Equipo de recocido e implantación iónica a nivel de oblea para la activación de dispositivos de SiC y la optimización de uniones
Descripción general del producto y relevancia para el mercado de 2025 Los equipos de recocido y implantación de iones a nivel de oblea son los principales habilitadores de la fabricación de dispositivos de carburo de silicio (SiC) de alto rendimiento. La implantación de iones define perfiles de dopaje precisos para las regiones de fuente/drenaje, cuerpo y extensión de terminación de unión (JTE), mientras que el recocido a alta temperatura activa los dopantes implantados, repara los daños de la red y estabiliza las propiedades de la interfaz para una baja resistencia en estado de encendido (RDS(on)) y…

