SiC：化学産業の強さの柱

はじめに：極限化学環境のための不屈の材料

腐食性物質、極端な温度、高圧が標準である化学産業の容赦ない状況では、材料の選択が最も重要です。標準的な材料はしばしば失敗し、コストのかかるダウンタイム、安全上の危険、および製品の純度の低下につながります。炭化ケイ素（SiC）が登場し、その優れた硬度、優れた熱伝導率、および化学的攻撃に対する優れた耐性で有名な高度なセラミック材料です。カスタム炭化ケイ素製品は単なるコンポーネントではなく、高性能産業用途における革新と信頼性を実現するための重要な要素です。化学処理の場合、SiCは、他の材料が限界に達する場所で比類のない耐久性と性能を提供する救命線を提供します。その独自の特性の組み合わせにより、バルク化学物質の製造から特殊な医薬品合成まで、運用上の卓越性と機器の寿命の延長を目指すエンジニアや調達マネージャーにとって不可欠な資産となっています。SiCを複雑な形状に設計できる能力は、その有用性をさらに高め、要求の厳しい用途の要件に正確に一致するオーダーメイドのソリューションを可能にします。さらに深く掘り下げていくと、この注目すべき材料が化学処理装置に革命を起こしている方法と、その採用が先進的な組織にとって戦略的な不可欠なものになっている理由を探ります。

高純度化学物質とより効率的な処理方法に対する需要は増加し続けており、材料科学の境界を押し広げています。炭化ケイ素は、これらの課題に対応する準備ができており、堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。その固有の安定性により、プロセスを汚染しないことが保証されます。これは、わずかな不純物でさえ重大な結果をもたらす可能性のある業界では重要な要素です。反応器容器から微小なポンプコンポーネントまで、SiCの汎用性はゲームチェンジャーです。

化学産業の厳しい環境：材料の課題

化学処理産業（CPI）は、あらゆる製造部門で見られる最も過酷な運用条件の一部を特徴としています。この環境で使用される材料は、多くの場合、同時に一連の課題に耐えなければなりません。

• 腐食性化学物質： 硫酸、硝酸、塩酸、フッ化水素酸などの広範な酸、塩基、溶剤、および酸化剤が毎日取り扱われています。これらの物質は、金属、ポリマー、さらには一部の従来のセラミックスを急速に劣化させる可能性があります。「SiCの耐薬品性」や「耐腐食性セラミックコンポーネント」などの主要なB2B検索用語は、この重要なニーズを強調しています。
• 高温： 多くの化学反応とプロセスでは、1000°C（1832°F）を超える場合もある高温が必要です。材料は、そのような熱負荷の下で構造的完全性と化学的安定性を維持する必要があります。「高温SiC部品」や「熱管理セラミックス」が頻繁に求められています。
• 極端な圧力： プロセスは、多くの場合、大きな圧力または真空条件下で動作し、変形や壊滅的な故障に耐えることができる材料を必要とします。
• 研磨性媒体： スラリー、触媒、および粒子状物質を含む流体は、パイプ、バルブ、およびポンプ内部などのコンポーネントに深刻な摩耗と浸食を引き起こす可能性があります。「耐摩耗性SiCコンポーネント」と「耐摩耗性セラミックス」は、これらの用途に不可欠です。
• 熱サイクル： 急激な温度変化は、熱衝撃を引き起こし、感受性の高い材料にひび割れや故障を引き起こす可能性があります。コンポーネントは、性能を損なうことなく、これらの変動に耐えることができなければなりません。
• 純度の要件： 多くの化学プロセス、特に医薬品や電子機器の製造では、製品の純度を維持することが最も重要です。材料は、汚染を防ぐために不活性で非溶出性でなければなりません。

ステンレス鋼、特殊合金、さまざまなプラスチックなどの従来の材料は、これらの課題のすべてに直面した場合、特に組み合わせて使用した場合に、しばしば不足します。ここで、高度な技術セラミックス、特に炭化ケイ素がその大きな利点を示し、より長い耐用年数とより信頼性の高い性能を提供し、最終的にメンテナンスコストの削減とプラントの安全性の向上につながります。適切な材料の選択は、プロセスを最適化しようとするすべての化学エンジニアまたはプラントマネージャーにとって重要な設計上の考慮事項です。

SiCが強みの柱である理由：明らかになった主な利点

過酷な化学環境における炭化ケイ素の卓越性は、固有の材料特性の独自の組み合わせに由来しています。これらの属性は、重要な用途にとっての「強みの柱」となり、従来の材料や他のセラミックスよりも大きな利点を提供します。

• 優れた化学的安定性： SiCは、高温でも、強酸、アルカリ、酸化剤を含む幅広い腐食性化学物質に対して優れた耐性を示します。この不活性性により材料の劣化が防止され、製品の純度が保証されます。これは、「酸環境用SiC」や「耐アルカリ性SiC部品」にとって不可欠です。
• 優れた熱安定性と熱伝導率： 炭化ケイ素は、非常に高温（非酸化性雰囲気では一部のグレードで最大1650°C以上）で機械的強度と構造的完全性を維持します。その高い熱伝導率により、効率的な熱放散または伝達が可能になり、「SiC熱交換器チューブ」や「高温炉コンポーネント」に最適です。この特性は、優れた耐熱衝撃性にも貢献します。
• 優れた耐摩耗性と耐エロージョン性： モース硬度がダイヤモンドに次ぐSiCは、研磨性スラリー、粒子、および高速の流れによる摩耗に対して非常に耐性があります。これは、「SiCポンプシール」、「ノズル」、および「サイクロンライナー」のコンポーネント寿命の延長につながります。
• 高い機械的強度と硬度： SiCコンポーネントは、高い圧縮強度と曲げ強度を備えており、大きな機械的負荷と圧力に耐えることができます。これは、反応器や高圧システムの構造コンポーネントにとって重要です。
• 低い熱膨張： SiCは熱膨張係数が比較的低く、高い熱伝導率と相まって、優れた耐熱衝撃性を備えています。これにより、SiCコンポーネントは、ひび割れを起こすことなく、急激な温度変化に耐えることができます。
• 軽量： 高温耐性を持つ多くの金属（スーパーアロイなど）と比較して、SiCは比較的軽量であり、特定の動的用途や、システム全体の重量が問題となる場合に利点となります。
• 寸法安定性： 一度製造および焼結されたSiC部品は、変動する熱負荷や機械的負荷の下でも、時間の経過とともに優れた寸法安定性を示します。

これらの特性は、化学プラントにおける耐用年数の延長、メンテナンス間隔の短縮、プロセスの効率化、および安全性の向上に全体的に貢献します。SiCコンポーネントをカスタマイズできる能力により、エンジニアは、非常に具体的で要求の厳しい用途でこれらの利点を活用できます。

化学処理装置におけるSiCの主な用途

炭化ケイ素の優れた特性により、化学処理業界内のさまざまな要求の厳しい用途に適しています。カスタムSiCコンポーネントは、長寿命、信頼性、および過酷な条件に対する耐性が最も重要である領域に頻繁に指定されています。

コンポーネントタイプ	特定のSiCアプリケーション	SiCによって提供される主な利点	関連するB2Bキーワード
熱交換器	腐食性流体の加熱/冷却用のチューブ、プレート、シェル	高い熱伝導率、優れた耐食性、耐汚染性	「SiC熱交換器チューブ」、「セラミック熱交換器」、「耐食性熱伝達」
ポンプコンポーネント	メカニカルシールのベアリング、シャフト、インペラー、スリーブ	優れた耐摩耗性、化学的慣性、ドライラン機能（シール用）	「SiCメカニカルシール」、「炭化ケイ素ポンプベアリング」、「化学ポンプコンポーネント」
バルブと流量制御	バルブシート、	耐摩耗性、耐浸食性、精密な流量制御、化学的安定性	「SiCバルブ部品」、「セラミック制御弁」、「耐摩耗ノズル」
反応器部品	ライニング、サーモウェル、アジテーター部品、触媒担体、るつぼ	高温強度、化学的慣性、耐熱衝撃性	「SiC反応器ライニング」、「セラミックサーモウェル」、「高温るつぼ」
配管とライナー	研磨性スラリー用パイプ、高腐食性流体用ライニングパイプ	優れた耐摩耗性、優れた耐食性	「SiCライニングパイプ」、「耐摩耗性配管」、「セラミックパイプスプール」
混合と分散	ミキサーブレード、分散ディスク、粉砕媒体	耐摩耗性、化学的慣性、製品汚染の防止	「SiCミキサー部品」、「セラミック粉砕媒体」
バーナーノズルと燃焼部品	バーナーノズル、フレームホルダー、蓄熱管	高温安定性、耐酸化性、耐熱衝撃性	「SiCバーナーノズル」、「工業用燃焼セラミックス」
スクラバーとガス洗浄システム	ノズル、ベンチュリスクラバー、充填材	腐食と侵食に対する耐性、攻撃的なガス環境	「SiCスクラバーノズル」、「セラミックタワーパッキング」

SiCの汎用性により、大規模な構造部品と小型で複雑な精密部品の両方で使用できます。この適応性は、その堅牢な性能特性と相まって、現代の化学処理操作の効率と信頼性を向上させる上で、炭化ケイ素の重要な役割を確固たるものにします。

化学プラント向けのカスタム炭化ケイ素ソリューションの利点

標準的なSiCコンポーネントはかなりのメリットをもたらしますが、 カスタム炭化ケイ素ソリューション 個々の化学プラントの用途固有の課題に合わせて特別に調整された、高度なレベルのパフォーマンスと統合を提供します。カスタム設計のSiC部品を選択することは、既製品の制限を超えて、特定の運用コンテキスト内で最適な機能性を実現するように設計されたコンポーネントを採用することを意味します。

• 特定の用途向けに最適化された設計： カスタマイズにより、エンジニアは、機器とプロセスパラメータに正確に適合するSiCコンポーネントを設計できます。これには、複雑な形状、特定のインターフェース要件、最適化された流路が含まれ、効率が向上し、応力集中が軽減されます。
• パフォーマンスと効率の向上： テーラーメイドの設計により、SiCの固有の利点を最大化できます。たとえば、カスタム設計のSiC熱交換器チューブバンドルは、特定の流体と流量に合わせてチューブの間隔と表面積を最適化することにより、標準設計よりも優れた熱性能を提供できます。
• 機器の寿命の延長： 用途の正確な摩耗パターン、化学的暴露、および熱応力に合わせて設計されたコンポーネントは、必然的に長持ちします。これにより、交換頻度が減り、ダウンタイムが最小限に抑えられ、総所有コストが削減されます。「長寿命SiC部品」や「耐久性のあるセラミックコンポーネント」などのキーワードは、この需要を反映しています。
• システム統合の改善： カスタムSiC部品は、既存の金属またはポリマーコンポーネントとのシームレスな統合のために設計できるため、熱膨張差やシーリングなどの課題に対応できます。これにより、レトロフィットとシステムアップグレードが容易になります。
• 独自の課題に対するソリューション： 多くの化学プロセスには、標準コンポーネントでは単に不十分な、独特または極端な条件が含まれます。カスタムSiC製造は、これらのニッチでありながら重要な用途向けの新しいソリューションを開発するための道を提供します。
• 素材グレードの選択： カスタマイズは、最適な耐性と性能を確保するために、特定のSiCグレード（たとえば、SSiC、RBSiC）を選択したり、微調整したりすることにまで及ぶことがよくあります。

このような専門的なソリューションを求める企業にとって、経験豊富なプロバイダーとの提携は極めて重要です。ここがSicarb Techのような組織が得意とするところです。炭化ケイ素技術の深い専門知識を生かし、弊社は以下を専門としています。 SiC部品のカスタマイズ 化学業界の厳しい要求に応えることに特化しています。当社の取り組みには、お客様の特定のプロセス上の課題を理解し、パフォーマンスと信頼性の具体的な改善を提供するSiCソリューションを設計することが含まれます。

さまざまな化学用途向けの推奨SiCグレード

炭化ケイ素は単一の材料ではありません。さまざまな製造プロセスにより、さまざまなグレードのSiCが得られ、それぞれが独自の特性セットを備えています。特定の化学用途で性能と費用対効果を最適化するには、適切なグレードを選択することが重要です。化学業界に関連する主なグレードには、焼結炭化ケイ素（SSiC）、反応焼結炭化ケイ素（RBSiC）、および程度は低いですが、窒化ケイ素結合炭化ケイ素（NBSiC）および再結晶SiC（ReSiC）が含まれます。

SiCグレード	主な特徴	典型的な化学用途	化学環境での利点	制限事項
焼結炭化ケイ素（SSiC）/無加圧焼結SiC（PSSiC）	細粒で高純度（一般的に>98% SiC）、優れた耐食性、高強度、高硬度、優れた耐熱衝撃性。SiC粉末を高温（2000～2200℃）で焼結して形成される。	高腐食性媒体（強酸、苛性剤）のメカニカルシール、ベアリング、バルブ部品、ノズル、ポンプ部品。半導体処理装置。	非常に広いpH範囲にわたる優れた化学的慣性。優れた耐摩耗性。高温でも特性を維持します。	一般的にRBSiCよりも高コスト。非常に大きく複雑な形状の製造がより困難になる可能性があります。
反応焼結炭化ケイ素（RBSiC）/シリコン化炭化ケイ素（SiSiC）	SiC粒子とシリコン金属マトリックス（通常は8〜15%の遊離シリコン）を含む複合材料。優れた耐摩耗性、高い熱伝導率、優れた耐熱衝撃性、複雑な形状を容易に形成します。多孔質SiCプリフォームに溶融シリコンを浸透させることによって製造されます。	熱交換器チューブ、バーナーノズル、キルン家具、耐摩耗ライナー、より大きな構造部品、ポンプボリュート。	より大きなコンポーネントに費用対効果が高い。優れた熱伝導率と耐衝撃性。優れた汎用耐食性。	遊離シリコン相は、強アルカリ、フッ化水素酸、および1350°Cを超える特定の溶融金属によって攻撃される可能性があります。酸化性雰囲気下でのSSiCよりも低い極限温度限界。
窒化ケイ素結合炭化ケイ素（NBSiC)	シリコン窒化物（Si3N4）相によって結合されたSiC粒子。優れた強度、適度な耐熱衝撃性、優れた耐摩耗性。	キルン家具、金属の溶解と取り扱い用のコンポーネント（例：アルミニウム）。一部の特殊な化学用途。	溶融非鉄金属による濡れに対する優れた耐性。適度な温度でのまともな強度。	SSiCと比較して、特に攻撃的な酸と塩基での耐食性が低い。シリコン窒化物バインダーが酸化する可能性があります。
再結晶炭化ケイ素（ReSiC）	高純度SiC（多くの場合>99%）は、SiCを非常に高い温度（約2500℃）で昇華させ、再凝縮させることによって形成される。高密度化しない限り、多孔質構造。	高温炉部品、キルン家具、セッター、極端な耐熱性が必要なサポート。	一般的なSiCグレードの中で最高の温度能力。相互接続された多孔性による優れた耐熱衝撃性（緻密化されていない場合）。	通常は多孔質であるため、機械的強度が低く、特に緻密化またはコーティングされていない限り、透過性がある可能性があります。高価になる可能性があります。

SiCグレードの選択は、エンドユーザーと経験豊富なSiCサプライヤーとの間の共同決定である必要があります。特定の化学環境（化学物質の種類、濃度、温度、圧力）、機械的応力、熱サイクル条件、およびコンポーネントの形状はすべて、最適なグレードを決定する上で役割を果たします。「SiCグレードの選択」、「SSiC対RBSiC」、および「高純度SiC」は、調達専門家にとって重要な考慮事項です。

化学プロセスにおけるSiCコンポーネントの設計とエンジニアリングに関する考慮事項

化学処理で炭化ケイ素コンポーネントを正常に実装するには、SiCの独自の材料特性を考慮した慎重な設計とエンジニアリングの検討が必要です。非常に堅牢ですが、SiCは脆性セラミックであり、この特性は、寿命と信頼性を確保するために、設計段階全体で管理する必要があります。

• 脆性の管理：
  • 鋭い内角や応力集中を避け、代わりに十分な半径を使用します。
  • 可能であれば、セラミックスは引張よりも圧縮の方がはるかに強いため、圧縮荷重を考慮してください。
  • 局所的な応力ピークを防ぐために、均一な荷重分布を確保します。
  • コンポーネントが偶発的な衝突を起こしやすい場所にある場合は、衝撃保護を検討してください。
• 幾何学的複雑さと製造可能性：
  • 複雑な形状は実現可能ですが（特にRBSiCの場合）、より単純な設計の方が一般的に費用対効果が高く、厳しい許容範囲で製造しやすくなります。「複雑なSiC形状」は可能ですが、専門家の製造が必要です。
  • 壁の厚さは、構造的完全性には十分である必要がありますが、熱応力勾配を増加させる可能性があるため、過度に厚くしないでください。最小壁厚は、製造方法と部品のサイズによって異なります。
  • 成形技術を使用して製造された部品については、ドラフト角度を検討してください。
• 接合と組み立て：
  • SiCを他のSiC部品または異なる材料（金属など）に接合するには、ろう付け、焼きばめ、接着剤接着、または機械的クランプなどの特殊な技術が必要です。
  • 熱サイクルの間に応力蓄積を防ぐために、SiCと金属コンポーネント間の熱膨張差を設計で考慮する必要があります。柔軟な中間層または特定のジョイント設計が役立ちます。
• 熱管理：
  • SiCの高い熱伝導率は、多くの場合、利点（例：熱交換器）ですが、急速で不均一な加熱または冷却は、管理されていない場合でも熱衝撃につながる可能性があります。可能な限り、均一な温度勾配を設計します。
  • 多くのSiCグレードの優れた耐熱衝撃性はこれを軽減しますが、極端な場合はまだ考慮が必要です。
• 表面のシーリング：
  • メカニカルシールやバルブシートなどの用途では、設計により、非常に平坦で滑らかな表面を実現できる必要があります。適切な表面仕上げと平坦度公差を指定します。
• 負荷条件：
  • 静的、動的、熱的、および圧力誘起応力を含む、すべての潜在的な荷重条件を徹底的に分析します。有限要素解析（FEA）は、複雑または重要なSiCコンポーネントに推奨されることがよくあります。
• プロトタイピングとテスト：
  • 新規用途または複雑な設計の場合、フルスケール生産の前に設計を検証するために、シミュレートされたまたは実際の使用条件下でのプロトタイピングとテストを強くお勧めします。

セラミックスの「製造可能性のための設計」（DFM）に経験のあるSiCメーカーとの連携が不可欠です。彼らは、パフォーマンスと費用対効果の高い生産の両方のために設計を最適化するための貴重なインプットを提供できます。この初期のコラボレーションにより、コストのかかる再設計を回避し、最終コンポーネントがすべての運用要件を満たしていることを確認できます。

精密機械加工：SiC部品の公差、表面仕上げ、寸法精度

化学業界の多くの炭化ケイ素コンポーネント、特にシール、ベアリング、バルブ部品などの動的用途では、必要な寸法精度、厳しい許容範囲、および特定の表面仕上げを達成することが重要です。SiCの極度の硬度により、焼結後の機械加工は困難で特殊なプロセスであり、通常はダイヤモンド研削、ラッピング、および研磨が含まれます。

• 達成可能な公差：
  • 焼結公差： SiCグレードと製造プロセス（例：プレス、スリップキャスティング、押出成形）によっては、焼結後の部品には特定の寸法変動があります。これらは通常、寸法の±0.5%〜±2%の範囲です。これが許容される用途では、さらなる機械加工は必要なく、コストが削減されます。
  • 地面の公差： ダイヤモンド研削は、非常に厳しい許容範囲、多くの場合±0.005 mm（±0.0002インチ）、または重要な寸法に対してさらに優れたものを実現できます。これは、「精密SiCコンポーネント」と「厳しい許容範囲のセラミック部品」に不可欠です。
  • 平坦度と平行度： シーリング面の場合、数ヘリウム光バンド（HLB）のオーダーの平坦度値、サブミクロンレベル（例：0.3〜0.9 µm）に相当するものが、ラッピングと研磨によって達成できます。平行度も厳密に制御できます。
• 表面仕上げオプション：
  • 焼成仕上げ： 焼結後の部品の表面は、成形方法とキルン条件によって異なります。比較的滑らかであるか、わずかなテクスチャがある場合があります。
  • グラウンド仕上げ： ダイヤモンド研削は、通常、0.2 µm〜0.8 µm（8〜32 µインチ）の範囲の表面粗さ（Ra）を生成します。
  • ラップ/研磨仕上げ： メカニカルシールや高性能ベアリングなど、非常に滑らかな表面を必要とする用途では、ラッピングと研磨により、Ra値が0.05 µm（2 µインチ）未満、場合によっては光学的品質の仕上げまで達成できます。「SiCミラー仕上げ」は、そのような要件に関連する用語です。
• 寸法精度と安定性:
  • 炭化ケイ素は、時間の経過とさまざまな温度下での優れた寸法安定性で知られており、精密コンポーネントが耐用期間を通じて精度を維持することを保証します。
  • 粉末の調製から最終焼結までの製造プロセスは、反りを最小限に抑え、一貫した収縮を確保するために慎重に制御されており、最終的な精度の向上に貢献しています。
• コストへの影響：
  • 必要な許容範囲が厳しく、表面仕上げが細かいほど、焼結後の機械加工の操作が広範囲（そして高価）になります。コストを効果的に管理するには、用途に本当に必要な精度のレベルのみを指定することが重要です。
  • エンジニアは、重要な寸法と表面要件をSiCメーカーに明確に伝達する必要があります。

SiCをこのような高精度に機械加工できる能力により、最小限の漏れ、低摩擦、および一貫した性能を要求する用途での使用が可能になります。これは、高度な機械加工能力と堅牢な品質管理プロセスを備えたサプライヤーを選択することが、すべてのコンポーネントが指定された寸法および表面仕上げの要件を満たしていることを保証することの重要性を強調しています。

化学用途におけるSiC実装における一般的な課題の克服

炭化ケイ素は化学業界に多くの利点を提供しますが、その実装を成功させるには、高度なセラミックスに関連する特定の固有の課題に対処する必要があります。これらの潜在的なハードルを理解し、それらを軽減する方法を知ることが、SiCコンポーネントの利点を最大化するための鍵です。

• 脆性と破壊靭性：
  • チャレンジだ： SiCは、ほとんどのセラミックスと同様に脆く、金属と比較して低い破壊靭性を持っています。これは、衝撃や高い引張応力集中による壊滅的な故障を起こしやすい可能性があることを意味します。
  • 緩和：
    • 適切なコンポーネント設計：鋭い角を避け、フィレットを使用し、圧縮応力のために設計します。
    • 慎重な取り扱いと設置手順。
    • 衝撃を受けやすい領域の保護エンクロージャーまたは取り付け。
    • 可能であれば、強化された靭性を持つグレードを選択し、適切です（ただし、これは多くの場合、他の特性とのトレードオフです）。
    • 非常に要求の厳しい用途には、複合構造または装甲を検討してください。
• 加工の複雑さとコスト：
  • チャレンジだ： SiCの極度の硬度により、機械加工（研削、ラッピング、研磨）は時間がかかり、高価であり、特殊なダイヤモンド工具と機器が必要になります。
  • 緩和：
    • 近似形状の製造設計を行い、焼結後の機械加工を最小限に抑えます。
    • 用途に絶対に必要な範囲内で、公差と表面仕上げを指定します。
    • 機械加工プロセスを最適化した経験豊富なSiCメーカーと協力します。
• 耐熱衝撃管理：
  • チャレンジだ： SiCは一般的に優れた耐熱衝撃性（特にRBSiCおよびReSiCの一部の多孔質グレード）を備えていますが、非常に急速で不均一な温度変化は、特に厚い部分や拘束された設計において、応力や潜在的な亀裂を引き起こす可能性があります。
  • 緩和：
    • 熱伝導率が高く、熱膨張率が低い適切なSiCグレードを選択します。
    • より均一な加熱/冷却を可能にするようにコンポーネントを設計します。
    • 可能であれば、制御された加熱および冷却速度をプロセスに実装します。
    • 有限要素解析（FEA）は、熱応力分布を予測し、設計改善をガイドすることができます。
• SiCと他の材料との接合：
  • チャレンジだ： SiCと金属または他のセラミックスを効率的かつ確実に接合することは、熱膨張係数、濡れ性、機械的特性の違いにより複雑になる可能性があります。
  • 緩和：
    • 活性金属ろう付け、拡散接合、焼きばめ、または高度な接着接合などの特殊な接合技術を利用します。
    • 熱膨張のミスマッチに対応するように接合部を設計します（たとえば、グラデーション中間層、フレキシブルコネクタを使用）。
    • セラミックと金属の接合に関する専門家にご相談ください。
• シーリングの複雑さ：
  • チャレンジだ： SiCコンポーネント、特に高圧または高温の動的用途での効果的なシールを達成し、維持することは困難な場合があります。
  • 緩和：
    • シーリング面で非常に正確な表面仕上げと平坦性を確保します。
    • SiCとプロセスの両方に対応する適切なガスケットまたはシール材を選択します。