7b49\u65b9\u6027\u306e\u7279\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001\u307b\u3068\u3093\u3069\u306e\u96fb\u529b\u96fb\u5b50\u7528\u9014\u3067\u512a\u52e2\u3067\u3059\u3002\u30dd\u30ea\u30bf\u30a4\u30d7\u306b\u52a0\u3048\u3066\u3001SiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u5c0e\u96fb\u6027\uff08N\u578b\u307e\u305f\u306fP\u578b\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\uff09\u307e\u305f\u306f\u534a\u7d76\u7e01\u6027\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<p>\u9ad8\u3044\u96fb\u5b50\u79fb\u52d5\u5ea6\uff08\u7279\u306bc\u8ef8\u306b\u5782\u76f4\uff09\u3001\u9ad8\u3044\u96fb\u754c\u5f37\u5ea6\u3001\u512a\u308c\u305f\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3002\u5e83\u3044\u30d0\u30f3\u30c9\u30ae\u30e3\u30c3\u30d7\uff08\u301c3.26 eV\uff09\u3002<\/p>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>SiC\u30dd\u30ea\u30bf\u30a4\u30d7\/\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9<\/th>\n<th>\u4e3b\u306a\u7279\u5fb4<\/th>\n<th>\u4e3b\u306a\u96fb\u5b50\u7528\u9014<\/th>\n<th>\u8abf\u9054\u306b\u95a2\u3059\u308b\u8003\u616e\u4e8b\u9805<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td><strong>Q1\uff1aSiC\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u304c\u9ad8\u6e29\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u7279\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u308b\u306e\u306f\u306a\u305c\u3067\u3059\u304b\uff1f<\/strong><\/td>\n<td>\u9ad8\u96fb\u5727\u96fb\u529b\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\uff08MOSFET\u3001\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8\u30ad\u30fc\u30d0\u30ea\u30a2\u30c0\u30a4\u30aa\u30fc\u30c9\u2013 SBD\u3001IGBT\uff09\u3001\u9ad8\u5468\u6ce2\u96fb\u529b\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u3001\u9ad8\u6e29\u30bb\u30f3\u30b5\u30fc\u306b\u6700\u9069\u3067\u3059\u3002<\/td>\n<td>\u96fb\u529b\u96fb\u5b50\u6a5f\u5668\u3067\u6700\u3082\u4e00\u822c\u7684\u3067\u958b\u767a\u3055\u308c\u305f\u30dd\u30ea\u30bf\u30a4\u30d7\u3002\u54c1\u8cea\uff08\u4f4e\u6b20\u9665\u5bc6\u5ea6\u3001\u4f8b\uff1a\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d1\u30a4\u30d7\uff09\u304c\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002N\u578b\u3001P\u578b\u3001\u304a\u3088\u3073\u534a\u7d76\u7e01\u6027\u3067\u5229\u7528\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002<\/td>\n<td>\u6b74\u53f2\u7684\u306b\u3001\u3088\u308a\u6210\u719f\u3057\u305f\u6210\u9577\u6280\u8853\u3001\u512a\u308c\u305f\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3002\u5e83\u3044\u30d0\u30f3\u30c9\u30ae\u30e3\u30c3\u30d7\uff08\u301c3.03 eV\uff09\u30024H-SiC\u3088\u308a\u3082\u96fb\u5b50\u79fb\u52d5\u5ea6\u304c\u4f4e\u304f\u3001\u7570\u65b9\u6027\u304c\u9ad8\u3044\u3002<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u306f\u3001\u72ec\u81ea\u306e\u7279\u6027\u306e\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u306b\u3088\u308a\u3001\u9ad8\u6e29\u74b0\u5883\u3067\u512a\u308c\u305f\u6027\u80fd\u3092\u767a\u63ee\u3057\u307e\u3059\u3002<\/strong><\/td>\n<td>\u6b74\u53f2\u7684\u306b\u3001\u3088\u308a\u6210\u719f\u3057\u305f\u6210\u9577\u6280\u8853\u3001\u826f\u597d\u306a\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3002\u5e83\u3044\u30d0\u30f3\u30c9\u30ae\u30e3\u30c3\u30d7\uff08\u301c3.03 eV\uff09\u30024H-SiC\u3088\u308a\u3082\u96fb\u5b50\u79fb\u52d5\u5ea6\u304c\u4f4e\u304f\u3001\u7570\u65b9\u6027\u304c\u9ad8\u3044\u3002<\/td>\n<td>\u4ee5\u524d\u306f\u9752\u8272LED\u3001\u4e00\u90e8\u306e\u9ad8\u51fa\u529b\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u4f7f\u7528\u3002\u65b0\u3057\u3044\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u8a2d\u8a08\u3067\u306f\u30014H-SiC\u306b\u5927\u304d\u304f\u53d6\u3063\u3066\u4ee3\u308f\u3089\u308c\u305f\u3002\u4e00\u90e8\u306e\u30cb\u30c3\u30c1\u306a\u7528\u9014\u3067\u306f\u307e\u3060\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002<\/td>\n<td>4H-SiC\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u3001\u79fb\u52d5\u5ea6\u304c\u4f4e\u304f\u3001\u7570\u65b9\u6027\u304c\u9ad8\u3044\u305f\u3081\u3001\u9ad8\u6027\u80fd\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u306f\u3042\u307e\u308a\u597d\u307e\u308c\u306a\u3044\u3002<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>\u9ad8\u7d14\u5ea6\u534a\u7d76\u7e01\u6027\uff08HPSI\uff09SiC<\/strong><\/td>\n<td>\u975e\u5e38\u306b\u9ad8\u3044\u96fb\u6c17\u62b5\u6297\u7387\uff08$ &gt; 10^9 Omega cdot cm$\uff09\u3001\u4f4e\u3044RF\u640d\u5931\u3001\u512a\u308c\u305f\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3002\u901a\u5e38\u306f4H-SiC\u307e\u305f\u306f6H-SiC\u3002<\/td>\n<td>RF\u96fb\u529b\u5897\u5e45\u5668\uff08\u4f8b\uff1a5G\u57fa\u5730\u5c40\u3001\u30ec\u30fc\u30c0\u30fc\uff09\u3001\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u6ce2\u7528\u9014\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u7a92\u5316\u30ac\u30ea\u30a6\u30e0\uff08GaN\uff09\u9ad8\u96fb\u5b50\u79fb\u52d5\u5ea6\u30c8\u30e9\u30f3\u30b8\u30b9\u30bf\uff08HEMT\uff09\u306e\u57fa\u677f\u3002<\/td>\n<td>GaN\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30fc\u3068\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u6027\u80fd\u306b\u306f\u3001\u7d14\u5ea6\uff08\u30d0\u30ca\u30b8\u30a6\u30e0\u88dc\u511f\u307e\u305f\u306f\u672c\u8cea\u7684\uff09\u3068\u8868\u9762\u54c1\u8cea\u304c\u91cd\u8981\u3002\u4f4e\u3044\u6b8b\u7559\u30c9\u30ca\u30fc\/\u30a2\u30af\u30bb\u30d7\u30bf\u30fc\u6fc3\u5ea6\u304c\u5fc5\u8981\u3002<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>N\u578b\u30c9\u30fc\u30d7SiC<\/strong><\/td>\n<td>\u904e\u5270\u306a\u96fb\u5b50\u306b\u3088\u308a\u5c0e\u96fb\u6027\u3002\u901a\u5e38\u306f\u7a92\u7d20\uff08N\uff09\u3067\u30c9\u30fc\u30d7\u3002\u62b5\u6297\u7387\u3092\u7cbe\u5bc6\u306b\u5236\u5fa1\u53ef\u80fd\u3002<\/td>\n<td>\u30d1\u30ef\u30fc\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u30c9\u30ea\u30d5\u30c8\u5c64\u3001MOSFET\u306e\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u9818\u57df\u3001\u30b7\u30e7\u30c3\u30c8\u30ad\u30fc\u30c0\u30a4\u30aa\u30fc\u30c9\u306e\u30ab\u30bd\u30fc\u30c9\u3001\u30db\u30e2\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30fc\u7528\u306eSiC\u57fa\u677f\u306b\u4f7f\u7528\u3002<\/td>\n<td>\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u6fc3\u5ea6\u306e\u4e00\u69d8\u6027\u3068\u5236\u5fa1\u306f\u3001\u8010\u5727\u3084\u30aa\u30f3\u62b5\u6297\u306a\u3069\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u306b\u3068\u3063\u3066\u91cd\u8981\u3002<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td><strong>P\u578b\u30c9\u30fc\u30d7SiC<\/strong><\/td>\n<td>\u904e\u5270\u306a\u30db\u30fc\u30eb\u306b\u3088\u308a\u5c0e\u96fb\u6027\u3002\u901a\u5e38\u306f\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\uff08Al\uff09\u307e\u305f\u306f\u30db\u30a6\u7d20\uff08B\uff09\u3067\u30c9\u30fc\u30d7\u3002N\u578b\u3088\u308a\u3082\u30c9\u30fc\u30d1\u30f3\u30c8\u306e\u6d3b\u6027\u5316\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u304c\u9ad8\u3044\u3002<\/td>\n<td>MOSFET\u306e\u30dc\u30c7\u30a3\u9818\u57df\u3001JFET\u306e\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u9818\u57df\u3001PiN\u30c0\u30a4\u30aa\u30fc\u30c9\u3068SBD\u306e\u30a2\u30ce\u30fc\u30c9\u5c64\u3001\u4e00\u90e8\u306e\u30b3\u30f3\u30bf\u30af\u30c8\u5c64\u306b\u4f7f\u7528\u3002<\/td>\n<td>\u4f4e\u62b5\u6297P\u578bSiC\u306e\u5b9f\u73fe\u306f\u56f0\u96e3\u306a\u5834\u5408\u304c\u3042\u308b\u3002\u30c9\u30fc\u30d1\u30f3\u30c8\u306e\u6d3b\u6027\u5316\u306b\u306f\u9ad8\u6e29\u30a2\u30cb\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u304c\u5fc5\u8981\u3002<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>SiC\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u9078\u629e\u306f\u3001\u8010\u5727\u3001\u30aa\u30f3\u62b5\u6297\u3001\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u901f\u5ea6\u3001\u71b1\u6027\u80fd\u306a\u3069\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u7279\u6027\u306b\u76f4\u63a5\u5f71\u97ff\u3059\u308b\u3002\u8abf\u9054\u30de\u30cd\u30fc\u30b8\u30e3\u30fc\u3084\u6280\u8853\u30d0\u30a4\u30e4\u30fc\u306b\u3068\u3063\u3066\u3001&#8220;\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20&#8221;\u3060\u3051\u3067\u306a\u304f\u3001\u6b63\u78ba\u306a\u30dd\u30ea\u30bf\u30a4\u30d7\u3001\u5c0e\u96fb\u578b\uff08N\u578b\u3001P\u578b\u3001\u307e\u305f\u306f\u534a\u7d76\u7e01\u6027\uff09\u3001\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u6fc3\u5ea6\uff08\u307e\u305f\u306f\u62b5\u6297\u7387\u7bc4\u56f2\uff09\u3001\u7d50\u6676\u65b9\u4f4d\u3001\u304a\u3088\u3073\u54c1\u8cea\u6307\u6a19\uff08\u4f8b\uff1a\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d1\u30a4\u30d7\u5bc6\u5ea6\u3001\u7a4d\u5c64\u6b20\u9665\u5bc6\u5ea6\u3001\u8868\u9762\u7c97\u3055\uff09\u3092\u660e\u8a18\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3042\u308b\u3002\u77e5\u8b58\u8c4a\u5bcc\u306a <strong>\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc<\/strong> \u6750\u6599\u9078\u5b9a\u306b\u95a2\u3059\u308b\u30ac\u30a4\u30c0\u30f3\u30b9\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u3001\u9ad8\u54c1\u8cea\u3067\u4e00\u8cab\u3057\u305f\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u307e\u305f\u306f\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u69cb\u9020\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u3068\u306e\u9023\u643a\u306f\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u88fd\u9020\u3068\u6027\u80fd\u306e\u6210\u529f\u306b\u3068\u3063\u3066\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3042\u308b\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306f\u3057\u3070\u3057\u3070\u3001 <strong>\u5148\u7aefSiC\u6750\u6599<\/strong> \u7279\u5b9a\u306e\u96fb\u5b50\u7528\u9014\u306b\u5408\u308f\u305b\u3066\u8abf\u6574\u3055\u308c\u3001\u6700\u9069\u306a\u7d50\u679c\u3092\u4fdd\u8a3c\u3059\u308b\u3002<\/p>\n<h2>\u7cbe\u5bc6\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u30ea\u30f3\u30b0\uff1aSiC\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u91cd\u8981\u306a\u8a2d\u8a08\u4e0a\u306e\u8003\u616e\u4e8b\u9805<\/h2>\n<p>\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u3067\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3092\u8a2d\u8a08\u3059\u308b\u306b\u306f\u3001\u305d\u306e\u6f5c\u5728\u80fd\u529b\u3092\u6700\u5927\u9650\u306b\u5f15\u304d\u51fa\u3059\u305f\u3081\u306b\u3001\u305d\u306e\u72ec\u81ea\u306e\u6750\u6599\u7279\u6027\u3092\u5fae\u5999\u306b\u7406\u89e3\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002SiC\u306f\u512a\u308c\u305f\u6027\u80fd\u6307\u6a19\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059\u304c\u3001\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u306f\u5f93\u6765\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u8a2d\u8a08\u3068\u306f\u5927\u304d\u304f\u7570\u306a\u308b\u7279\u5b9a\u306e\u8a2d\u8a08\u4e0a\u306e\u8003\u616e\u4e8b\u9805\u306b\u5bfe\u51e6\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u8003\u616e\u4e8b\u9805\u306f\u3001\u96fb\u6c17\u7684\u3001\u71b1\u7684\u3001\u6a5f\u68b0\u7684\u5074\u9762\u3092\u7db2\u7f85\u3057\u3066\u304a\u308a\u3001\u3059\u3079\u3066\u4fe1\u983c\u6027\u304c\u9ad8\u304f\u52b9\u7387\u7684\u306a <strong>SiC\u30d1\u30ef\u30fc\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb<\/strong> \u304a\u3088\u3073\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\u30ea\u30fc\u30c8\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u958b\u767a\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<h3>\u96fb\u6c17\u8a2d\u8a08\u306e\u5074\u9762\uff1a<\/h3>\n<ul>\n<li><strong>\u8010\u5727\uff08$V_{BR}$\uff09\uff1a<\/strong> SiC\u306e\u9ad8\u3044\u81e8\u754c\u96fb\u754c\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u3001\u7279\u5b9a\u306e\u906e\u65ad\u96fb\u5727\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u306f\u308b\u304b\u306b\u8584\u3044\u30c9\u30ea\u30d5\u30c8\u9818\u57df\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308b\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u30aa\u30f3\u62b5\u6297\u304c\u4f4e\u6e1b\u3055\u308c\u308b\u304c\u3001\u65e9\u671f\u7834\u58ca\u3092\u9632\u3050\u305f\u3081\u306b\u3001\u7279\u306b\u7d42\u7aef\u30a8\u30c3\u30b8\u3067\u306e\u96fb\u754c\u306e\u614e\u91cd\u306a\u7ba1\u7406\u304c\u5fc5\u8981\u3068\u306a\u308b\u3002JTE\uff08\u63a5\u5408\u7d42\u7aef\u62e1\u5f35\uff09\u3084\u30d5\u30a3\u30fc\u30eb\u30c9\u30ea\u30f3\u30b0\u306a\u3069\u306e\u30a8\u30c3\u30b8\u7d42\u7aef\u6280\u8853\u306f\u3001\u7d30\u5fc3\u306e\u6ce8\u610f\u3092\u6255\u3063\u3066\u8a2d\u8a08\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30aa\u30f3\u62b5\u6297\uff08MOSFET\u306e\u5834\u5408\u306f$R_{DS(on)}$\u3001\u30c0\u30a4\u30aa\u30fc\u30c9\u306e\u5834\u5408\u306f$V_F$\uff09\uff1a<\/strong> \u5c0e\u901a\u640d\u5931\u3092\u4f4e\u6e1b\u3059\u308b\u306b\u306f\u3001\u30aa\u30f3\u62b5\u6297\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u3053\u3068\u304c\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002\u3053\u308c\u306b\u306f\u3001\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u79fb\u52d5\u5ea6\uff08MOSFET\u306e\u5834\u5408\uff09\u3001\u30c9\u30ea\u30d5\u30c8\u9818\u57df\u306e\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u3068\u539a\u3055\u3001\u304a\u3088\u3073\u63a5\u89e6\u62b5\u6297\u306e\u6700\u9069\u5316\u304c\u542b\u307e\u308c\u308b\u3002SiC MOSFET\u306e\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u79fb\u52d5\u5ea6\u306f\u3001SiO2\/SiC\u754c\u9762\u3067\u306e\u754c\u9762\u30c8\u30e9\u30c3\u30d7\u306e\u5f71\u97ff\u3092\u53d7\u3051\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u30b2\u30fc\u30c8\u8a98\u96fb\u4f53\u51e6\u7406\u304c\u5fc5\u8981\u3068\u306a\u308b\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u901f\u5ea6\u3068\u30c0\u30a4\u30ca\u30df\u30af\u30b9\uff1a<\/strong> SiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306fSi\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u3088\u308a\u3082\u306f\u308b\u304b\u306b\u9ad8\u901f\u306b\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u3067\u304d\u308b\u305f\u3081\u3001\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u640d\u5931\u304c\u4f4e\u6e1b\u3055\u308c\u308b\u3002\u305f\u3060\u3057\u3001\u9ad8\u901f\u306edV\/dt\u304a\u3088\u3073dI\/dt\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u56de\u8def\u5185\u306e\u5bc4\u751f\u30a4\u30f3\u30c0\u30af\u30bf\u30f3\u30b9\u3068\u5bb9\u91cf\u306b\u3088\u308b\u96fb\u78c1\u5e72\u6e09\uff08EMI\uff09\u304a\u3088\u3073\u96fb\u5727\u30aa\u30fc\u30d0\u30fc\u30b7\u30e5\u30fc\u30c8\/\u30ea\u30f3\u30ae\u30f3\u30b0\u3092\u8a98\u767a\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308b\u3002\u30b2\u30fc\u30c8\u30c9\u30e9\u30a4\u30d0\u306e\u8a2d\u8a08\u306f\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308a\u3001\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u901f\u5ea6\u3092\u7ba1\u7406\u3057\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u9178\u5316\u819c\u3092\u4fdd\u8b77\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u6d41\u3068\u96fb\u5727\u3092\u6b63\u78ba\u306b\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u3002\u30b1\u30eb\u30d3\u30f3\u30bd\u30fc\u30b9\u63a5\u7d9a\u306f\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u30bd\u30fc\u30b9\u30a4\u30f3\u30c0\u30af\u30bf\u30f3\u30b9\u306e\u5f71\u97ff\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001SiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u3067\u3088\u304f\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30b2\u30fc\u30c8\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6\u8981\u4ef6\uff08MOSFET\u306e\u5834\u5408\uff09\uff1a<\/strong> SiC MOSFET\u306f\u901a\u5e38\u3001Si MOSFET\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u7570\u306a\u308b\u30b2\u30fc\u30c8\u96fb\u5727\u8981\u4ef6\uff08\u4f8b\uff1a$V_{GS(th)}$\u3001\u63a8\u5968$V_{GS(on)}$\u3001$V_{GS(off)}$\uff09\u304c\u3042\u308b\u3002\u30b2\u30fc\u30c8\u9178\u5316\u819c\u3082\u30c7\u30ea\u30b1\u30fc\u30c8\u306a\u90e8\u5206\u3067\u3042\u308a\u3001\u52d5\u4f5c\u4e2d\u306b\u904e\u5ea6\u306e\u30b9\u30c8\u30ec\u30b9\u304c\u304b\u304b\u3089\u306a\u3044\u3088\u3046\u306b\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3001\u9577\u671f\u7684\u306a\u4fe1\u983c\u6027\u306b\u3068\u3063\u3066\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002dV\/dt\u306b\u3088\u308b\u610f\u56f3\u3057\u306a\u3044\u30bf\u30fc\u30f3\u30aa\u30f3\u3092\u9632\u3050\u305f\u3081\u306b\u3001\u30aa\u30d5\u72b6\u614b\u3067\u306e\u8ca0\u306e\u30b2\u30fc\u30c8\u30d0\u30a4\u30a2\u30b9\u304c\u63a8\u5968\u3055\u308c\u308b\u3053\u3068\u304c\u591a\u3044\u3002<\/li>\n<li><strong>\u77ed\u7d61\u8010\u91cf\u6642\u9593\uff08SCWT\uff09\uff1a<\/strong> \u3088\u308a\u9ad8\u3044\u96fb\u529b\u5bc6\u5ea6\u306e\u305f\u3081\u3001SiC MOSFET\u306eSCWT\u306fSi IGBT\u3088\u308a\u3082\u77ed\u304f\u306a\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308b\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u4fdd\u8b77\u56de\u8def\u306e\u8a2d\u8a08\u306b\u304a\u3044\u3066\u614e\u91cd\u306b\u8003\u616e\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30dc\u30c7\u30a3\u30c0\u30a4\u30aa\u30fc\u30c9\u306e\u6027\u80fd\uff08MOSFET\u306e\u5834\u5408\uff09\uff1a<\/strong> SiC MOSFET\u306e\u56fa\u6709\u306e\u30dc\u30c7\u30a3\u30c0\u30a4\u30aa\u30fc\u30c9\u306f\u3001\u9806\u65b9\u5411\u96fb\u5727\u964d\u4e0b\u304c\u5927\u304d\u304f\u3001\u5834\u5408\u306b\u3088\u3063\u3066\u306f\u30d0\u30a4\u30dd\u30fc\u30e9\u52a3\u5316\u3092\u8d77\u3053\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308b\u3002\u305d\u306e\u6027\u80fd\u306f\u5411\u4e0a\u3057\u3066\u3044\u308b\u304c\u3001\u8981\u6c42\u306e\u53b3\u3057\u3044\u30d5\u30ea\u30fc\u30db\u30a4\u30fc\u30eb\u7528\u9014\u306b\u306f\u3001\u5916\u90e8SiC SBD\u304c\u4e26\u5217\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u3053\u3068\u3082\u3042\u308b\u3002<\/li>\n<\/ul>\n<h3>\u71b1\u7ba1\u7406\u6226\u7565\uff1a<\/h3>\n<p>SiC\u306e\u9ad8\u3044\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u306f\u653e\u71b1\u306b\u5f79\u7acb\u3064\u304c\u3001\u9054\u6210\u53ef\u80fd\u306a\u96fb\u529b\u5bc6\u5ea6\u304c\u9ad8\u3044\u305f\u3081\u3001\u3088\u308a\u96c6\u4e2d\u3057\u305f\u71b1\u6e90\u3082\u610f\u5473\u3059\u308b\u3002\u52b9\u679c\u7684\u306a\u71b1\u8a2d\u8a08\u306b\u306f\u4ee5\u4e0b\u304c\u542b\u307e\u308c\u308b\uff1a<\/p>\n<ul>\n<li>SiC\u30c0\u30a4\u304b\u3089\u30d2\u30fc\u30c8\u30b7\u30f3\u30af\u3078\u306e\u71b1\u62b5\u6297\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u3002\u3053\u308c\u306b\u306f\u3001\u30c0\u30a4\u30a2\u30bf\u30c3\u30c1\u6750\u6599\u3001\u57fa\u677f\u6750\u6599\uff08\u4f8b\uff1aDBC\u57fa\u677f\u7528\u306eAlN\u3001Si3N4\uff09\u3001\u304a\u3088\u3073\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u8a2d\u8a08\u304c\u542b\u307e\u308c\u308b\u3002<\/li>\n<li>\u6a5f\u68b0\u7684\u30b9\u30c8\u30ec\u30b9\u3068\u75b2\u52b4\u3092\u9632\u3050\u305f\u3081\u306b\u3001SiC\u3068\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u6750\u6599\u9593\u306e\u71b1\u81a8\u5f35\u4fc2\u6570\uff08CTE\uff09\u306e\u30df\u30b9\u30de\u30c3\u30c1\u3092\u8003\u616e\u3059\u308b\u3002<\/li>\n<li>\u975e\u5e38\u306b\u9ad8\u51fa\u529b\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u306b\u306f\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u51b7\u5374\u6280\u8853\uff08\u4f8b\uff1a\u6db2\u4f53\u51b7\u5374\u3001\u4e21\u9762\u51b7\u5374\uff09\u3092\u63a1\u7528\u3059\u308b\u3002<\/li>\n<\/ul>\n<h3>\u6a5f\u68b0\u7684\u304a\u3088\u3073\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u306e\u7d71\u5408\uff1a<\/h3>\n<p>SiC\u306e\u6a5f\u68b0\u7684\u7279\u6027\uff08\u786c\u304f\u3066\u8106\u3044\uff09\u3068\u9ad8\u3044\u52d5\u4f5c\u6e29\u5ea6\u3068\u5468\u6ce2\u6570\u306f\u3001\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u306e\u9078\u629e\u306b\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u308b\u3002<\/p>\n<ul>\n<li>SiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u9ad8\u901f\u30b9\u30a4\u30c3\u30c1\u30f3\u30b0\u901f\u5ea6\u3092\u5229\u7528\u3059\u308b\u306b\u306f\u3001\u4f4e\u30a4\u30f3\u30c0\u30af\u30bf\u30f3\u30b9\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3042\u308b\u3002<\/li>\n<li>\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u6750\u6599\u306f\u3001\u9ad8\u3044\u52d5\u4f5c\u6e29\u5ea6\u306b\u8010\u3048\u3001\u4fe1\u983c\u6027\u306e\u9ad8\u3044\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u3002<\/li>\n<li>\u30ef\u30a4\u30e4\u30dc\u30f3\u30c7\u30a3\u30f3\u30b0\u3068\u30c0\u30a4\u30a2\u30bf\u30c3\u30c1\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306f\u3001SiC\u5411\u3051\u306b\u6700\u9069\u5316\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u3002<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u88fd\u9020\u53ef\u80fd\u6027\u3092\u8003\u616e\u3057\u305f\u8a2d\u8a08\u3001\u5f62\u72b6\u5236\u9650\u3001\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u58c1\u539a\u3001\u304a\u3088\u3073\u5fdc\u529b\u96c6\u4e2d\u70b9\u306e\u8003\u616e\u3082\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308b\u3002\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u8a2d\u8a08\u8005\u3068 <strong>\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0SiC\u88fd\u54c1<\/strong> \u30e1\u30fc\u30ab\u30fc\u306f\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u591a\u9762\u7684\u306a\u8ab2\u984c\u306b\u52b9\u679c\u7684\u306b\u53d6\u308a\u7d44\u3080\u305f\u3081\u306e\u9375\u3068\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<h2>\u5b8c\u74a7\u3055\u306e\u9054\u6210\uff1aSiC\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306e\u8a31\u5bb9\u5dee\u3001\u8868\u9762\u54c1\u8cea\u3001\u304a\u3088\u3073\u4ed5\u4e0a\u3052<\/h2>\n<p>\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u96fb\u5b50\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6027\u80fd\u3068\u4fe1\u983c\u6027\u306f\u3001\u305d\u308c\u3089\u304c\u69cb\u7bc9\u3055\u308c\u308bSiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u304a\u3088\u3073\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u5c64\u306e\u5bf8\u6cd5\u7cbe\u5ea6\u3001\u8868\u9762\u54c1\u8cea\u3001\u304a\u3088\u3073\u4ed5\u4e0a\u3052\u306b\u5927\u304d\u304f\u5f71\u97ff\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u8abf\u9054\u5c02\u9580\u5bb6\u3084\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u304c\u4ed5\u69d8\u3092\u5b9a\u3081\u308b\u5834\u5408\u3001 <strong>SiC\u57fa\u677f<\/strong> \u304a\u3088\u3073\u30a8\u30d4\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306b\u3064\u3044\u3066\u3001\u9054\u6210\u53ef\u80fd\u306a\u8a31\u5bb9\u8aa4\u5dee\u3068\u305d\u306e\u5f71\u97ff\u3092\u7406\u89e3\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u53b3\u683c\u306a\u7ba1\u7406\u306f\u3001\u7d50\u6676\u6210\u9577\u3068\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u52a0\u5de5\u304b\u3089\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30fc\u3001\u6700\u7d42\u7684\u306a\u8868\u9762\u51e6\u7406\u307e\u3067\u3001\u88fd\u9020\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u5168\u4f53\u3092\u901a\u3057\u3066\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<p>SiC\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306e\u8a31\u5bb9\u8aa4\u5dee\u3001\u8868\u9762\u4ed5\u4e0a\u3052\u3001\u304a\u3088\u3073\u5bf8\u6cd5\u7cbe\u5ea6\u306b\u95a2\u9023\u3059\u308b\u4e3b\u306a\u5074\u9762\u306b\u306f\u3001\u4ee5\u4e0b\u304c\u542b\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u5e73\u5766\u5ea6\u3068\u539a\u3055\u306e\u5909\u52d5\uff08TTV\uff09\uff1a<\/strong> \u9ad8\u54c1\u8cea\u306eSiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u3001\u512a\u308c\u305f\u5e73\u5766\u5ea6\uff08\u4f8b\uff1a\u53cd\u308a\u3001\u305d\u308a\u3001\u305d\u308a\uff09\u3068\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u5168\u4f53\u306e\u6700\u5c0f\u9650\u306e\u5168\u539a\u3055\u5909\u52d5\uff08TTV\uff09\u3092\u793a\u3059\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u306f\u3001\u30d5\u30a9\u30c8\u30ea\u30bd\u30b0\u30e9\u30d5\u30a3\u30fc\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u3068\u3063\u3066\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3042\u308a\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u88fd\u9020\u4e2d\u306e\u5747\u4e00\u306a\u7279\u5fb4\u5b9a\u7fa9\u3092\u4fdd\u8a3c\u3057\u307e\u3059\u3002\u504f\u5dee\u306f\u3001\u7126\u70b9\u6df1\u5ea6\u306e\u554f\u984c\u306b\u3064\u306a\u304c\u308a\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u7279\u6027\u306e\u4e0d\u6574\u5408\u3084\u6b69\u7559\u307e\u308a\u306e\u4f4e\u4e0b\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002 <strong>\u96fb\u5b50\u7528\u9014\u5411\u3051\u306e\u6280\u8853\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u30b9SiC\u306e\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u306f\u3001<\/strong> \u53b3\u3057\u3044\u5e73\u5766\u5ea6\u4ed5\u69d8\u306b\u6e96\u62e0\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u8868\u9762\u7c97\u3055\uff08Ra\u3001Rq\u3001Rms\uff09\uff1a<\/strong> SiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u8868\u9762\u3001\u7279\u306b\u5316\u5b66\u6a5f\u68b0\u7814\u78e8\uff08CMP\uff09\u5f8c\u306b\u306f\u3001\u975e\u5e38\u306b\u6ed1\u3089\u304b\u3067\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u3089\u305a\u3001\u901a\u5e38\u306f\u539f\u5b50\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u5e73\u5766\u5ea6\uff08Ra &lt; 0.5 nm\u3001\u591a\u304f\u306e\u5834\u5408 &lt; 0.2 nm\uff09\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3059\u3002\u6ed1\u3089\u304b\u3067\u6b20\u9665\u306e\u306a\u3044\u8868\u9762\u306f\u3001\u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u5c64\u306e\u305d\u306e\u5f8c\u306e\u6210\u9577\u306b\u3068\u3063\u3066\u6700\u3082\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002\u6b8b\u7559\u3059\u308b\u8868\u9762\u4e0b\u306e\u640d\u50b7\u3084\u8868\u9762\u7c97\u3055\u306f\u3001\u30a8\u30d4\u5c64\u306b\u6b20\u9665\u3092\u4f1d\u64ad\u3055\u305b\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u6027\u80fd\uff08\u4f8b\uff1a\u30b2\u30fc\u30c8\u9178\u5316\u819c\u306e\u5b8c\u5168\u6027\u3001\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\uff09\u306b\u60aa\u5f71\u97ff\u3092\u53ca\u307c\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u5c64\u306e\u5747\u4e00\u6027\uff1a<\/strong> SiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u5834\u5408\u3001\u6d3b\u6027\u5c64\u306f\u901a\u5e38\u3001SiC\u57fa\u677f\u4e0a\u306b\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u306b\u6210\u9577\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u5c64\u306e\u539a\u3055\u3068\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\u6fc3\u5ea6\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u5168\u4f53\u304a\u3088\u3073\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u9593\u3067\u975e\u5e38\u306b\u5747\u4e00\u3067\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u308a\u307e\u305b\u3093\u3002\u5909\u52d5\u306f\u3001\u3057\u304d\u3044\u5024\u96fb\u5727\u3001\u30d6\u30ec\u30fc\u30af\u30c0\u30a6\u30f3\u96fb\u5727\u3001\u30aa\u30f3\u62b5\u6297\u306a\u3069\u306e\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u306e\u4e0d\u6574\u5408\u306b\u3064\u306a\u304c\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3092\u5b9f\u73fe\u3059\u308b\u306b\u306f\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u6210\u9577\u6280\u8853\uff08\u4f8b\uff1aCVD\uff09\u3068\u7cbe\u5bc6\u306a\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u5236\u5fa1\u304c\u5fc5\u8981\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u6b20\u9665\u5bc6\u5ea6\uff08\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d1\u30a4\u30d7\u3001\u7a4d\u5c64\u6b20\u9665\u3001\u8ee2\u4f4d\uff09\uff1a<\/strong> SiC\u306e\u7d50\u6676\u6210\u9577\u306f\u56f0\u96e3\u3067\u3042\u308a\u3001\u3055\u307e\u3056\u307e\u306a\u7a2e\u985e\u306e\u7d50\u6676\u5b66\u7684\u6b20\u9665\u304c\u767a\u751f\u3059\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d1\u30a4\u30d7\uff08\u4e2d\u7a7a\u30b3\u30a2\u30b9\u30af\u30ea\u30e5\u30fc\u8ee2\u4f4d\uff09\u306f\u7279\u306b\u6709\u5bb3\u3067\u3042\u308a\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u65e9\u671f\u7834\u58ca\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u57fa\u677f\u5185\u306e\u57fa\u5e95\u9762\u8ee2\u4f4d\uff08BPD\uff09\u3082\u3001\u52d5\u4f5c\u4e2d\u306b\u6d3b\u6027\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u5c64\u306b\u7a4d\u5c64\u6b20\u9665\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3057\u3001\u30d0\u30a4\u30dd\u30fc\u30e9\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u30aa\u30f3\u62b5\u6297\u306e\u5897\u52a0\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u7279\u306b\u9ad8\u96fb\u5727\u304a\u3088\u3073\u9ad8\u4fe1\u983c\u6027\u7528\u9014\u3067\u306f\u3001\u4f4e\u6b20\u9665\u5bc6\u5ea6\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u6307\u5b9a\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30a8\u30c3\u30b8\u9664\u5916\u3068\u30c1\u30c3\u30d7\u6b69\u7559\u307e\u308a\uff1a<\/strong> \u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u5229\u7528\u53ef\u80fd\u306a\u9818\u57df\u306f\u3001\u30a8\u30c3\u30b8\u6b20\u9665\u307e\u305f\u306f\u51e6\u7406\u306e\u4e0d\u6574\u5408\u306b\u3088\u308a\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u6b69\u7559\u307e\u308a\u304c\u901a\u5e38\u4f4e\u3044\u30a8\u30c3\u30b8\u9664\u5916\u30be\u30fc\u30f3\u306b\u3088\u3063\u3066\u5b9a\u7fa9\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u9664\u5916\u30be\u30fc\u30f3\u3092\u3001\u3088\u308a\u826f\u3044\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u6210\u5f62\u3068\u30a8\u30c3\u30b8\u7814\u78e8\u306b\u3088\u3063\u3066\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3042\u305f\u308a\u306e\u826f\u54c1\u30c0\u30a4\u306e\u6570\u3092\u5897\u3084\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u3001\u30b3\u30b9\u30c8\u306b\u76f4\u63a5\u5f71\u97ff\u3057\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u5bf8\u6cd5\u7cbe\u5ea6\uff1a<\/strong> \u30d2\u30fc\u30c8\u30b9\u30d7\u30ec\u30c3\u30c0\u3001\u30cf\u30a4\u30d6\u30ea\u30c3\u30c9\u30e2\u30b8\u30e5\u30fc\u30eb\u306e\u57fa\u677f\u3001\u307e\u305f\u306f\u7d76\u7e01\u4f53\u3068\u3057\u3066\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u5f62\u72b6\u306eSiC\u30b3\u30f3\u30dd\u30fc\u30cd\u30f3\u30c8\u306e\u5834\u5408\u3001\u9069\u5207\u306a\u7d44\u307f\u7acb\u3066\u3068\u71b1\u6027\u80fd\u306b\u306f\u3001\u6b63\u78ba\u306a\u5bf8\u6cd5\u5236\u5fa1\uff08\u9577\u3055\u3001\u5e45\u3001\u539a\u3055\u3001\u5e73\u884c\u5ea6\u3001\u5782\u76f4\u5ea6\uff09\u304c\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<\/ul>\n<p>SiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u9054\u6210\u53ef\u80fd\u306a\u8a31\u5bb9\u8aa4\u5dee\u306f\u3001\u76f4\u5f84\u3084\u539a\u3055\u306a\u3069\u306e\u5bf8\u6cd5\u306b\u3064\u3044\u3066\u306f\u901a\u5e38\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30e1\u30fc\u30c8\u30eb\u7bc4\u56f2\u3067\u3042\u308a\u3001\u5e73\u5766\u5ea6\u3068TTV\u306f\u3055\u3089\u306b\u53b3\u3057\u3044\u5236\u9650\u306b\u5236\u5fa1\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002CMP\u5f8c\u306e\u8868\u9762\u4ed5\u4e0a\u3052\u30aa\u30d7\u30b7\u30e7\u30f3\u306f\u3001\u93e1\u9762\u306e\u3088\u3046\u306a\u8868\u9762\u3092\u3082\u305f\u3089\u3057\u307e\u3059\u3002\u7814\u524a\u3001\u30e9\u30c3\u30d4\u30f3\u30b0\u3001\u7814\u78e8\u306b\u304a\u3051\u308b\u7cbe\u5bc6\u306a\u80fd\u529b\u306f\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u53b3\u3057\u3044\u8981\u4ef6\u3092\u6e80\u305f\u3059\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002 <strong>SiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u3092\u8abf\u9054\u3059\u308b\u5834\u5408\u3001<\/strong> \u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u5834\u5408\u3001\u6750\u6599\u304c\u610f\u56f3\u3055\u308c\u305f\u9ad8\u6027\u80fd\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u308b\u3053\u3068\u3092\u78ba\u8a8d\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u3068\u3053\u308c\u3089\u306e\u4ed5\u69d8\u3092\u660e\u78ba\u306b\u5b9a\u7fa9\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<h2>\u88fd\u9020\u3092\u8d85\u3048\u3066\uff1aSiC\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u306e\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u5f8c\u51e6\u7406<\/h2>\n<p>\u57fa\u672c\u7684\u306a\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u69cb\u9020\u304c\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u4e0a\u306b\u88fd\u9020\u3055\u308c\u308b\u3068\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u69cb\u9020\u3092\u6a5f\u80fd\u7684\u3067\u4fe1\u983c\u6027\u306e\u9ad8\u3044\u3001\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u53ef\u80fd\u306a\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u306b\u5909\u3048\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u4e00\u9023\u306e\u91cd\u8981\u306a\u5f8c\u51e6\u7406\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7\u304c\u5fc5\u8981\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7\u306f\u3001\u6700\u521d\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u51e6\u7406\u3068\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30fc\u3068\u540c\u69d8\u306b\u91cd\u8981\u3067\u3042\u308a\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6027\u80fd\u3001\u6b69\u7559\u307e\u308a\u3001\u304a\u3088\u3073\u30b3\u30b9\u30c8\u306b\u5927\u304d\u306a\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u307e\u3059\u3002 <strong>SiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u88fd\u9020<\/strong>\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u5f8c\u51e6\u7406\u306e\u30cb\u30fc\u30ba\u3092\u7406\u89e3\u3059\u308b\u3053\u3068\u306f\u3001\u52b9\u7387\u7684\u306a\u751f\u7523\u3068\u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u51fa\u529b\u3092\u5f97\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/p>\n<p>SiC\u96fb\u5b50\u90e8\u54c1\u306e\u4e00\u822c\u7684\u3067\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u5f8c\u51e6\u7406\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7\u306b\u306f\u3001\u4ee5\u4e0b\u304c\u542b\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<ol>\n<li><strong>\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30d0\u30c3\u30af\u30b0\u30e9\u30a4\u30f3\u30c7\u30a3\u30f3\u30b0\u3068\u30b7\u30f3\u30cb\u30f3\u30b0:<\/strong> \u524d\u9762\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u88fd\u9020\u5f8c\u3001SiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u80cc\u9762\u304b\u3089\u8584\u304f\u3055\u308c\u308b\u3053\u3068\u304c\u3088\u304f\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u30c0\u30a4\u306e\u71b1\u62b5\u6297\u304c\u6e1b\u5c11\u3057\u3001\u653e\u71b1\u304c\u6539\u5584\u3055\u308c\u3001\u5782\u76f4\u96fb\u529b\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u30aa\u30f3\u72b6\u614b\u62b5\u6297\u3082\u4f4e\u6e1b\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002SiC\u306e\u786c\u5ea6\u306e\u305f\u3081\u3001\u7279\u6b8a\u306a\u7814\u524a\u6280\u8853\u304c\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3001\u7814\u524a\u306b\u3088\u308b\u640d\u50b7\u3092\u9664\u53bb\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001CMP\u307e\u305f\u306f\u30c9\u30e9\u30a4\u7814\u78e8\u306a\u3069\u306e\u5fdc\u529b\u7de9\u548c\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u304c\u7d9a\u304d\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u88cf\u9762\u91d1\u5c5e\u5316\uff1a<\/strong> \u5782\u76f4\u96fb\u529b\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u5834\u5408\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u80cc\u9762\u306b\u91d1\u5c5e\u5c64\u304c\u5806\u7a4d\u3055\u308c\u3001\u30c9\u30ec\u30a4\u30f3\uff08MOSFET\u306e\u5834\u5408\uff09\u307e\u305f\u306f\u30ab\u30bd\u30fc\u30c9\uff08\u30c0\u30a4\u30aa\u30fc\u30c9\u306e\u5834\u5408\uff09\u63a5\u70b9\u3092\u5f62\u6210\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u5c64\u306f\u901a\u5e38\u3001\u826f\u597d\u306a\u30aa\u30fc\u30e0\u6027\u63a5\u89e6\u3001\u306f\u3093\u3060\u4ed8\u3051\u6027\u3001\u304a\u3088\u3073\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3092\u78ba\u4fdd\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u8907\u6570\u306e\u91d1\u5c5e\uff08\u4f8b\uff1aTi\/Ni\/Ag\u307e\u305f\u306fTi\/Ni\/Au\uff09\u3067\u69cb\u6210\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u91d1\u5c5e\u306e\u9078\u629e\u3068\u5806\u7a4d\u6280\u8853\uff08\u4f8b\uff1a\u30b9\u30d1\u30c3\u30bf\u30ea\u30f3\u30b0\u3001\u84b8\u7740\uff09\u306f\u3001\u4f4e\u63a5\u89e6\u62b5\u6297\u3068\u9577\u671f\u7684\u306a\u4fe1\u983c\u6027\u306e\u305f\u3081\u306b\u91cd\u8981\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30c0\u30a4\u30b7\u30f3\u30b0\uff08\u30b7\u30f3\u30b0\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\uff09:<\/strong> \u3059\u3079\u3066\u306e\u524d\u9762\u304a\u3088\u3073\u80cc\u9762\u51e6\u7406\u304c\u5b8c\u4e86\u3059\u308b\u3068\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u500b\u3005\u306e\u30c1\u30c3\u30d7\uff08\u30c0\u30a4\uff09\u306b\u30c0\u30a4\u30b7\u30f3\u30b0\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002SiC\u306e\u786c\u5ea6\u3068\u8106\u6027\u306e\u305f\u3081\u3001\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc\u30c0\u30a4\u30b7\u30f3\u30b0\u307e\u305f\u306f\u7279\u6b8a\u306a\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u30d6\u30ec\u30fc\u30c9\u30bd\u30fc\u30a4\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u304c\u63a1\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30c0\u30a4\u30b7\u30f3\u30b0\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306f\u3001\u30c0\u30a4\u306e\u6b69\u7559\u307e\u308a\u3092\u6700\u5927\u5316\u3057\u3001\u30c0\u30a4\u306e\u5f37\u5ea6\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u30c1\u30c3\u30d4\u30f3\u30b0\u3001\u30af\u30e9\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u3001\u304a\u3088\u3073\u30ab\u30fc\u30d5\u640d\u5931\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u30b9\u30c6\u30eb\u30b9\u30c0\u30a4\u30b7\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u307e\u3059\u307e\u3059\u4eba\u6c17\u306e\u3042\u308b\u65b9\u6cd5\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30c0\u30a4\u30a2\u30bf\u30c3\u30c1\uff1a<\/strong> \u6b21\u306b\u3001\u5358\u4e00\u5316\u3055\u308c\u305fSiC\u30c0\u30a4\u306f\u3001\u30ea\u30fc\u30c9\u30d5\u30ec\u30fc\u30e0\u3001\u76f4\u63a5\u63a5\u5408\u9285\uff08DBC\uff09\u57fa\u677f\u3001\u307e\u305f\u306f\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30d9\u30fc\u30b9\u306b\u53d6\u308a\u4ed8\u3051\u3089\u308c\u307e\u3059\u3002\u30c0\u30a4\u30a2\u30bf\u30c3\u30c1\u6750\u6599\uff08\u4f8b\uff1a\u306f\u3093\u3060\u3001\u9280\u713c\u7d50\u30da\u30fc\u30b9\u30c8\u3001\u30a8\u30dd\u30ad\u30b7\uff09\u306f\u3001\u826f\u597d\u306a\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3068\u96fb\u6c17\u4f1d\u5c0e\u7387\u3001\u6a5f\u68b0\u7684\u5f37\u5ea6\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u3001\u9ad8\u3044\u52d5\u4f5c\u6e29\u5ea6\u306b\u8010\u3048\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u9280\u713c\u7d50\u306f\u3001\u305d\u306e\u9ad8\u3044\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3068\u4fe1\u983c\u6027\u306e\u305f\u3081\u3001\u9ad8\u51fa\u529bSiC\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u597d\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30ef\u30a4\u30e4\u30dc\u30f3\u30c7\u30a3\u30f3\u30b0\/\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a:<\/strong> \u96fb\u6c17\u7684\u63a5\u7d9a\u306f\u3001SiC\u30c0\u30a4\u306e\u30dc\u30f3\u30c9\u30d1\u30c3\u30c9\u304b\u3089\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30ea\u30fc\u30c9\u307e\u305f\u306f\u57fa\u677f\u306b\u63a5\u7d9a\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u30a2\u30eb\u30df\u30cb\u30a6\u30e0\uff08Al\uff09\u307e\u305f\u306f\u9285\uff08Cu\uff09\u30ef\u30a4\u30e4\u304c\u4e00\u822c\u7684\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3001\u8d85\u97f3\u6ce2\u307e\u305f\u306f\u71b1\u97f3\u97ff\u63a5\u5408\u3092\u4ecb\u3057\u3066\u53d6\u308a\u4ed8\u3051\u3089\u308c\u307e\u3059\u3002\u9ad8\u51fa\u529b\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3067\u306f\u3001\u3088\u308a\u512a\u308c\u305f\u96fb\u6d41\u51e6\u7406\u3068\u71b1\u6027\u80fd\u306e\u305f\u3081\u3001\u9285\u7dda\u307e\u305f\u306f\u30ea\u30dc\u30f3\u63a5\u5408\u304c\u597d\u307e\u308c\u307e\u3059\u3002\u30d5\u30ea\u30c3\u30d7\u30c1\u30c3\u30d7\u63a5\u5408\u307e\u305f\u306f\u9285\u30d4\u30e9\u30fc\u30d0\u30f3\u30d7\u3082\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u30d1\u30c3\u30b1\u30fc\u30b8\u30f3\u30b0\u306b\u767b\u5834\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30d1\u30c3\u30b7\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3068\u5c01\u6b62:<\/strong> 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<strong>\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u90e8\u54c1\u3092\u8cfc\u5165\u3059\u308b<\/strong> \u307e\u305f\u306f\u72ec\u81ea\u306b\u958b\u767a\u3059\u308b\u5834\u5408\u3001\u3053\u308c\u3089\u306e\u30d0\u30c3\u30af\u30a8\u30f3\u30c9\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u8907\u96d1\u3055\u3092\u7406\u89e3\u3059\u308b\u3053\u3068\u306f\u3001\u6700\u9069\u306a\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u6027\u80fd\u3001\u4fe1\u983c\u6027\u3001\u304a\u3088\u3073\u8cbb\u7528\u5bfe\u52b9\u679c\u3092\u5b9f\u73fe\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002\u5805\u7262\u306a\u5f8c\u51e6\u7406\u80fd\u529b\u3092\u6301\u3064\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30e4\u30fc\u3068\u5354\u529b\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30b5\u30d7\u30e9\u30a4\u30c1\u30a7\u30fc\u30f3\u3092\u5408\u7406\u5316\u3057\u3001\u3088\u308a\u9ad8\u54c1\u8cea\u306e\u6700\u7d42\u88fd\u54c1\u3092\u78ba\u4fdd\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<h2>\u969c\u5bb3\u306e\u514b\u670d\uff1aSiC\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3051\u308b\u4e00\u822c\u7684\u306a\u8ab2\u984c\u3078\u306e\u5bfe\u51e6<\/h2>\n<p>\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306f\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u696d\u754c\u306b\u9769\u65b0\u7684\u306a\u5229\u70b9\u3092\u3082\u305f\u3089\u3057\u307e\u3059\u304c\u3001\u305d\u306e\u5e83\u7bc4\u306a\u63a1\u7528\u3068\u88fd\u9020\u306b\u306f\u8ab2\u984c\u304c\u306a\u3044\u308f\u3051\u3067\u306f\u3042\u308a\u307e\u305b\u3093\u3002\u9ad8\u51fa\u529b\u304a\u3088\u3073\u9ad8\u5468\u6ce2\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u3068\u3063\u3066\u975e\u5e38\u306b\u9b45\u529b\u7684\u306aSiC\u306e\u72ec\u81ea\u306e\u6750\u6599\u7279\u6027\u306f\u3001\u7d50\u6676\u6210\u9577\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u88fd\u9020\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u8a2d\u8a08\u3001\u304a\u3088\u3073\u5168\u4f53\u7684\u306a\u30b3\u30b9\u30c8\u306b\u3082\u5927\u304d\u306a\u969c\u5bb3\u3092\u3082\u305f\u3089\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u8ab2\u984c\u306b\u5bfe\u51e6\u3059\u308b\u3053\u3068\u306f\u3001 <strong>\u5148\u7aefSiC\u6750\u6599<\/strong> \u306e\u53ef\u80fd\u6027\u3092\u6700\u5927\u9650\u306b\u5f15\u304d\u51fa\u3057\u3001\u3088\u308a\u30a2\u30af\u30bb\u30b9\u3057\u3084\u3059\u304f\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u9375\u3068\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002<\/p>\n<p>SiC\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3051\u308b\u4e00\u822c\u7684\u306a\u8ab2\u984c\u3068\u3001\u305d\u308c\u3089\u306b\u3069\u306e\u3088\u3046\u306b\u53d6\u308a\u7d44\u3093\u3067\u3044\u308b\u304b\uff1a<\/p>\n<ul>\n<li><strong>\u7d50\u6676\u6b20\u9665\u306e\u524a\u6e1b\uff1a<\/strong> SiC\u5358\u7d50\u6676\u6210\u9577\uff08\u901a\u5e38\u306f\u7269\u7406\u7684\u84b8\u6c17\u8f38\u9001\u2013 PVT\u7d4c\u7531\uff09\u306f\u3001\u8907\u96d1\u3067\u9ad8\u6e29\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3067\u3059\u3002\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30d1\u30a4\u30d7\uff08MP\uff09\u3001\u30b9\u30af\u30ea\u30e5\u30fc\u8ee2\u4f4d\u3001\u57fa\u5e95\u9762\u8ee2\u4f4d\uff08BPD\uff09\u3001\u304a\u3088\u3073\u7a4d\u5c64\u6b20\u9665\uff08SF\uff09\u306a\u3069\u306e\u6b20\u9665\u306f\u3001\u6210\u9577\u4e2d\u307e\u305f\u306f\u305d\u306e\u5f8c\u306e\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30fc\u4e2d\u306b\u5f62\u6210\u3055\u308c\u308b\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u6b20\u9665\u306f\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u6b69\u7559\u307e\u308a\u3001\u6027\u80fd\uff08\u4f8b\uff1a\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u3001\u4fe1\u983c\u6027\uff09\u306b\u6df1\u523b\u306a\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u3001\u65e9\u671f\u6545\u969c\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002<br \/>\n        <em>\u7de9\u548c\uff1a<\/em> \u5927\u898f\u6a21\u306aR&#038;D\u306e\u53d6\u308a\u7d44\u307f\u306b\u3088\u308a\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u30b7\u30fc\u30c9\u6cd5\u3001\u6700\u9069\u5316\u3055\u308c\u305f\u6e29\u5ea6\u52fe\u914d\u3001\u304a\u3088\u3073\u6b20\u9665\u4f4e\u6e1b\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u6210\u9577\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\uff08\u4f8b\uff1aLPE\u30d2\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u3001BPD\u304b\u3089TED\u3078\u306e\u5909\u63db\uff09\u306a\u3069\u306e\u3001\u6539\u5584\u3055\u308c\u305f\u7d50\u6676\u6210\u9577\u6280\u8853\u304c\u5b9f\u73fe\u3057\u307e\u3057\u305f\u3002\u53b3\u683c\u306a\u6750\u6599\u691c\u67fb\u3068\u54c1\u8cea\u7ba1\u7406\u3082\u4e0d\u53ef\u6b20\u3067\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>SiC MOSFET\u306b\u304a\u3051\u308b\u30b2\u30fc\u30c8\u9178\u5316\u819c\u306e\u4fe1\u983c\u6027\uff1a<\/strong> MOSFET\u306b\u304a\u3051\u308bSiC\u3068\u30b2\u30fc\u30c8\u8a98\u96fb\u4f53\uff08\u901a\u5e38\u306fSiO2\uff09\u306e\u9593\u306e\u754c\u9762\u306f\u3001\u91cd\u8981\u306a\u9818\u57df\u3067\u3059\u3002\u3053\u306eSiO2\/SiC\u754c\u9762\u306f\u3001Si\/SiO2\u754c\u9762\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u3001\u3088\u308a\u9ad8\u3044\u5bc6\u5ea6\u306e\u754c\u9762\u30c8\u30e9\u30c3\u30d7\uff08$D_{it}$\uff09\u3068\u754c\u9762\u8fd1\u508d\u306e\u9178\u5316\u7269\u30c8\u30e9\u30c3\u30d7\uff08NIOT\uff09\u3092\u6301\u3064\u50be\u5411\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u30c8\u30e9\u30c3\u30d7\u306f\u3001\u30c1\u30e3\u30cd\u30eb\u79fb\u52d5\u5ea6\u306e\u4f4e\u4e0b\u3001\u95be\u5024\u96fb\u5727\u306e\u4e0d\u5b89\u5b9a\u6027\u306e\u539f\u56e0\u3068\u306a\u308a\u3001\u9ad8\u96fb\u754c\u304a\u3088\u3073\u9ad8\u6e29\u4e0b\u3067\u306e\u9577\u671f\u7684\u306a\u4fe1\u983c\u6027\u306b\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u307e\u3059\u3002<br \/>\n        <em>\u7de9\u548c\uff1a<\/em> \u4e00\u9178\u5316\u7a92\u7d20\uff08NO\uff09\u307e\u305f\u306f\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u7a92\u7d20\u542b\u6709\u96f0\u56f2\u6c17\u4e2d\u3067\u306e\u9178\u5316\u5f8c\u30a2\u30cb\u30fc\u30eb\u306f\u3001\u754c\u9762\u30c8\u30e9\u30c3\u30d7\u306e\u30d1\u30c3\u30b7\u30d9\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3068\u30b2\u30fc\u30c8\u9178\u5316\u819c\u306e\u54c1\u8cea\u5411\u4e0a\u306b\u975e\u5e38\u306b\u52b9\u679c\u7684\u3067\u3059\u3002\u4ee3\u66ff\u30b2\u30fc\u30c8\u8a98\u96fb\u4f53\u3068\u9ad8\u5ea6\u306a\u754c\u9762\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u30ea\u30f3\u30b0\u6280\u8853\u3082\u7814\u7a76\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002<\/li>\n<li><strong>\u30b3\u30b9\u30c8\u52b9\u7387\u306e\u9ad8\u3044\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30fc\u3068\u30c9\u30fc\u30d4\u30f3\u30b0\uff1a<\/strong> 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