正確な部品のための精密SiC切断機

高度な産業用途における高性能材料の需要は、ますます高まっています。炭化ケイ素(SiC)は、その優れた硬度、熱伝導率、化学的慣性で知られる技術セラミックスであり、最前線に立っています。しかし、これらの特性こそが、SiCの機械加工を非常に困難にしているのです。そこで、精密SiC切削機が不可欠となり、半導体から航空宇宙まで、さまざまな産業に不可欠な複雑で正確な部品の製造を可能にしています。このブログ記事では、SiC切削機の世界を探求し、その用途、技術、利点、カスタムSiC部品の活用を検討している企業向けの考慮事項について掘り下げます。

1. SiC部品製造における精度の重要な役割

炭化ケイ素の固有の特性(ダイヤモンドに次ぐ硬度と脆さ)は、従来の切削方法では不十分または非効率的であることを意味します。SiC部品で厳しい公差、複雑な形状、優れた表面仕上げを実現するには、特殊な切削技術が必要です。精度は単なる望ましい属性ではなく、最終製品の機能性と信頼性の基本です。

SiC切削で精度が重要な理由:

  • パフォーマンスの完全性: 半導体ウェーハ処理や高出力電子機器などの用途では、寸法のわずかなずれでも部品の故障や最適なパフォーマンスの低下につながる可能性があります。
  • 材料廃棄物の削減: SiCの原材料と焼結ブランクは高価になる可能性があります。精密切削は、材料の無駄、欠け、亀裂の伝播を最小限に抑え、歩留まりと費用対効果を向上させます。
  • 組み立てと統合: 正確に切削されたSiC部品は、航空宇宙や自動車分野に見られる複雑なシステムで不可欠な、より大きなアセンブリへのシームレスな統合を保証します。
  • 寿命と耐久性: 適切な切削技術は、表面下の損傷を軽減し、高温や腐食性環境などの過酷な動作条件下でのSiC部品の全体的な強度と寿命を向上させます。

に携わる企業にとって 卸売り SiC部品 を必要とする企業にとって OEM SiC部品、精密切削のニュアンスを理解することは、高品質で信頼性の高い製品を調達するための鍵となります。

2. 先進的なSiC切削技術を活用する主要産業

精密切削によって解き放たれた炭化ケイ素の独自の特性は、さまざまなハイテク産業で不可欠な材料となっています。SiC切削機は、これらの分野でイノベーションとパフォーマンスを推進する部品を製造する上で不可欠です。

金型は、SiC成形プロセスにおける重要なインターフェースです。 精密に切削されたSiC部品の主な用途 精密切削の利点
半導体 ウェーハチャック、フォーカスリング、CMPリング、シャワーヘッド、サセプタ、エンドエフェクタ 超高純度、ナノメートルスケールプロセスの寸法安定性、熱管理。
自動車(EV) パワーモジュール、インバーター、DC-DCコンバーター、車載充電器 EVパワートレイン部品の効率向上、電力密度の向上、熱性能の向上。
航空宇宙・防衛 ミラー基板、軽量構造部品、ミサイルレドーム、装甲、熱交換器 高い剛性対重量比、耐熱衝撃性、過酷な環境での耐摩耗性。
パワーエレクトロニクス 高電圧ダイオード、MOSFET、サイリスタ、ヒートシンク、基板 優れた熱伝導率、高絶縁破壊電圧により、より小型で効率的な電力デバイスを実現。
再生可能エネルギー ソーラーインバーター、風力タービン電力コンバーター用部品 電力変換システムの効率と信頼性の向上。
金属学と高温炉 バーナーノズル、キルンファニチャー(ビーム、ローラー、プレート)、熱電対保護チューブ、るつぼ 優れた高温強度、耐酸化性、耐熱衝撃性。
化学処理 メカニカルシール、ポンプ部品(ベアリング、シャフト)、バルブ部品、熱交換管 攻撃的な化学物質に対する優れた耐食性と耐浸食性。
LED製造 MOCVDリアクター、ウェハーキャリア用サセプター エピタキシャル成長プロセスの高い熱安定性と純度。
産業機械 耐摩耗部品、精密ノズル、ベアリング、研削メディア 研磨または高摩耗用途における部品寿命の延長、メンテナンスの削減。

これらの業界の調達マネージャーや技術バイヤーは、高度な SiC機械加工サービス 厳格な仕様を満たす部品を提供する能力を備えたものをますます求めています。

3. SiC切削機技術の理解

炭化ケイ素を効果的に切削するには、その硬度に対応しつつ損傷を最小限に抑えることができる特殊な機械が必要です。いくつかの技術が採用されており、それぞれに長所と理想的な用途があります。

  • 特にウェーハの厚さについて、優れた寸法制御を実現できます(ウェーハの直径とプロセスに応じて、±5μm〜±25μmが一般的です)。これは、SiCインゴットをウェーハにスライスしたり、複雑な形状をカットしたりするための広く使用されている方法です。ダイヤモンド研磨剤を含浸またはコーティングした細い鋼線が、SiC材料を通過します。比較的低いカーフ損失と良好な表面品質を生み出すことで知られています。
    • 最適な用途: インゴットのスライス、ウェーハリング、大きなブロックの切削、複雑な2D形状。
    • キーワード: SiCのダイヤモンドワイヤー切断、SiCウェーハリング機、低カーフSiC切削。
  • 研磨剤ウォータージェット切削:研磨粒子(ガーネットなど)と混合した高圧の水流を使用して、SiC材料を浸食します。熱影響部(HAZ)を発生させることなく、複雑な形状をカットできる多用途な方法です。
    • 最適な用途: 複雑な2D形状、厚いセクション、熱に弱い材料。
    • キーワード: ウォータージェットSiC機械加工、セラミックスの冷間切削、複雑なSiC部品。
  • レーザー切削(例:フェムト秒レーザー):先進的なレーザーシステム、特に超短パルスレーザー(フェムト秒)は、高精度で熱損傷を最小限に抑えてSiC材料をアブレーションできます。この技術は、微細加工や微細な特徴の作成に優れています。
    • 最適な用途: 微細な特徴、スクライビング、小穴の穴あけ、高精度パターン。
    • キーワード: レーザー加工SiC、フェムト秒レーザーSiC切断、マイクロSiCコンポーネント。
  • ダイヤモンド研削/スライシング(ブレード切断):ダイヤモンド含浸研削砥石またはブレードを使用して材料を除去します。より伝統的ですが、高度なCNC研削盤は、SiCの成形、スロッティング、ダイシングに高精度を提供します。
    • 最適な用途: ストレートカット、ウェーハのダイシング、成形、微細な表面仕上げの実現(ラッピング/研磨と組み合わせた場合)。
    • キーワード: CNC SiC研削、ダイヤモンドブレードSiC切断、精密SiCダイシング。
  • 放電加工(EDM)–導電性SiCグレード用:すべてのSiCタイプに適しているわけではありませんが、EDMは、遊離シリコンを含む反応焼結SiCのような導電性グレードに使用できます。電気スパークを使用して材料を浸食します。
    • 最適な用途: 導電性SiCの複雑な3D形状、複雑なキャビティ。
    • キーワード: EDM SiC、導電性SiC加工。

SiC切断機技術の選択は、特定のSiCグレード(例:焼結炭化ケイ素(SSiC)、反応焼結炭化ケイ素(RBSiC/SiSiC))、必要な形状、公差要件、および生産量に大きく依存します。

4. 高性能SiC切削機への投資の利点

メーカーや加工業者は、高性能SiC切断機を採用するサービスに投資または利用することで、大きな競争上の優位性を提供します。

  • 精度と精密さの向上: 最新のSiC切削機は、多くの場合CNC制御されており、ハイテク用途に不可欠なミクロン単位の公差を達成できます。
  • 部品の品質向上: チッピング、マイクロクラック、および表面下の損傷を最小限に抑えることで、より強力で信頼性の高いSiCコンポーネントが実現します。
  • スループットと効率の向上: 自動化されたプロセスと最適化された切削パラメータにより、手動または特殊性の低い方法と比較して、サイクル時間を大幅に短縮できます。
  • 設計の自由度の向上: 高度な切削技術により、従来の技術では不可能だった、より複雑な形状と複雑な機能を製造できます。
  • 材料廃棄物の削減: ダイヤモンドワイヤーソーなどで実現される精密切削は、カーフ損失を最小限に抑え、貴重なSiC材料を節約します。
  • 後処理コストの削減: より優れた切削表面仕上げを達成することで、その後の広範囲にわたる高コストの研削、ラッピング、または研磨作業の必要性を減らすことができます。
  • 材料の完全性: CNC制御の機械は、部品間の高い再現性を保証し、大量生産と品質保証に不可欠です。

OEMおよび 産業機器メーカーは、 これらの利点から、エンド製品の性能と信頼性を向上させる、より高品質のSiCコンポーネントを受け取ることで恩恵を受けます。

5. SiC切削を必要とする部品の設計上の考慮事項

最新のSiC切削機は優れた能力を提供しますが、コスト、リードタイム、および品質を最適化するには、製造可能性を念頭に置いて部品を設計することが重要です。技術者は以下を考慮する必要があります。

  • 素材グレードの選択: SiCグレード(SSiC、RBSiC、CVD SiCなど)によって、機械加工性が異なります。設計段階の早い段階で、SiCサプライヤーにご相談ください。
  • 形状の複雑さ:
    • 過度に鋭い内角を避け、応力集中を軽減し、機械加工を容易にするために、可能な限り半径を組み込みます。
    • 深く狭いスロットや穴は、困難でコストがかかる可能性があります。
    • 多部品設計(ろう付けまたは接合)が、モノリシックな複雑な構造よりも実現可能かどうかを検討してください。
  • 肉厚とアスペクト比: 極端に薄い壁または高アスペクト比の機能は、切削および取り扱い中にチッピングまたは破損を起こしやすくなります。現実的な最小値を指定します。
  • 公差要件: 重要な機能に必要な厳しい公差のみを指定します。重要でない領域を過剰に公差設定すると、機械加工時間とコストが増加します。
  • 表面仕上げ仕様: 必要な表面仕上げ(Ra値)は、切削方法と、必要な後処理ステップに影響します。
  • エッジの状態: チッピングを防ぎ、取り扱い安全性を向上させるために、エッジの面取りまたは丸めに関する要件を指定します。
  • データム形状: 一貫した測定と検査のために、データム機能を明確に定義します。

設計チームと カスタムSiC部品メーカー間の 早期の連携は、SiC切削の最適化された設計を保証するために不可欠です。

6. 最新のSiCカッターで実現可能な公差と表面仕上げ

最新のSiC切削機で達成できる精度は驚くべきものです。ただし、達成可能な公差と表面仕上げは、以下を含むいくつかの要因によって異なります。

  • 使用される特定のSiC切削技術(例:ダイヤモンドワイヤー、レーザー、研削)。
  • SiC材料のグレードと品質。
  • 切削機自体の剛性と精度。
  • 機械オペレーターとプロセスエンジニアのスキルと経験。
  • 部品の複雑さとサイズ。

一般的な達成可能範囲(大幅に異なる場合があります):

パラメータ 典型的な達成可能範囲(切削時) 備考
寸法公差 ±0.01 mm~±0.1 mm(10 µm~100 µm) より厳しい公差には、その後の研削/ラッピングが必要になることがよくあります。
表面仕上げ(Ra) 0.4 µm~3.2 µm ダイヤモンドワイヤーソーイングと精密研削により、より細かい仕上げが可能です。レーザーとウォータージェットは、二次処理なしでは粗くなる可能性があります。
最小カーフ幅 0.1 mm~0.5 mm(ダイヤモンドワイヤー) レーザーは、さらに小さい特徴サイズを達成できます。
位置精度 高精度機械の場合は±0.005 mm(5 µm)まで 機械の校正と部品の固定に大きく依存します。

最も厳しい公差と最も細かい表面仕上げを達成するには、多くの場合、より遅い切削速度と、ラッピングや研磨などの追加の後処理ステップが必要になることに注意することが重要です。これはコストとリードタイムに影響します。知識豊富な 技術セラミックスサプライヤー との特定の要件について話し合うことが不可欠です。

7. 炭化ケイ素切削における一般的な課題の克服

炭化ケイ素の機械加工は、その材料特性により固有の課題を提示します。これらの課題を理解し、それらを軽減するための戦略を採用することが、SiCコンポーネントの製造を成功させるための鍵です。

  • 脆性と欠け:
    • チャレンジだ: SiCは、切削中に破損しやすく、エッジがチッピングしやすいです。
    • 緩和: 最適化された切削パラメータ(送り速度、速度)、適切な工具の選択(例:細かいダイヤモンドグリット)、犠牲材料の使用、切削後のエッジの面取り、特定のグレードの応力緩和焼鈍。
  • 工具摩耗:
    • チャレンジだ: SiCの極度の硬度により、切削工具(ダイヤモンドワイヤー、ブレード、研削砥石)が急速に摩耗します。
    • 緩和: 高品質で耐久性のあるダイヤモンド工具の使用、摩擦と熱を低減するための適切なクーラントの適用、定期的な工具の検査と交換、工具寿命と切削速度のバランスを取るためのプロセス最適化。
  • 表面下損傷:
    • チャレンジだ: 切削プロセスは、表面下にマイクロクラックと格子歪みを誘発し、コンポーネントを弱める可能性があります。
    • 緩和: 穏やかな切削パラメータ、多段階切削プロセス(例:荒加工の後に仕上げ加工)、損傷した層を除去するためのラッピングやエッチングなどの適切な後処理。
  • 熱衝撃(一部のレーザープロセスの場合):
    • チャレンジだ: 一部のレーザー切削中の局所的な加熱は、熱応力と亀裂を誘発する可能性があります。
    • 緩和: 熱影響部を最小限に抑える超短パルスレーザー(フェムト秒)の使用、最適化されたレーザーパラメータ、特定の用途での予熱(切削ではあまり一般的ではありません)。
  • プロセス制御と最適化:
    • チャレンジだ: 切削速度、表面品質、工具寿命、部品精度間の最適なバランスを見つけるには、専門知識が必要です。
    • 緩和: 経験豊富なプロセスエンジニア、インプロセスモニタリング、高度な機械の適応制御システム、厳格な品質管理。
  • ワークピースの固定:
    • チャレンジだ: 切削中に応力や振動を発生させることなく、脆いSiC部品を確実に保持することが重要です。
    • 緩和: カスタム治具設計、適切なクランプ圧力の使用、フラットコンポーネント用の真空チャック。

これらの課題に効果的に対処することは、経験豊富な SiC機械加工専門家の特徴であり、 高歩留まり、高品質のコンポーネントを製造するために不可欠です。

8. 適切なSiC切削機またはサービスプロバイダーの選び方

自社生産用の適切なSiC切削機を選択したり、カスタムSiC部品の信頼できるサービスプロバイダーを選択したりするには、いくつかの要素を慎重に検討する必要があります。技術調達専門家とエンジニアは以下を評価する必要があります。

  • 用途要件:
    • 部品の形状、サイズ、複雑さはどのようなものですか?
    • 重要な公差と表面仕上げの要件は何ですか?
    • 予想される生産量(試作、少量、大量)はどれくらいですか?
    • どのSiCグレードを使用しますか?
  • 技術の適合性:
    • 機械またはプロバイダーは、部品に最適な切削技術(ダイヤモンドワイヤー、レーザー、ウォータージェット、研削)を提供していますか?
    • サービスプロバイダーの場合:最適なソリューションを提供するために、さまざまな技術を提供していますか?
  • 技術的専門知識と経験:
    • 機械の購入の場合: メーカーは、堅牢なトレーニング、サポート、プロセス開発支援を提供していますか?
    • サービスプロバイダーの場合: SiCに関する実績は?同様の部品の ケーススタディ 例を示すことはできますか?経験豊富なエンジニアとオペレーターはいますか?
  • 品質管理システム:
    • 検査にはどのような測定機器が使用されていますか(CMM、光学プロファイラーなど)?
    • ISO認証を取得しているか、関連する業界の品質基準に準拠していますか?
    • 部品の整合性とトレーサビリティを確保するためのプロセスは何ですか?
  • 材料の取り扱いと後処理機能:
    • 生のSiC材料を適切に処理できますか?
    • 研削、ラッピング、研磨、洗浄、コーティングなどの必要な後処理サービスを提供していますか?
  • 加熱または冷却中の熱応力、または初期段階からの内部欠陥の存在は、焼結中に亀裂につながる可能性があります。
    • 詳細な見積もりを入手してください。コストを左右する要因(材料、複雑さ、公差、量)を理解してください。
    • あなたの部品と同様の部品の一般的なリードタイムはどれくらいですか?
  • サプライヤーの信頼性とコミュニケーション:
    • 彼らは応答性が高く、コミュニケーション能力がありますか?
    • 設計段階で技術的な相談を提供できますか?

詳細な評価は、有能なサプライヤーと提携したり、高品質のコンポーネントを製造するために長期的な製造ニーズを満たす機械に投資したりするのに役立ちます。 精密セラミック部品.

9. SiC切削のコスト要因とリードタイムに関する考慮事項

SiC切削のコストと関連するリードタイムは、多くの要因によって影響を受けます。これらを理解することで、B2Bバイヤーとエンジニアは計画と予算編成に役立ちます。

主なコスト要因:

  • SiC材料グレードと形状:
    • 原材料のコストは、グレードによって大きく異なります(たとえば、RBSiCは一般的に、高純度SSiCまたはCVD SiCよりも安価です)。
    • 予備焼結ブランクまたはカスタム成長ブールのコスト。
  • 部品の複雑さとサイズ:
    • 複雑な形状、深い特徴、非常に大きいまたは非常に小さい部品は、より多くの機械加工時間と専門的な取り扱いを必要とします。
  • 公差と表面仕上げの要件:
    • より厳しい公差とより細かい表面仕上げは、より遅い切削速度、より正確な機械、および潜在的に複数の処理ステップ(たとえば、荒削り、仕上げ、研削、ラッピング)を必要とし、すべてコストを増加させます。
  • 使用される切削技術:
    • 機械の運転コスト、工具コスト(たとえば、ダイヤモンドワイヤーの消費量)、サイクルタイムは、技術によって異なります。
  • 生産量:
    • セットアップコストは、より大きな量にわたって償却されるため、部品あたりのコストが削減される可能性があります。ただし、大量注文には専用の機械時間が必要です。
    • プロトタイピングと少量バッチは、多くの場合、ユニットあたりのコストが高くなります。
  • 工具と治具:
    • 複雑な部品用のカスタム治具は、初期コストに追加されます。
    • 工具の摩耗は、特に非常に硬いSiCグレードにとって重要な要素です。
  • 品質検査の要件:
    • 広範な検査とドキュメントの要件は、全体的なコストに追加されます。

リードタイムに関する考慮事項:

  • 材料の調達: 特定のSiCグレードまたはカスタムブランクの調達のリードタイム。
  • 設計の複雑さとプログラミング: CAD/CAMプログラミングとプロセス計画に必要な時間。
  • 機械加工時間: 実際の切削時間。SiCは硬度が高いため、時間がかかる場合があります。
  • 機械の可用性とスケジューリング: 機械加工施設の現在のワークロード。
  • 後処理の要件: 研削、ラッピング、洗浄などにかかる追加の時間。
  • 品質管理と検査: 詳細な検査とドキュメント作成にかかる時間。
  • 配送とロジスティクス。

これらの要因に関するSiC切削機のサプライヤーまたはサービスプロバイダーとのオープンなコミュニケーションは、期待を管理し、プロジェクトのタイムラインを達成するために不可欠です。 産業用SiCソリューション.

10. 濰坊の利点:中国の炭化ケイ素ハブとSicarb Tech

カスタム炭化ケイ素コンポーネントを調達したり、SiC製造技術を検討したりする際には、グローバルな状況を理解することが重要です。これは、中国の炭化ケイ素カスタム部品工場のハブです。ご存知かもしれませんが、中国の炭化ケイ素カスタム部品製造のハブは濰坊市にあります。この地域は、さまざまな規模の40以上の炭化ケイ素生産企業の本拠地となり、全国のSiC総生産量の80%以上を占めています。この専門知識と生産能力の集中により、濰坊はSiCのイノベーションと供給における世界的に重要な中心地となっています。

このダイナミックな環境の中で、Sicarb Techは際立っています。2015年以来、当社は高度な炭化ケイ素生産技術の導入と実装の最前線に立ち、地元の企業が大規模生産と製品プロセスの大幅な技術的進歩を達成できるよう支援する上で重要な役割を果たしてきました。当社は単なるサプライヤーではなく、地元の炭化ケイ素産業の出現と継続的な発展の証人であり、触媒でもあります。

これは、高品質のSiC切削ソリューション またはカスタムコンポーネントをお求めのバイヤーやエンジニアにとって、どのような意味を持つのでしょうか? CAS新材料(SicSino)は、炭化ケイ素製品のカスタム生産を専門とする国内トップクラスの専門チームを擁しています。当社のサポートは、51社以上の地元企業に貢献し、その技術力を向上させてきました。

  • 比類なき専門知識: Sicarb Techは、炭化ケイ素製品のカスタマイズ生産を専門とする国内トップクラスの専門チームを誇っています。当社のサポートは、51社以上の地元企業に利益をもたらし、技術力を向上させています。
  • 当社は、材料科学、プロセスエンジニアリング、設計最適化、精密測定・評価技術など、幅広い技術を保有しています。原材料から完成品まで、この統合的なアプローチにより、多様で複雑な 当社は、材料科学、プロセスエンジニアリング、設計最適化、綿密な測定および評価技術など、幅広い技術を保有しています。原材料から完成品まで、この統合されたアプローチにより、多様で複雑なニーズに対応できます に対応できます。.
  • 品質とコスト競争力: 濰坊SiCエコシステムと当社の高度な技術基盤を活用することで、高品質でコスト競争力のある中国製のカスタム炭化ケイ素コンポーネントを提供し、信頼性の高いサプライチェーンを確保できます。
  • 技術移転とターンキー・ソリューション コンポーネントの供給を超えて、Sicarb Techは国際的なパートナーを支援する独自の立場にあります。お客様の国にプロフェッショナルな炭化ケイ素製品製造工場を設立しようとしている場合、包括的な プロフェッショナルな炭化ケイ素製造のための技術移転ターンキープロジェクトサービスを提供できます。これには、工場設計、特殊なSiC切削機および関連設備の調達、設置と試運転、試作支援が含まれます。これにより、より効果的な投資、信頼性の高い技術変革、保証されたインプット・アウトプット比率を備えた最先端のSiC製造施設を所有することができます。

Sicarb Techを選択することは、中国のSiC製造の中心部に深く根ざし、トップクラスのコンポーネントと戦略的な技術移転能力の両方を提供するリーダーとの提携を意味します。高度なSiC切断およびコンポーネントのニーズについては、当社の専門知識がお客様の業務にどのように役立つか、当社の メインウェブサイト または 直接お問い合わせください。.

11. SiC切削機に関するよくある質問(FAQ)

Q1:業界で使用されているSiC切削機の主な種類は何ですか?

A1:主な種類には、ダイヤモンドワイヤーソー(スライスと輪郭加工用)、アブレシブウォータージェットカッター(熱を使わずに複雑な形状を作成)、レーザー切断機(特に微細加工と精密加工用のフェムト秒レーザー)、ダイヤモンド研削/スライス機(成形、ダイシング、微細仕上げ用)などがあります。選択は、SiCグレード、必要な精度、複雑さ、および生産量によって異なります。

Q2:SiCの切断が金属や他のセラミックスに比べて非常に難しいのはなぜですか?

A2:炭化ケイ素の極度の硬度(ダイヤモンドに匹敵する)により、従来の機械加工に対する耐性が非常に高くなっています。また、非常に脆いため、特殊な設備と最適化されたプロセスで切断しないと、簡単に欠けたり、破損したりする可能性があります。このため、ダイヤモンドのような超研磨剤を使用し、損傷を最小限に抑え、必要な精度を達成するために、注意深く制御された切削パラメータが必要になります。

Q3:SiC部品の切断時に非常に厳しい公差(例:ミクロンレベル)を達成できますか?

A3:はい、最新の精密SiC切断機、特にCNCグラインダーおよび一部の高度なレーザーシステムは、ミクロン範囲(特定の機能の場合は±0.005 mm~±0.025 mm以上)の公差を達成できます。ただし、このような厳しい公差を達成するには、初期切断、精密研削、ラッピングなど、複数の手順が必要になることが多く、コストとリードタイムに影響を与える可能性があります。コストを効果的に管理するには、用途に適した公差を指定することが不可欠です。

Q4: SiC切削プロセスでは、どのような表面仕上げが期待できますか?

A4:切断後の表面仕上げは技術によって異なります。ダイヤモンドワイヤーソーイングと精密研削は、比較的滑らかな表面(例:Ra 0.4 µm~1.6 µm)を生成できます。ウォータージェットおよび一部のレーザー切断方法では、粗い

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